10毫米大口径压电MEMS快反镜问世
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队，开发了一种高性能的10毫米大口径压电MEMS（微机电系统）快反镜，能够实现更精确的激光光束闭环控制，可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求，为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。相关研究近日发表于《微系统与纳米工程》。 快反镜在卫星激光通信中承担着光束指向、捕获和跟踪等重要作用，需要具备高指向精度、高工作带宽和高光学质量等一系列极限性能指标。然而，传统机械快反镜存在体积大、功耗高、有迟滞等挑战，同时原有MEMS快反镜镜面小、带宽低、无集成角度传感器等问题也亟待解决。 在前期研究基础上，研究团队开发了一种10毫米大口径压电驱动MEMS快反镜。该设计采用双层异构集成技术以及晶圆级键合工艺，器件具备高线性度超高角度分辨率、快速阶跃响应以及高重复定位精度。在结构设计方面，研究团队创新性引入力学定向结构形成应力集中区域，显著优化了光束控制的精确性......阅读全文
10毫米大口径压电MEMS快反镜问世
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队，开发了一种高性能的10毫米大口径压电MEMS（微机电系统）快反镜，能够实现更精确的激光光束闭环控制，可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求，为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。相关研究近日发表于《微系统与纳米
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
显微镜下确定MEMS传感器的裂纹
裂纹大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。常见的检查方法/设备:探针台电性测试声学显微镜基于探针的微机械测试
显微镜下确定MEMS传感器的问题
MEMS传感器的研发总会使人兴奋，但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时，最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性，将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。您可能会问自己这样一个问题：怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加
显微镜下确定MEMS传感器的粘滞作用
粘滞作用像悬臂梁、薄膜、梭形阀这些机械结构可能由于结构的释放会和底层基板粘连，导致器件永久性失效。如果MEMS传感器结构和衬底之间的距离非常小，那么通过显微镜观察曲率是不可见的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封测环节来挑选了。常见的检查方法/设备:探针台电性测试（如电容传感器）基于探针的微机械测试
射频MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件，它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能力和灵敏度，以及系统的重量、体积和成本，因此研究宽带、低插损的移相器在军事上和民用卫星通信领域具有重要的意义。近年来，随着RF MEMS开关的研究不断取得进展，使MEMS开关替代
显微镜下确定MEMS传感器的粘附力问题
粘附力问题MEMS传感器结构内层与层之间的粘附力可能很微小，光学显微镜也许会看到分层迹象，但微小的粘结层是观察不到的。常见的检查方法/设备:声学显微镜基于探针的微机械测试（破坏性的测试）
二维扫描振镜－2D－MEMS－LASER－SCANNING－MIRROR
MEMS（微机电系统）反射镜是由微型马达驱动的一维或二维小型固态反射镜（片上反射镜）。 指向镜面的激光束被扫描镜精确地偏转和转向，以在特定时间到达目标点。技术特点：快速静电（ES）执行器，功耗最低。 ES执行器在镜面的自谐振频率下工作，是高扫描频率（几十KHz）的理想选择。强而精确的电磁（EM）执行
关于胃食道反流的内镜检查
内镜检查是诊断反流性食管炎最准确的方法，并能判断反流性食管的严重程度和有无并发症，结合活检可与其他原因引起的食管炎和其他食管病变（如食管癌等）作鉴别。内镜见到反流性食管炎可以确立胃食管反流病的诊断，但无反流性食管炎不能排除胃食管反流病。根据内镜下所见食管粘膜的损害程度进行反流性食管炎的分级，有利
显微镜下确定MEMS传感器的边墙形貌问题
边墙形貌（sidewall profile）不佳微结构的边墙对器件性能有很大程度上的影响。通过光学显微镜看结构，所看到的边墙不是很好。特别是，刻蚀不足和沟槽通常是看不见的。然而，这些几何形变会明显改变弹簧和柔性板的机械性能。常见的检查方法/设备:切割晶圆，通过扫描电子显微镜观察（破坏性的测试）基于探
显微镜下确定MEMS传感器的失败的释放工艺
失败的释放工艺所谓释放工艺，通常是为了形成MEMS器件中可动的机械部分，通过对连接机械部分到基底的材料进行不完全刻蚀来实现。当释放失败时，重要的是找到大部分释放结构释放成功而锚点没有释放好的区域。常见的检查方法/设备：单芯片器件层或结构测试（破坏性测试）（Break-off device layer
显微镜下确定MEMS传感器的不精确的材料特性
不精确的材料特性新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。常见的检查方法/设备:探针台（针对电性能）X射
MEMS－CHINA－2012－展会预告
MEMS CHINA 2012 展会预告 铂悦仪器将于2012年6月11-13日参加在上海光大会展中心(上海徐汇区漕宝路66号)举办的MEMS CHINA 2012，展位号：207，届时将展出布鲁克台阶仪，光学轮廓仪、牛津激光钻孔机、 金相研磨切割机等。欢迎您莅临参观! 展会具体
MEMS激光扫描投影技术
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术，一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能，而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年，微机电系统(MEM
超快太赫兹扫描隧道显微镜
导读 原子级上电流的超快控制对纳米电子未来的创新至关重要。之前相关研究表明，将皮秒级太赫兹脉冲耦合到金属纳米结构可以实现纳米尺度上极度局部的瞬态电场。 正文 近期，加拿大阿尔伯塔大学(University of Alberta)Frank A. Hegmann教授研究组在
超快电子显微镜助力超快结构动力学及近场研究
超快电子显微镜（UEM）凭借亚纳米-亚皮秒的时空分辨能力，成为非平衡态结构动力学及超快科学的重要研究手段。由于电子探针对结构变化和电场相位高度敏感，UEM在超快激光诱导层状材料的动态结构演化和近场研究中具有优势。飞秒激光激发二维层状材料的相干纵向呼吸声学声子已被广泛报道，而相干横向剪切声学声子的激发
超快电子显微镜助力超快结构动力学及近场研究
超快电子显微镜（UEM）凭借亚纳米-亚皮秒的时空分辨能力，成为非平衡态结构动力学及超快科学的重要研究手段。由于电子探针对结构变化和电场相位高度敏感，UEM在超快激光诱导层状材料的动态结构演化和近场研究中具有优势。飞秒激光激发二维层状材料的相干纵向呼吸声学声子已被广泛报道，而相干横向剪切声学声子的激发
MEMS振荡器的特点
特点与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。* 高性能模拟温补技术使全硅MEMS振荡器具有优秀的全温频率稳定性，彻底解除温飘问题；* 可编程的平台为系统设计和缩短新产品开发周期提供必要的灵活性；* 完善的半导体生产
MEMS振荡器的介绍
MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器。中文名 MEMS振荡器 外文名 MEMS oscillator介绍MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响
MEMS振荡器的目标
目标MEMS振荡器可以利用现有硅半导体行业所使用的制造技术和设备，让半导体行业能在代工环境中集成MEMS。Sitime公司将以MEMSFirst技术进入时钟管理器件市场，下一代集成度更高的解决方案将包括MEMS振荡器和在同一硅晶圆上制造的超大规模集成电路控制功能。Sitime公司已与Jazz半导体公
显微镜下确定MEMS传感器的内应力和应力梯度问题
内应力和应力梯度内部应力是使用薄膜常见的问题。在生产过程中产生的应力会导致器件良率和性能降低，以及淀积膜的分层和开裂。常见的检查方法/设备:光学晶圆曲面测量结合显微镜或白光干涉测厚仪测试晶圆结构基于探针的微机械测试晶圆结构
反铁磁性氧化铁可远程传输数据－处理速度快几千倍
一个国际合作研究小组已成功观察到，绝缘反铁磁体——反铁磁性氧化铁具有远程传输数据的性能。反铁磁体是一组磁性材料，拥有比传统铁磁部件更快的计算速度。这项研究发表在最新一期《自然》杂志上。 基于现有材料和半导体技术的常规装置在运行时会过热，导致速度达到极限，从而限制了计算机技术的发展，而反铁磁
反铁磁性氧化铁远程传输数据－速度比传统技术快几千倍
一个国际合作研究小组已成功观察到，绝缘反铁磁体——反铁磁性氧化铁具有远程传输数据的性能。反铁磁体是一组磁性材料，拥有比传统铁磁部件更快的计算速度。这项研究发表在最新一期《自然》杂志上。 基于现有材料和半导体技术的常规装置在运行时会过热，导致速度达到极限，从而限制了计算机技术的发展，而反铁磁性氧化铁
物理所激光诱导反铁磁超快自旋动力学研究取得进展
与常规铁磁材料相比，反铁磁材料宏观磁矩为零，难以通过磁性测量研究其静态磁性。由于反铁磁具有强的交换耦合和高共振频率，可在GHz乃至THz方面得到广泛的应用。随着自旋电子器件工作频率越来越高，反铁磁材料的超快自旋动力学越来越成为当前自旋电子学研究的热点。 脉冲激光诱导的超快自旋动力学可为研究反铁
超快太赫兹扫描隧道显微镜（THzSTM）
导读 原子级上电流的超快控制对纳米电子未来的创新至关重要。之前相关研究表明，将皮秒级太赫兹脉冲耦合到金属纳米结构可以实现纳米尺度上极度局部的瞬态电场。 正文 近期，加拿大阿尔伯塔大学(University of Alberta)Frank A. Hegmann教授研究组在美国
快筛快检－守住食安
江门市副市长梁许赞检查农贸市场食品检测室。 食品药品安全是公众最为关注的切身问题之一，如何守住食品药品安全底线和红线，将餐桌上的风险和隐患降至最低，是食品药品监管部门的“头等大事”。 面对近年来全国多地食品安全事故频发，食品药品制假售假违法犯罪手段愈加复杂隐蔽的现状，2015年8月，江门市食
压电MEMS超声波换能器设计（二）
当微控制器设置SR锁存器时，飞行时间（ToF）功能启动，SR锁存器开始在采样保持积分器上累积电荷。同时，微控制器按PMUT设计的谐振频率产生一系列脉冲（122kHz）。因为核心电源电压为2.5V，而根据PMUT的要求必须升高至32V，所以使用电荷泵DC-DC转换器和数字电平转换器将脉冲放大至
MEMS陀螺仪应用与原理介绍
一定的初始条件和一定的外在力矩作用下，陀螺会在不停自转的同时，还绕着另一个固定的转轴不停地旋转，这就是陀螺的旋进（precession），又称为回转效应（gyroscopic effect）。 陀螺仪的种类很多，按用途来分，它可以分为传感陀螺仪和指示陀螺仪。传感陀螺仪用于飞行体运动的自动控制系