氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化，用泄漏率来表示。漏率的定义其中：△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作......阅读全文
精密型的氦质谱检漏仪的结构组成
对于氦质谱检漏仪器大家想必并不陌生，其是通过核心是通过质谱室的供电与测量，那么作为供电的核心部位，其中一部分属于真空部分，对于这部分的核心检测需求是非常高的，而通过检测方面得的检测数据输出，形成了核心装置。(1)那么氦质谱检漏仪器主要通过控制电流输出大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的
精密型的氦质谱检漏仪的结构组成
对于氦质谱检漏仪器大家想必并不陌生，其是通过核心是通过质谱室的供电与测量，那么作为供电的核心部位，其中一部分属于真空部分，对于这部分的核心检测需求是非常高的，而通过检测方面得的检测数据输出，形成了核心装置。 (1)那么氦质谱检漏仪器主要通过控制电流输出大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法
1、尽量开大节流阀。 2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。 3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。 4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。
氦质谱检漏仪－一般操作步骤
1,将真空泵,Pfeiffer氦质谱检漏仪,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.2,Pfeiffer检漏仪上的阀门处于导通的状态.3, Pfeiffer质谱检漏仪通电,3分钟后完成自检,进入”READY TO START”4,先启动真空泵,再按氦质谱检漏仪上的”START/STOP”按钮,启动Pf
利用氦质谱检漏仪进行真空系统检漏
0 引言 为了贯彻落实国家有关节能减排的政策，电力行业必须提高发电机组运行的经济性。汽轮机组必须建立高真空，使蒸汽能够最大限度地把热焓转变为汽轮机的动能。在具体的电厂生产环境下，要确保凝汽器内具有良好的真空，必须保证漏入汽轮机真空系统的空气要尽量少。汽轮机组汽封性能的优劣，低压真空部分漏点的
氦质谱检漏仪测定漏率型简介
1、充氦法 充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气
氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏仪漏率最小是多少
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析
氦质谱检漏仪在低温容器行业应用
一、低温容器检漏原因低温容器主要储存液态气体，出于安全及成本方面考虑，会对低温容器有较高的漏率（如表1所示）要求，因此对低温容器的检漏尤为必要，如杜瓦瓶，LNG储罐，Perma, 冷槽罐都需要使用氦质谱检漏仪检测。表1体积 L10-50100以上真空夹层漏率Pa*m³/s≤2×10E-8≤6×10
氦质谱检漏仪－ASM－340－操作方法
1. 连接好所有管路后确认手动阀关闭, 如果是单机检测, 请确认进气法兰关闭.2. 机型 ASM 340 WET 请先确认是否完成加油3. 检漏仪 ASM 340 各个接口图示如下:操作说明1. 插电,打开检漏仪后面的电源按扭2．等待启动完成, 大概需要3分钟时间,如下图是待机模式3．进入准备启动
氦质谱检漏仪的特点及其不同检测方式
氦质谱检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检
氦质谱检漏仪灵敏度降低的维护
氦质谱检漏作为目前真空应用中较为广泛的一种检漏技术，发展出了多种多样的检漏方式。但氦质谱检漏仪经过长时间使用后，就有可能出现灵敏度降低的情况。今天螺杆真空泵厂家就和大家一起分享下，遇到检漏仪灵敏度降低时该怎么去维护。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面
氦质谱检漏仪遇到的问题解决
氦质谱检漏仪常见故障解决1、电泵故障及解决（1）电泵不举动。审查名目有：电源电压是否畸形，电门是否翻开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵结冰后是否能启动）。（2）电泵音调异样。审查油位是否适合，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的入口有无气体排出（那末无气体排出，更替油雾过滤器）。2、分
简介氦质谱检漏仪的正压法检漏方法
正压法检漏与负压法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。 这种正压检漏法应注意事项：第一必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压
氦质谱检漏仪在电子等行业的发展
氦质谱检漏仪的氦质谱检漏仪的质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高；所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火
氦质谱检漏仪的技术参数及特点
主要技术参数 最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪在火电厂的运用
氦质谱检漏仪在火电厂的运用应用一、电厂检漏 — 冷凝罐及汽轮机管路检漏应用（广西北海某电厂）电厂使用检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用检漏仪 Sniffer 模式，检测方法为将
氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分
氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏技术历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
氦质谱检漏仪性能试验方法有哪些？
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
实验室检验检测设备氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪测定漏率型检测方法
测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测，如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。这种方法只能测试试件的漏率，无法确定漏孔的位置和漏孔的个数。 1、充氦法 充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成
氦质谱检漏仪标定与校准——两种检漏仪对比
外置标准漏孔是检验氦质谱检漏仪准确性的标准。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并
氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
石家庄安瑞科气体机械有限公司 作者：苏桂玲 介绍两种生产上常用的氦质谱检漏仪检漏方法: 氦罩法和喷吹法。1、氦罩法 氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示
氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
1、氦罩法 氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来，检漏时先排除罩内空气，然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示有变化时，表明处于氦罩下的被检件有漏孔。检验罩子可用塑料薄膜制成, 对于大批量的小零件，也可制作专用的刚性好的检验罩，使所充示漏气体的压力高于100kPa，以提高检漏灵敏度。氦罩法
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可
氦质谱检漏仪检漏时的误差来源有哪些
氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪，这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些，以便更好地降低或消除测量误差。氦质谱检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第一，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
选择氦质谱检漏仪的必要条件—了解漏孔
很多需要购买氦质谱检漏仪的客户咨询检漏仪的时候首先就问设备价格，可能我们马上给不了你答案。华尔升氦质谱检漏仪带你了解下不同工件存在不同漏孔的形式。 氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠