SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析

前 言 对于半导体器件而言,在管芯表面覆盖钝化膜的保护措施是非常必要的,钝化膜是器件的最终的钝化层和机械保护层,可以起到电极之间的绝缘作用,减弱和稳定半导体材料的多种表面效应,防止管芯受到尘埃、水汽酸气或金属颗粒的沾污,一般采用CVD 工艺(化学气相沉积,Chemical Vapor Deposition)生长二氧化硅或氮化硅作为钝化膜,对于不同器件钝化膜的组分、厚度有差异,钠离子在钝化膜中的迁移率较高,对器件性能影响大,又大量存在于环境之中,很容易造成污染,所以钠离子的含量成为评价钝化工艺质量好坏的一个重要标志1~5,对于钝化膜中钠离子的检测也就很重要。二次离子质谱(SIMS)6分析具有灵敏度高、微区分析、深度剖析的优点,是检测钝化膜中钠离子浓度分布的有效手段,可以给出钠离子在钝化膜中的实际的分布。本工作采用二次离子质谱法对二氧化硅钝化膜中钠离子浓度进行检测。 1 实验部分 1.1......阅读全文

我所将储氢材料应用于钠离子固态电解质

原文地址:http://www.dicp.cas.cn/xwdt/kyjz/202305/t20230511_6752116.html  近日,我所氢能与先进材料研究部复合氢化物材料化学研究组(DNL1901组)陈萍研究员、何腾研究员与美国国家标准与技术研究院(NIST)Hui Wu博士和南京航空航

质谱分析技术等离子体解吸的原理简介

  采用放射性同位素的核裂变碎片作为初级粒子轰击样品使其电离,样品以适当溶剂溶解后涂布于0.5-1µm 厚的铝或镍箔上,核裂变碎片从背面穿过金属箔,把大量能量传递给样品分子,使其解吸电离。在制备样品时,采用硝化纤维素作为底物使得PD-MS 可用以分析分子量高达14 000 的多肽和蛋白质样品。

钠离子电池或成市场“新宠”

  在电池这个庞大的家族中,相比人们熟知的锂离子电池、铅酸电池,镍镉电池、钠离子电池等因储能容量受限、循环次数较少因素未能成为市场的“宠儿”。  不过,近日中国科学院物理所研究员胡勇胜带领团队给钠离子电池的市场带来了一针“强心剂”。他的团队成功利用无烟煤制作出钠离子电池负极,为其进一步市场化应用提供

钠离子电池:“备胎”转正何日可期?

   “许多人对钠离子电池寄予厚望,您怎么看待它的前景?”在2021年腾讯WE大会期间,《中国科学报》记者将这一问题抛给了动力电池与储能及燃料电池技术科学家王朝阳。  “钠离子电池是磷酸铁锂电池的‘备胎’。”他简单、直接的回答让记者颇感意外。毕竟,钠离子电池已经在国内引发极大关注。  “说它是‘备胎

钠离子浓度计有哪些特点?

  特点  pH缓冲溶液5点(1.68,4.01,7.00,10.01,12.46和1.68,4.00,6.86,9.18,12.46)自动标定  5点离子浓度标准液线性校正功能,直接测出样品离子浓度  离子浓度非线性自动空白校正功能,适合低浓度样品测量  独有的EH氧化还原电位(ORP)测量模式,

钠离子浓度计检测标准

   DWS-51型钠离子浓度计   一、仪器的用途   DWS-51型钠离子浓度计是以测量水溶液中的含Na+量而设计的,特别对电厂高纯水(如蒸汽、凝结水、锅炉给水等)的品质监督更适宜应用,其它对炉子水、天然水等也可以应用。   DWS-51型钠离子浓度计是一台全集电路式高阻抗毫伏计(以下称

新型钠离子电池开展应用示范

近日,中科院大连化学物理研究所研究员李先锋、副研究员郑琼团队自主研制出48V/10Ah磷酸盐基钠离子电池储能系统,并作为中低速电动车的动力电源开展应用示范。根据实测数据,在6~7摄氏度环境温度下,该动力电池系统续航里程达到35千米,系统比能量为90瓦时每千克。该系统由32个5安培小时钠离子软包电池,

钠离子浓度计检测标准

   DWS-51型钠离子浓度计   一、仪器的用途   DWS-51型钠离子浓度计是以测量水溶液中的含Na+量而设计的,特别对电厂高纯水(如蒸汽、凝结水、锅炉给水等)的品质监督更适宜应用,其它对炉子水、天然水等也可以应用。   DWS-51型钠离子浓度计是一台全集电路式高阻抗毫伏计(以下称电

钠离子电池:清洁环保新能源

  充分利用太阳能 未来或走进千家万户   “使用可再生能源的其他电池,例如熔盐或液体硫磺,原料只能在高温下摄取,这是它们昂贵和不切实际的原因所在。另外,像铅酸电池这种类型的能源具有很强的腐蚀性,会造成极大的环境污染。而钠离子电池则不会出现上述这些情况。”澳大利亚莫道克大学的化学矿物学家Minak

液质联用中的质谱——离子源篇

  质谱主要测定的是带电离子的质量,即质荷比(m/z)。质谱主要由几大部分构成:样品入口,离子源,质量分析器,检测器,数据系统,质量分析器和检测器(许多质谱的离子源)均在真空中,由真空泵来提供所需10-3-10-10 Torr的真空度。在液质联用中,样品入口即液相色谱的流出端接入离子源,在离子源和质

火焰光度法测定钾离子和钠离子

火焰光度法测定:Na+、K+测定可采用火焰光度法,火焰光度法是一种发射光谱分析法,利用火焰中激发态原子回降至基态时发射的光谱强度进行含量分析,可检测血清、尿液、脑脊液及胸腹水的Na+和K+,该方法属于经典的标准参考法,优点是结果准确可靠,广为临床采用。通常采用的定量方法有标准曲线法、标准加入法和内标

火焰光度法测定钾离子和钠离子

火焰光度法测定:Na+、K+测定可采用火焰光度法,火焰光度法是一种发射光谱分析法,利用火焰中激发态原子回降至基态时发射的光谱强度进行含量分析,可检测血清、尿液、脑脊液及胸腹水的Na+和K+,该方法属于经典的标准参考法,优点是结果准确可靠,广为临床采用。通常采用的定量方法有标准曲线法、标准加入法和内标

火焰光度法测定钾离子和钠离子

火焰光度法测定:Na+、K+测定可采用火焰光度法,火焰光度法是一种发射光谱分析法,利用火焰中激发态原子回降至基态时发射的光谱强度进行含量分析,可检测血清、尿液、脑脊液及胸腹水的Na+和K+,该方法属于经典的标准参考法,优点是结果准确可靠,广为临床采用。 通常采用的定量方法有标准曲线法、标准加入

氮气在离子色谱分析中的作用

在离子色谱分析过程中,氮气并不是必须的,大多数厂家的离子色谱不采用氮气,只有戴安公司的部分离子色谱需要使用氮气。  在戴安的离子色谱使用中,氮气有如下几个作用:  1 保护淋洗液  离子色谱的淋洗液是强酸或强碱,例如碳酸钠/碳酸氢钠、氢氧化钠,尤其是NaOH会很容易吸收空气中的CO2,从而改变淋洗液

氮气在离子色谱分析中的作用

在离子色谱分析过程中,氮气并不是必须的,大多数厂家的离子色谱不采用氮气,只有戴安公司的部分离子色谱需要使用氮气。   在戴安的离子色谱使用中,氮气有如下几个作用:   1 保护淋洗液   离子色谱的淋洗液是强酸或强碱,例如碳酸钠/碳酸氢钠、氢氧化钠,尤其是NaOH会

质谱分析

主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS(1) 电感耦合等离子体质谱(inductively coupled plasma mass spectrometry, ICP-MS)ICP-MS是利用电感耦合等离子体作为离子源的一种元素质谱分析方法;该离子源产生的样

质谱分析

实验概要本实验在二维电泳图像获取和分析的基础上,利用质谱分析及数据库搜索鉴定部分蛋白质斑点。实验步骤1. 胶内酶切随机选择重复性好,差异显著,无明显变形、拖尾,与周围蛋白点分离明确的蛋白点作为质谱分析对象,进行胶内酶解。   1) 从胶上切取蛋白质凝胶颗粒置入96孔培养板内,用去离子水清洗数次。  

四极杆-离子阱质谱分析仪概述

  在阐明化合物的结构方面,三维的四极杆 离子阱得到广泛的应用。与此相关的革新主要有基质辅助 激光解吸离子化源、大气压基质辅助激光解吸离子化源、 红外多 光子光 离解技术的发展,以及使用离子阱分析碱性加合离子与金属 配位产物的研究。近些年,线形二维离子阱的生产,取得了突破性的进展。这种线形二维离子阱

质谱中离子峰的确定

是指的分子离子峰吧?如果是, 应该说明白质谱是指的什么源的质谱仪器?不同的离子源有不同确定方法.如果是气质EI源, 一般来说,最大的m/z就是. 当然前提是样品是纯品. 也会出现失去水峰为最大的m/z峰的可能.如果是气质CI源, 一般来说,最大的m/z就是[M+反应气]. 前提同上.液质就比较复杂了

质谱中离子峰的确定

是指的分子离子峰吧?如果是, 应该说明白质谱是指的什么源的质谱仪器?不同的离子源有不同确定方法.如果是气质EI源, 一般来说,最大的m/z就是. 当然前提是样品是纯品. 也会出现失去水峰为最大的m/z峰的可能.如果是气质CI源, 一般来说,最大的m/z就是[M+反应气]. 前提同上.液质就比较复杂了

不同温度下制备sio2的xrd衍射峰的不同

  二氧化硅的化学式为SiO2。二氧化硅有晶态和无定形两种形态。晶态二氧化硅的熔点1723℃,沸点2230℃,不溶于水。除氟气和氢氟酸外,二氧化硅跟卤素、卤化氢和无机酸均不反应,但能溶于热的浓碱、熔融的强碱或碳酸钠中。弱碱、不同温度下合成的样品的XRD衍射结果#可以看出在室温下合成的样品在1°-3°

钠离子电池跟锂离子电池的区别介绍

  钠离子电池:钠离子电池是一种二次电池(充电电池),重要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作,与锂离子电池工作原理相似。在充放电过程中,Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出:充电时,Na+从正极脱嵌,经过电解质嵌入负极;放电时则相反。  钠离子电池最重要的特点就是利用Na+代替了价格昂贵的Li+,因

第六届中国二次离子质谱会

    会议时间:2016 年10 月 8-11 日  会议地点:大连,中国科学院大连化学物理研究所   第六届中国二次离子质谱会议将于2016年10月8-11日在中国科学院大连化学物理研究所(地址详见附件1)举行。会议将为我国二次离子质谱 界的学术研讨、技术交流

金属基质增强飞行时间二次离子质谱用于单细胞脂质分析

  1引 言   单个细胞在结构、组成及代谢等方面存在差异,这种差异带来的影响在组织、器官等的功能上均有所体现。针对多个细胞的常规分析方法测得的结果通常无法保留这些个体差异信息,难以准确评估及预测细胞的生理学行为,因此,单细胞分析引起越来越多的关注[1]。单细胞分析的一个重要内容是单细胞脂质分析。脂

工业在线钠离子分析仪在水电厂中的应用实例

  TACH-GW-001型工业在线钠离子分析仪是厚谱科学仪器有限公司在充分地总结前辈们的技术开发和广大用户现场使用经验,并结合国内外的先进技术的基础上推出的新一代智能在线分析仪表。该仪器主要用来连续监测生产流程中被测水样的钠离子含量,具有反应快速、测量准确、安全保密、易于操作的特点,可用于炉水蒸汽

MgOZnOAl2O3ZrO2SiO2玻璃碱侵蚀过程的X射线能谱

用扫描电镜(SEM)和X射线能谱(EDAX)研究了MgO-ZnO-Al2O3-ZrO2-SiO2玻璃在5%NaOH溶液中的侵蚀过程。分析了表面侵蚀层的成分,观察了不同阶段的侵蚀层形貌,并测量了侵蚀层厚度的变化。结果表明,玻璃的碱侵蚀以各组分(SiO2、ZnO、MgO)选择性地溶解交替的方式进行,Zr

镀锌板钝化膜层分析技术研究进展

分别介绍了用于镀锌板钝化膜层形貌、厚度测试的扫描电镜显微测试技术、原子力显微测试技术、椭圆偏振光谱测试技术,以及用于成分分析测试的X射线光电子能谱测试技术、能谱和俄歇电子能谱测试技术、红外光谱测试技术的特点和应用情况,揭示了镀锌板钝化剂未来研究发展方向。 

二次离子质谱法的简介

二次离子质谱法是指当初级离子束(Ar+,O2+,N2+, O-,F-,N -或Cs+等) 轰击固体试样表面时,它可以从表面溅射出各种类型的二次离子,利用离子在电场,磁场或自由空间中的运动规律,通过质量分析器,可以使不同质荷比的离子分开,经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法。

钠离子监测仪的主要特点

  显示方式为背光点阵式,采用中文菜单,同时  显示被测水样的钠离子浓度值(/1)和水样温度值(°C)  有(4~20)mA DC隔离输出信号  有自诊断系统,自动判别溶液温度、电极的性能、标准  溶液的浓度、校准溶液的程序  采用二次添加法校准原理,降低在低浓度校准时引起的误差  有自动温度补偿功