300mm晶圆匀胶显影设备研发成功

4月14日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成,突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术,成功研制出具有自主知识产权的300mm晶圆匀胶显影设备考核测试机和上线示范应用机,并在项目实施期间销售5台匀胶显影设备。标志着我国前道芯片制程领域用涂胶显影设备的国产化又迈出了重要的一步,不仅填补了国内技术空白、打破国外长期垄断,也为我国前道芯片制程涂胶显影设备进入前段市场打开了突破口。 据研发人员介绍,“该项目成果产品的成功应用,将大大降低客户采购成本和对国外设备的依赖性,价格较国外同类产品低20%到30%,企业获得的售后技术支持也更加给力。” 目前,该项目共性技术可成功辐射应用于高端封装、LED等技术设备领域,对该类设备产能和稳定性具有极大的提升作用。......阅读全文

美欧重大科技专项计划概览

  由于历史和体制机制原因,欧美发达国家以往没有覆盖全领域的长期科技发展计划。但是,近年来欧美国家逐渐认识到,在重要科技研发领域布局和实施专门性科技计划对国家具有战略意义,纷纷推出一些科技计划。这些计划与我国的国家重大科技专项计划非常类似,旨在维持和提升本国(或本地区)在战略性、竞争性科技研发领域的

新疆发布重大科技专项、重点研发任务专项申报指南

关于发布2024年度自治区重大科技专项、重点研发任务专项项目(社会发展与基础研究领域、工业和高新技术领域)申报指南的通知为深入学习贯彻党的二十大和二十届二中、三中全会精神,深入实施创新驱动发展战略和科技兴疆战略,聚焦自治区“八大产业集群”和重大战略任务,充分发挥科技创新对高质量发展的支撑引领作用,有

新疆发布重大科技专项、重点研发任务专项申报指南

  关于发布2024年度自治区重大科技专项、重点研发任务专项项目(社会发展与基础研究领域、工业和高新技术领域)申报指南的通知  为深入学习贯彻党的二十大和二十届二中、三中全会精神,深入实施创新驱动发展战略和科技兴疆战略,聚焦自治区“八大产业集群”和重大战略任务,充分发挥科技创新对高质量发展的支撑引领

“重大新药创制”科技重大专项新增课题开始申报

  根据国务院常务会议审议通过的“重大新药创制”科技重大专项(以下简称新药专项)实施方案,以及科技部、发展改革委和财政部审议通过的新药专项“十二五”实施计划,新药专项“十二五”计划任务将分批启动实施。其中,新药专项“十二五”计划2012年新增课题申报指南经专项总体组专家研究并编制完成,现予发布。课题

“重大新药创制”科技重大专项推进会在京召开

  为传达和贯彻国务院于2009年11月23日和24日召开的国家重大专项组织实施推进会会议精神,2009年12月10日,“重大新药创制”科技重大专项推进会在北京召开。科技部万钢部长出席会议并做重要讲话,科技部刘燕华副部长传达了国务委员刘延东在科技重大专项组织实施推进会上的讲话精神,卫生部副部长刘谦对

习近平:用好国家科技重大专项和重大工程等

  集中力量抢占制高点  五年来,我们实施了一大批重大工程。实施这些重大工程的决策背后体现了习近平怎样的治国理政理念?新华社《学习进行时》原创品牌栏目“讲习所”今天推出文章,为您解读。  2013年9月30日,在中共中央政治局第九次集体学习中,习近平说:“政府在关系国计民生和产业命脉的领域要积极作为

MHY29071高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪

自动滴胶匀胶机/真空旋转涂层机  型号:MHY-29071MHY-29071产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。 MHY-29071主要特点:1可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。2每个涂敷工艺过程可以

国家科技重大专项成立首个产业联盟

  由“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项组织成立的“集成电路封测产业链技术创新联盟”,日前在京成立。这是国家科技重大专项成立的第一个产业技术创新联盟。   该联盟主要依托江苏长电科技股份有限公司、南通富士通微电子股份有限公司等两家国内上市企业,我国从事集成电路封测产业链制造、科

宁波:科技重大专项激发企业创新活力

  近四年来,宁波市累计支持工业类(含生命健康)科技重大项目248个,提供资金逾1.7亿元,带动投资超过20亿元,相继攻破了石墨烯、高性能磁性材料、核电密封件、超级电容、高分辨荧光显微成像仪等一批关键核心技术, 在12个优势产业、200多个细分领域取得明显优势,涌现出140多个“单打冠军”。   来

科技重大专项项目免征进口税

  自2010年7月15日起,对承担《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006—2020年)》中民口科技重大专项项目(课题)的企业和大专院校、科研院所等事业单位使用中央财政拨款、地方财政资金、单位自筹资金以及其他渠道获得的资金进口项目(课题)所需国内不能生产的关键设备(含软件工具及技术)、零部件、

国家科技重大专项加强引智力度

  9月13日,科技部与国家外专局就引进国外智力为国家科技重大专项服务签订合作框架协议书,双方将发挥管理和资源优势,从整体上加强国家科技重大专项项目引进国外高端智力资源和高层次人才的工作力度。  双方将更好地发挥重大专项国际合作平台作用,针对国家战略需要集成国际高端创新资源,共同促进国家重

“重大新药创制”科技重大专项交流汇报会议召开

  近日,“重大新药创制”科技重大专项临床前药物代谢平台研究课题组根据重大专项实施管理办公室的要求,在中国药科大学组织召开了临床前药物代谢平台课题交流汇报会。会议由平台领域责任专家王广基教授主持,科技部生物中心有关人员参加了会议。  会上,各临床前药物代谢平台课题负责人围绕“十一五”期间平

“重大传染病防治”科技重大专项课题开始申报

   关于组织“艾滋病和病毒性肝炎等重大传染病防治”科技重大专项2016年度课题申报工作的通知  各有关单位:  按照《国务院印发关于深化中央财政科技计划(专项、基金等)管理改革方案的通知》(国发〔2014〕64号)的有关精神及重大专项管理改革试点方案要求,“艾滋病和病毒性肝炎等重大传染病防治”科技

智能程控匀胶机简介和技术指标

  智能程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究,开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。  技术指标  镀膜时间设置: 1~9999 sec/ step  旋涂速度:0~ 5,000 rpm  旋涂加

国家科技重大专项年中调度会召开

  2015年7月31日,科技部重大专项办公室会同发展改革委高技术司、财政部教科文司组织召开了重大专项年中调度会,了解各专项上半年工作进展情况,督促推进专项“十三五”实施计划和2016年度计划制定、管理改革试点、监督评估等重点工作。各专项实施管理办公室主任和牵头部门财务负责人等50余人参加了会议,科

国家科技重大专项ADC新药取得重要突破

  ADC(antibody-drug conjugate),即抗体药物偶联物,由单克隆抗体与小分子药物(细胞毒素)偶联而成,其作用机理是通过单克隆抗体的靶向作用特异性地识别肿瘤细胞表面抗原,然后利用细胞本身具备的内吞作用使化学药物进入肿瘤细胞体内发生药力,从而达到杀死肿瘤细胞的目的。ADC药物由于

国家科技重大专项审计“解密”:高知易“中招”

   朱慧卿/CFP  2014年10月,科技部党组一份整改情况通报曾披露,审计署审计发现,5所大学的7名教授弄虚作假、套取国家科技重大专项资金2500多万元。  7名教授中,包括本报曾披露的中国工程院院士、中国农业大学教授李宁,原全国政协委员、浙江大学教授陈英旭等人。由于涉及的都是相关领

科技重大专项资金:“松绑”与“套笼子”

  长期来看,随着科学共同体逐渐成熟,形成更好的科学共同体诚信建设制度,用声誉来约束科学共同体是未来的趋势。  简政放权的方向肯定是一个进步,但在具体操作上有很多问题需要从制度设计的角度予以充分保障,让专业机构能够真正发挥作用。  日前,财政部、科技部、国家发展改革委重新修订了《国家科技重大专项(民

科技重大专项助推山西制造再上新台阶

   高铁的车轴部分托举和承载整个高铁重量,对质量和材料要求非常高。从客车的角度来说,速度越快,车轴承受的冲击、扭曲越严重。中国高铁350公里以上的车轴长期依赖进口,价格居高不下。   为解决这一难题,作为全国不锈钢行业龙头企业的太钢集团和在轨道交通装备制造领域拥有雄厚实力的太重集团主动担当,“十二

《国家科技重大专项(民口)管理规定》印发

科技部 发展改革委 财政部关于印发《国家科技重大专项(民口)管理规定》的通知国科发专〔2017〕145号  各有关科技重大专项牵头组织单位、各有关项目管理专业机构、各有关单位:   为进一步明确科技重大专项的组织管理和工作流程,推动科技重大专项的组织实施,根据《国务院办公厅关于印发国家科技重大专项组

国家重大科技专项将扩容至20项

  从权威渠道了解到,国家重大科技专项办公室近期启动重点新材料新增专项论证,加上此前启动的航空发动机与燃气轮机、页岩气项目新增论证,国家重大科技专项有望增至20项,带动相关投资或达千亿元。   航空发动机研制难度大、投资多、周期长、风险高,国外研究一型先进航空发动机直接投入的研制费用在2

山东省科技重大专项(重大关键技术)招标公告

   为深入贯彻落实党的十八大、十八届三中、四中全会和《中共中央国务院关于深化体制机制改革加快实施创新驱动发展战略的若干意见》精神,加快实施创新驱动发展战略,省科技厅围绕当前全省经济社会转型升级的重大科技需求,在广泛征求意见和论证基础上,选择集成电路、大功率激光器及高端激光加工装备、耐盐碱作物品种培

重大新药创制科技重大专项2015课题申报启动

关于申报重大新药创制科技重大专项2015年课题的通知国卫办科教函〔2014〕222号 各有关部门,有关单位:   根据“重大新药创制”科技重大专项(以下简称专项)实施方案和“十二五”实施计划,专项牵头组织部门认真贯彻党的十八届三中全会精神,落实创新驱动发展战略,组织

山西积极组织国家重大新药创制科技重大专项课题申报

   为认真贯彻山西省委、省政府决策部署,促进经济转型升级、培养经济增长新动能。山西省科技厅积极组织山西省科研机构申报国家课题,争取国家资源、融入国家战略,促进山西省生物医药产业科技创新能力。   2017年度国家重大新药创制科技重大专项申报工作中,山西省科技厅加强主动作为、提高服务意识,通过扩大网

西藏自治区重大科技专项形成科技支撑

  2013年,西藏区科技厅统筹组织资金、人员、技术等资源,继续深入推进青稞产业、马铃薯产业、藏药产业等8个重大科技专项,并已形成重要科技支撑惠及民生。   青稞产业专项方面,在日喀则、山南、林芝和昌都五个地市30个县市示范推广“藏青2000”新品种10.6万亩,亩产量达780斤,比“藏青320”

刚刚,科技部发布1项国家科技重大专项指南

关于重新发布“空间飞行器在轨服务与维护系统”国家科技重大专项可靠性维修性工作总体研究项目申报指南的通知各有关单位:  依据国家科技重大专项有关管理规定,根据“空间飞行器在轨服务与维护系统”国家科技重大专项实施方案部署,现将项目申报指南重新予以公布(详见附件1)。本次申报采用公开发布方式遴选项目承担单

MHY26227高性能匀胶机旋涂仪

旋转涂层机/匀胶机/匀胶仪旋涂仪/甩胶机/旋涂机  型号:MHY-26227产品简介:MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪      主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。      MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。      MH

MHY26227高性能匀胶机旋涂仪

旋转涂层机/匀胶机/匀胶仪旋涂仪/甩胶机/旋涂机  型号:MHY-26227产品简介:MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪      主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。      MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。      MH

快速了解匀胶机旋涂仪的工作原理

匀胶过程介绍一个典型的匀胶过程包括滴胶,高速旋转以及干燥(溶剂挥发)几个步骤。滴胶这一步把光刻胶滴注到基片表面上,高速旋转把光刻胶铺展到基片上形成簿层,干燥这一步除去胶层中多余的溶剂。两种常用的滴胶方式是静态滴胶和动态滴胶。静态滴胶就是简单地把光刻胶滴注到静止的基片表面的中心,滴胶量为1-10ml不

国家科技重大专项督察组检查核高基重大专项课题执行情况

会议现场  7月8日,国家科技重大专项督察组组长马俊如率领督察组到中科院计算技术研究所对计算所承担的重大专项课题“高性能多核CPU研发及应用”,“龙芯安全适用计算机CPU研制与应用”,“支持国产CPU的编译系统及工具链”进行监督检查。督察组成员包括原国家科委高技术司司长冀复