国家纳米中心发明“平面打印，立体成型”微纳加工新方法
表面微纳结构已经在微电子、半导体、太阳能电池、发光二极管、等离子基元、仿生材料、超材料、细胞生物学等领域得到了广泛的应用，极大地推动了表面科学与工程的进展。随着人们对各种表面新奇特性研究的深入，各种新型表面结构不断被提出。这些新型的结构，特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了许多新的挑战，目前的常规微纳加工方法已经难以满足复杂结构的加工需要。近十多年来，新型微加工方法的研究获得长足进展，各种巧妙的方法不断涌现，如：纳米球光刻、晶界光刻、嵌段共聚物微相分离法、矿物沉积仿生微结构、应力应变微结构等。基于应变的方法由于可以低成本、大面积制造微结构，已经被认为是一种非常有前景的新方法，去年发表在《科学》上的相关文章进一步印证了这一观点(Science 2015，347 154-159)。中国科学院纳米科学卓越创新中心和国家纳米科学中心的刘前课题组长期致力于新概念加工方法的研发工作......阅读全文
AFM微纳加工技术
微纳加工技术随着器件小型化和高集成度的快速发展，微电子工业的芯片制造工艺逐渐向10 nm 甚至单纳米尺度逼近时，传统的电子束曝光(electron beam lithography，EBL)技术和极紫外光刻(extreme ultraviolet lithography，EUV)技术已难以满足未来
三维微纳加工领域迎来精妙“冰刻”术
在-130℃附近的真空中，水蒸气会凝华成一层超级光滑的薄冰。近日，浙江大学科研人员用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的光刻胶，做出了微纳尺度的三维金属结构。这一新颖、简便的“冰刻”术有望在三维微纳加工中大显身手。 据了解，当前最常用的微纳加工方案为电子束曝光技术，简称“光刻”。实际操作中光
微纳加工让液滴“乖乖听话”
在前沿研究和精密制造领域，微液滴有着广泛应用。国家纳米科学中心研究员高玉瑞团队和香港城市大学讲席教授曾晓成、宾夕法尼亚大学讲席教授Joseph S. Francisco等团队合作，在前期理论研究的基础上，通过光刻技术和后期处理，制备出一类具有同心闭环微壁/微通道的结构表面，实现了对微液滴的精准调控。
微纳加工让液滴“乖乖听话”
在前沿研究和精密制造领域，微液滴有着广泛应用。国家纳米科学中心研究员高玉瑞团队和香港城市大学讲席教授曾晓成、宾夕法尼亚大学讲席教授Joseph S. Francisco等团队合作，在前期理论研究的基础上，通过光刻技术和后期处理，制备出一类具有同心闭环微壁/微通道的结构表面，实现了对微液滴的精准调
一文盘点当前微纳加工技术
微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其最主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统
微流控技术的材料和微加工方法
制作微流控芯片的主要材料有硅片、玻璃、聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯、聚四氟乙烯和纸基等。其中PDMS的使用范围最为广泛。这种材料不仅加工简单、光学透明，而且具有一定的弹性，可以制作功能性的部件，如微阀和微蠕动泵等。PDMS微阀的密度可以达到30个/cm。但是PDMS材料容易吸附疏水性
复旦成立微纳加工和器件公共实验室
6月15日，经校长办公会议最终审议通过，决定成立复旦大学微纳加工和器件公共实验室。实验室由物理系系主任沈健教授牵头，物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位，但加工、配套器件工艺设备投入和运行成本较大。我国长期以来在先进科研设备方面投入偏少、分散，严重限
上海微系统所等在微纳功能表面及制造研究领域取得突破
表面润湿特性是表面界面科学中的的重要研究内容之一。研究和制备不同性质的浸润性表面，可加深对表面/界面物理的理解，增强各种材料表面的功能性能以及扩展材料的应用范围。中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感网事业部副研究员周晓峰与香港城市大学副教授王钻开，一直以来在微纳仿生功能表面研究及制造领域
PCR－微流控芯片微通道有哪些加工手段
热压法热压法是20世纪90年代后期兴起的一种在高聚物表面加工微通道的方法,瑞士的Uppsala大学的Lena Kintberg等采用热压法将激励微泵或者微阀的激励器集成到了PC(聚碳酸酯)基的微流控芯片表面。热压法的工艺过程是:采用光刻化学腐蚀法在硅表面制作出微通道,溅射沉积镍金属,获得镍模板,通过
微纳3D打印技术制造微流控芯片
微流控芯片是一门在微米尺度下研究流体的处理与操控的技术，微流控技术从最初的单一功能的流体控制器件发展到了现在的多功能集成、应用非常广泛的微流控芯片技术，在分析化学、医学诊断、细胞筛选、基因分析、药物输运等领域得到了广泛应用。相比于传统方法，微流控技术具有体积小、检测速度快、试剂用量小、成本低、多
沈阳自动化所在微纳制造和微纳生物领域取得系列进展
信息-生物-纳米是微纳制造产业和单分子生命科学研究的热点。其中微纳米观测、操控和制造技术是支撑微纳米科技走向应用的基础，是促进信息技术与生命科学实现跨越式发展的使能技术。中国科学院沈阳自动化研究所微纳米组长期以来开展多学科交叉研究，推进信息、生物、纳米技术的融合与发展，在微纳制造和微纳生物领域取
科大在非平整衬底表面三维微纳米加工技术研究中获进展
中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心教授王晓平和罗毅研究团队发展了光刻胶软掩膜蜡纸印刷技术，成功实现了多种形貌三维超结构的可控制备，同时实现了非平整和曲面衬底上微纳米结构的自由构建。相关研究成果近日以Utilization of Resist Stencil Lithography f
“微纳结构与器件的激光加工与表征平台”通过验收
由中科院修购专款资助的电工所“微纳结构及器件的激光加工与表征平台”顺利通过院修购专项办公室验收。该平台由加工仪器设备和检测仪器设备两大部分组成，可以对材料的表面形貌、表面物性、内部微结构等多个领域进行分析和检测，并可用于纳米级精密测量。 其中，用于表面形貌分析和检测、以及
高速大尺度微纳结构加工技术的新进展
近日捷克科学院Hilase中心和捷克理工大学核物理工程学院的研究人员，在高速大尺度微纳结构加工上取得了重要进展。实验展示了使用四光束直接激光干涉（Direct Laser Interference Patterning，DLIP）光致表面周期结构（Laser Induced Periodic
上海微系统所在瞬态可溶微纳光学技术方面取得进展
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室陶虎课题组联合复旦大学附属华山医院神经外科以及南昌市中西医结合医院医学检验科的科研人员基于可控溶解生物材料，结合光学技术和绿色微纳加工技术，在“瞬态可溶电子技术”的基础上，于国际上率先提出“瞬态可溶微纳光学技术”的概念，并将其完美地应用到
小微球，大突破－苏州纳微荣登央视经济半小时
分析测试百科网讯 球体是自然界存在最稳定的形态，将球体缩小到纳米、微米级别就称之为微球。微球虽小，作用却很大，生物制药、食品检测、医疗诊断都离不开它。长期以来，微球的生产技术一直停留在发达国家手里，微球材料如果停止供应，生物制药、电子信息等产业将面临停产的风险。7与13日，习近平总书记在中央财经
力学所微纳尺度颗粒微流动操控研究取得系列进展
细胞、细菌、外泌体、病毒和生物大分子等与生命相关的微小物体，以及人工合成的微纳粒子可广义地统称为颗粒，其大小从几十微米至几十纳米。微纳颗粒的分离与富集在生物学研究、医学诊断、材料合成等领域起着关键作用。相比宏观尺度手段，微流控技术能够实现微纳尺度层面上的精确操控，大幅降低样品和昂贵试剂的消耗，因
纳微科技：股东深圳纳微减持353.26万股，套现8977万元
12月19日，苏州纳微科技股份有限公司（简称：纳微科技）披露了关于持股5%以上股东权益变动的公告。根据公告内容，深圳市纳微科技有限公司及一致行动人江必旺、苏州纳卓管理咨询合伙企业（有限合伙）、苏州纳研管理咨询合伙企业（有限合伙），以及股东陈荣华通过集中竞价和大宗交易方式累计减持公司股份3,532
磁性微球的表面改性
磁性微球是有机高分子和无机磁性物质的复合体，它同时兼具有机高分子微球的诸多表面功能性和磁性无机物质的磁响应性。我们要利用其表面功能性，就有必要使磁性微球表面带上我们所希望的功能基，以提高和扩大其应用范围。免疫磁性微球(Immunomagnetic Microspheres, IMMS )是表面结
微纳流控发展及展望
微流控技术，称它是“颠覆性技术”丝毫不过。 自20世纪90年代以来，微流控芯片技术的出现极大促进了微型化操作和分析方法的研究进展。尽管微流控技术只经历了短短30年的发展，其已经从最初单纯的毛细管电泳的微型化技术，演变成为一种涵盖了从基础生物技术到生物医学诊断等各个领域的富有活力的工具性方法平台
中科大在非平整衬底表面三维微纳米加工技术研究获进展
中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心教授王晓平和罗毅研究团队发展了光刻胶软掩膜蜡纸印刷技术，成功实现了多种形貌三维超结构的可控制备，同时实现了非平整和曲面衬底上微纳米结构的自由构建。相关研究成果近日以Utilization of Resist Stencil Lithography f
打开皮肤“微入口”：微纳3D打印高精度微针，助力无痛给药新时代
在精准医疗和生物传感快速发展的当下，如何实现安全、高效、无痛的药物输送与实时监测，成为医疗技术升级的关键挑战。微针（Microneedle）技术正逐步走向跨领域融合应用的前沿，从传统医疗器械向精准给药、美容抗衰、生物诊断乃至智能可穿戴设备等方向延展。作为一种具备微创性与高效传输能力的微尺度接口结构，
国家纳米中心发明“平面打印，立体成型”微纳加工新方法
表面微纳结构已经在微电子、半导体、太阳能电池、发光二极管、等离子基元、仿生材料、超材料、细胞生物学等领域得到了广泛的应用，极大地推动了表面科学与工程的进展。随着人们对各种表面新奇特性研究的深入，各种新型表面结构不断被提出。这些新型的结构，特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生
宁波材料所三维微纳结构制造最新进展
纳米制造技术是实现纳米结构、器件、系统生产的基础，以微纳器件制造需求或关键技术为牵引，解决微纳米制造的设计、装备、工艺以及应用等关键技术问题，是提升纳米制造技术的关键。 为了便于实现材料和器件在微纳尺寸下的合成或组装，实现其高度集成化和多功能化，宁波材料所许高杰研究团队利用自行研制的三维微
纳微科技新大楼揭幕－推动纳米微球材料研发新高度
2024年9月6日，在金秋送爽、硕果累累的美好时节，苏州纳微科技股份有限公司（以下简称“纳微科技”）迎来了历史性的时刻——研发中心大楼正式启用！这不仅标志着纳微科技在科技创新道路上迈出了坚实的一步，更加彰显纳微科技在微球材料领域持续创新、不断突破的决心。 中国科学院院士、原北京大学校长周其凤，
微流控构筑微纳功能材料及其生物医学应用
近日，中国科学院深圳先进技术研究院医工所纳米调控研究中心副研究员杜学敏（通讯作者）及其团队成员赵启龙（第一作者）、崔欢庆（共同第一作者）和王运龙在材料领域期刊Small上发表微流控构筑微纳功能材料及其生物医学应用综述，全面总结了基于微流控技术构建形态、形貌、结构、组成乃至性能精准可调的微纳功能材
微流控芯片表面改性技术
操作单元尺度在微米级的微流控芯片构件表面有三个明显的特点：1.表面积/体积比大。在微流控芯片中随着表面积与体积比的增大，表面效应显著，表面的重要性被强化，表面的微小变化就会对流体的行为产生大的影响。2.材料多元化。微流控芯片材质多样，增加了芯片表面的复杂性。不同的表面电渗不同，对不同分子的相互作用方
微流控芯片的加工技术
一、光刻（lithography）和刻蚀技术（etching）1.光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进行微制造 ，工艺如下 ：①仔细地将基片洗净;②在干净的基片表面镀上一层阻挡层 ，例如铬、二氧化硅、氮化硅等;③再用甩胶机在阻挡层上均匀地甩上一层几百 A厚的光敏材料——光刻胶。光刻胶的实际厚度与它
微流控芯片加工技术解析
微流控芯片的发展 微全分析系统的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz与Widmer提出的，当时主要强调了分析系统的“微”与“全”，及微管道网络的MEMS加工方法，而并未明确其外型特征。次年Manz等即在平板微芯片上实现了毛细管电泳与流动。微型全分析系统当前的发展前沿。
微流控分析芯片加工技术
微流控分析是以微管道为网络连接微泵、微阀、微储液器、微电极、微检测元件等具有光、电和流体输送功能的元器件，最大限度地把采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等分析功能集成在芯片上的微全分析系统。目前，微流控分析芯片的大小约几个平方厘米，微管道宽度和深度(高度)为微米和亚微米级。微流控分析芯片的加工技术