俄歇电子能谱成分深度分析

AES的深度分析功能是AES最有用的分析功能,主要分析元素及含量随样品表面深度的变化。镀铜钢深度分析曲线采用能量为500eV~5keV的惰性气体氩离子溅射逐层剥离样品,并用俄歇电子能谱仪对样品原位进行分析,测量俄歇电子信号强度I (元素含量)随溅射时间t(溅射深度)的关系曲线,这样就可以获得元素在样品中沿深度方向的分布。在经过界面反应后,在PZT薄膜与硅基底间形成了稳定的SiO2界面层。这界面层是通过从样品表面扩散进的氧与从基底上扩散出的硅反应而形成的。溅射产额与离子束的能量、种类、入射方向、被溅射固体材料的性质以及元素种类有关。多组分材料由于其中各元素的溅射产额不同,溅射产额高的元素被大量溅射掉,而溅射产额低的元素在表面富集,使得测量成分发生变化,称之为择优溅射。有时择优溅射的影响很大。如上图。工作模式有两种:1)连续溅射式:离子溅射的同时进行AES分析; 2)间歇溅射式:离子溅射和AES分析交替进行。离子溅射深度分布分析是一......阅读全文

俄歇电子能谱仪的测试结果

俄歇电子能谱俄歇电子数目N(E)随其能量E的分布曲线称为俄歇电子能谱。一般情况下,俄歇电子能谱是迭加在缓慢变化的,非弹性散射电子形成的背底上。俄歇电子峰有很高的背底,有的峰还不明显,不易探测和分辩。为此通常采用电子能量分布的一次微分谱,即N’(E)=dN(E)/dE来显示俄歇电子峰。这时俄歇电子峰形

俄歇电子能谱的起源和介绍

俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,简称AES),是一种表面科学和材料科学的分析技术。因此技术主要借由俄歇效应进行分析而命名之。这种效应系产生于受激发的原子的外层电子跳至低能阶所放出的能量被其他外层电子吸收而使后者逃脱离开原子,这一连串事件称为俄歇效应,而逃脱出来的

俄歇电子能谱仪的特点简介

  ①俄歇电子的能量是靶物质所特有的,与入射电子束的能量无关。右图是一些主要的俄歇电子能量。可见对于Z=3-14的元素,最突出的 俄歇效应是由KLL跃迁形成的,对Z=14-40的元素是LMM跃迁,对Z=40-79的元素是MNN跃迁。大多数元素和一些化合物的俄歇电子能量可以从手册中查到。  ②俄歇电子

俄歇电子能谱基本原理

俄歇电子能谱仪的基本原理是,在高能电子束与固体样品相互作用时,原子内壳层电子因电离激发而留下一个空位,较外层电子会向这一能级跃迁,原子在释放能量过程中,可以发射一个具有特征能量的 X 射线光子,也可以将这部分能量传递给另一个外层电子,引起进一步电离 ,从而发射一个具有特征能量的俄歇电子。检测俄歇电子

简述俄歇电子能谱仪对表面元素分布分析

  俄歇电子能谱表面元素分布分析 , 也称为俄歇电子能谱元素分布图像分析。它可以把某个元素在某一区域内的分布以图像方式表示出来 , 就象电镜照片一样。只不过电镜照片提供的是样品表面形貌 , 而俄歇电子能谱提供的是元素的分布图像。结合俄歇化学位移分析 , 还可以获得特定化学价态元素的化学分布图像。俄歇

俄歇电子能谱仪在材料分析中的应用

俄歇电子能谱仪(AES)是建立在电子技术、弱信号检测技术和超高真空技术基础上的一种研究材料表面组成元素的新型分析仪器。本文介绍了俄歇电子能谱技术的基本原理、技术发展和样品制备技术,重点介绍了俄歇电子能谱仪在材料分析(失效分析、表面分析、微区分析等)方面的应用。俄歇电子能谱仪在材料表面性质研究方面,有

俄歇电子能谱分析的用途

元素的定性和半定量分析(相对精度30%);元素的深度分布分析(Ar离子束进行样品表面剥离);元素的化学价态分析;界面分析

俄歇电子能谱分析的依据

俄歇电子的激发方式虽然有多种(如X射线、电子束等),但通常主要采用一次电子激发。因为电子便于产生高束流,容易聚焦和偏转。分析依据:俄歇电子的能量具有特征值,其能量特征主要由原子的种类确定,只依赖于原子的能级结构和俄歇电子发射前它所处的能级位置, 和入射电子的能量无关。测试俄歇电子的能量,可以进行定性

俄歇电子能谱分析的特点

1)分析层薄,0~3nm。AES的采样深度为1~2nm,比XPS(对无机物约2nm,对高聚物≤10nm)还要浅,更适合于表面元素定性和定量分析。(2)分析元素广,除H和He外的所有元素,对轻元素敏感。(3)分析区域小,≤50nm区域内成分变化的分析。由于电子束束斑非常小,AES具有很高的空间分辨率,

俄歇电子能谱分析的特点

横向分辨率取决于入射束斑大小;俄歇电子来自浅层表面(电子平均自由程决定),其信息深度为1.0-3.0nm;检测极限可达10-3单原子层(可以有效的用来研究固体表面的化学吸附和化学反应);并且其能谱的能量位置固定,容易分析;适用于轻元素的分析

俄歇电子能谱分析的原理

俄歇电子能谱分析是通过检测试样表面受电子或X射线激发后射出的俄歇电子的能量分布来进行表面分析的方法,写作AES。是电子能谱分析技术之一。其原理是:用具有一定能量的电子束或X射线激发试样,使表面原子内层能级产生空穴,原子外层电子向内层跃迁过程中释放的能量又使该原子核外的另一电子受激成为自由电子,该电子

俄歇电子谱的定性分析

依据:俄歇电子的能量仅与原子本身的轨道能级有关,与入射电子的能量无关。对于特定的元素及特定的俄歇跃迁过程,其俄歇电子的能量是特征的。由此,可根据俄歇电子的动能来定性分析样品表面物质的元素种类。方法:实际分析的俄歇电子谱图是样品中各种元素俄歇电子谱的组合,定性分析的方法是将测得的俄歇电子谱与纯元素的标

俄歇电子能谱仪AES(PHI700Xi)扫描俄歇纳米探针

PHI的700Xi扫描俄歇电子能谱仪(AES) 提供高性能的扫描俄歇电子(AES) 频谱分析,俄歇成像和溅射深度分析的复合材料包括:纳米材料,催化剂,金属和电子设备。维持基于PHI CMA的核心俄歇仪器性能,和响应了用户所要求以提高二次电子(SE)成像性能和高能量分辨率光谱。PHI的同轴镜分析仪(C

俄歇电子能谱仪的技术发展

新一代的俄歇电子能谱仪多采用场发射电子枪,其优点是空间分辨率高,束流密度大,缺点是价格贵,维护复杂 ,对真空要求高。除 H 和 He 外,所有原子受激发后都可产生俄歇电子,通过俄歇电子能谱不但能测量样品表面的元素组分和化学态,而且分析元素范围宽,表面灵敏度高。显微AES是 AES 很有特色的分析功能

俄歇电子能谱仪粉末样品的处理

  粉体样品有两种常用的制样方法。一是用导电胶带直接把粉体固定在样品台上,一是把粉体样品压成薄片,然后再固定在样品台上。前者的优点是制样方便,样品用量少,预抽到高真空的时间较短;缺点是胶带的成分可能会干扰样品的分析,此外荷电效应也会影响到俄歇电子谱的采集。后者的优点是可以在真空中对样品进行处理,如加

俄歇电子能谱仪的应用领域

通过正确测定和解释AES的特征能量、强度、峰位移、谱线形状和宽度等信息,能直接或间接地获得固体表面的组成、浓度、化学状态等多种情报。定性分析定性分析主要是利用俄歇电子的特征能量值来确定固体表面的元素组成。能量的确定在积分谱中是指扣除背底后谱峰的最大值,在微分谱中通常规定负峰对应的能量值。习惯上用微分

俄歇电子能谱的基本原理

入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子形成空穴。外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以X光的形式放出,即产生特征X射线,也可能又使核外另一电子激发成为自由电子,这种自由电子就是俄歇电子。入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以

简述俄歇电子能谱的历史背景

  最近十年中,固体表面分析方法获得了迅速的发展,它是目前分析化学领域中最活跃的分支之一。 它的发展与催化研究、材料科学和微型电子器件研制等有关领域内迫切需要了解各种固体表面现象密切相关。各种表面分析方法的建立又为这些领域的研究创造了很有利的条件。  在表面组分分析方法中,除化学分析用电子能谱以外,

俄歇电子能谱的基本原理

入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子形成空穴。外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以X光的形式放出,即产生特征X射线,也可能又使核外另一电子激发成为自由电子,这种自由电子就是俄歇电子。入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以

关于俄歇电子能谱的物理原理介绍

  入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子形成空穴。外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以X光的形式放出,即产生特征X射线,也可能又使核外另一电子激发成为自由电子,这种自由电子就是俄歇电子。  入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量

俄歇电子能谱的基本原理

1.入射电子束和物质作用,可以激发出原子的内层电子形成空穴。外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量,可能以X光的形式放出,即产生特征X射线,也可能又使核外另一电子激发成为自由电子,这种自由电子就是俄歇电子(如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子,L层电子跃迁到K层,释放的能量又将L层的另一个

俄歇电子谱应用方向

1、通过俄歇电子谱研究化学组态:原子“化学环境”指原子的价态或在形成化合物时,与该(元素)原子相结合的其它(元素)原子的电负性等情况。2、定性分析:对于特定的元素及特定的俄歇跃迁过程,其俄歇电子的能量是特征的。由此,可根据俄歇电子的动能来定性分析样品表面物质的元素种类。3、定量分析或半定量分析:俄歇

关于俄歇电子能谱仪对表面元素定性分析

  俄歇电子的能量仅与原子的轨道能级有关 , 与入射电子能量无关 , 也就是说与激发源无关。对于特定的元素及特定的俄歇跃迁过程 ,俄歇电子的能量是特征性的。因此可以根据俄歇电子的动能 , 定性分析样品表面的元素种类。由于每个元素会有多个俄歇峰 , 定性分析的准确度很高。 AES 技术可以对除 H 和

碳俄歇电子能谱数值分析在催化方面的应用

通过卷积法和最小二乘法,处理Ga-Mo/HZSM-5催化剂上形成碳的XAES数据。同时,建立了光滑XAES数据点的数学模型。由碳的KVV俄歇光谱数据一阶(dN/dE)和二阶(d2N/dE2)导数结果表明,二阶导数光谱的特征峰能与碳的理论态密度关联,获得相关碳的精细结构信息与催化剂的性能相符。

为什么俄歇电子能谱不能分析h与he元素

俄歇电子谱不能探测He元素,因为He只有一层电子,不能产生俄歇效应;X射线光电子谱不能探测He元素,X射线光电子能谱仪是使样品内层电子产生光电子,但是He只有一层电子,不能探测。

俄歇电子能谱仪的电子能量分析器相关介绍

  这是AES的心脏,其作用是收集并分开不同的动能的电子。 由于俄歇电子能量极低,必须采用特殊的装置才能达到仪器所需的灵敏度。目前几乎所有的俄歇谱仪都使用一种叫作筒镜分析器的装置。  分析器的主体是两个同心的圆筒。样品和内筒同时接地,在外筒上施加一个负的偏转电压,内筒上开有圆环状的电子入口和出口,激

关于俄歇电子能谱仪的电子能量分析器介绍

  电子能量分析器是俄歇电子能谱仪的心脏,其作用是收集并分开不同的动能的电子。 由于俄歇电子能量极低,必须采用特殊的装置才能达到仪器所需的灵敏度。大量的俄歇谱仪都使用一种叫作筒镜分析器的装置。  分析器的主体是两个同心的圆筒。样品和内筒同时接地,在外筒上施加一个负的偏转电压,内筒上开有圆环状的电子入

简介俄歇电子能谱仪的样品安置系统

  一般包括样品导入系统,样品台,加热或冷却附属装置等。为了减少更换样品所需的时间及保持样品室内高真空,俄歇谱仪采用旋转式样品台,能同时装6-12个样品,根据需要将待分析样品送至检测位置。  俄歇能谱仪的样品要求能经得住真空环境,在电子束照射下不产生严重分解。有机物质和易挥发物质不能进行俄歇分析,粉

俄歇电子能谱仪测量的实际应用例子

  摩擦、磨损与润滑  由 高铬钢制成的叶片泵的定子,在水 乙氨酸系润滑油中长时间工作后,在摩擦面上会产生局部变色区。先用大直径的电子束斑进行俄歇分析,发现摩擦面上存在氧、铁、锡、钙、碳、钾、氯和硫等元素。然后用细聚焦电子束作微区分析。结果表明,定子摩擦面的局部变色区是由于锡的偏聚所造成的。  在润

俄歇电子能谱仪的基本原理

  俄歇电子能谱仪的基本原理是,在高能电子束与固体样品相互作用时,原子内壳层电子因电离激发而留下一个空位,较外层电子会向这一能级跃迁,原子在释放能量过程中,可以发射一个具有特征能量的 X 射线光子,也可以将这部分能量传递给另一个外层电子,引起进一步电离 ,从而发射一个具有特征能量的俄歇电子。检测俄歇