一篇文章说清半导体制程发展史(四)

有朋友补充说,这种金属是钨,我查阅到资料也提到是钨;钨本身也用在后端的via中; 但是在这个问题上我有些保留,主要原因是4点:第一, 我自己上课的时候,有多位教授都明确提到过,关于这个metal gate的资料外界知之甚少,至少他们自己不知道,或因为某种原因而不愿意说;第二,从原理上说,对于NMOS和PMOS,因为所需的功函数是不一样的,所以单一的一种金属无论如何是不可能满足整个high-k工艺的需求,即使确实是钨,也需要进行work function engineering;第三, 也有很多资料提到了别的材料,譬如说TiN 系列作为metal gate;第四, 或许也是最令人疑惑的,就是在我查阅过的资料中,虽然Intel很早就说使用了HfO2作为high-k材料,但是Intel自己却没有透露这种或这几种金属是什么,它在2008年发表的iedm的文章,并没有提及具体的材料,而是以“metal gate”作为代......阅读全文

一篇文章说清半导体制程发展史(四)

有朋友补充说,这种金属是钨,我查阅到资料也提到是钨;钨本身也用在后端的via中; 但是在这个问题上我有些保留,主要原因是4点:第一, 我自己上课的时候,有多位教授都明确提到过,关于这个metal gate的资料外界知之甚少,至少他们自己不知道,或因为某种原因而不愿意说;第二,从原理上说,对于

一篇文章说清半导体制程发展史(三)

第三个问题,技术节点的缩小过程中,晶体管的设计是怎样发展的。首先要搞清楚,晶体管设计的思路是什么。主要的无非两点:第一提升开关响应度,第二降低漏电流。为了讲清楚这个问题,最好的方法是看图。晶体管物理的图,基本上搞清楚一张就足够了,就是漏电流-栅电压的关系图,比如下面这种:横轴代表栅电压,纵轴

一篇文章说清半导体制程发展史(五)

14nm 继续FinFET。下面是英特尔的14nm晶体管的SEM横截面图,大家感受一下,fin的宽度平均只有9nm。当然,在所有后代的技术节点中,前代的技术也是继续整合采用的。所以现在,在业界和研究界,一般听到的晶体管,都被称作high-k/metal gate Ge-strained 14

一篇文章说清半导体制程发展史(二)

第二个问题,为什么现在的技术节点不再直接反应晶体管的尺寸呢?原因也很简单,因为无法做到这个程度的缩小了。有三个主要原因:首先,原子尺度的计量单位是埃,为0.1nm。10nm的沟道长度,也就只有不到100个硅原子而已。未来晶体管物理模型是这样的:用量子力学的能带论计算电子的分布,但是用经典的电

一篇文章说清半导体制程发展史(一)

半导体制造工艺节点是如何演进的?晶体管的架构是怎样发展成如今模样的?下面告诉你...半导体制造的工艺节点,涉及到多方面的问题,如制造工艺和设备,晶体管的架构、材料等。下面,我们就具体介绍并分析一下,供大家参考。首先,技术节点是什么意思呢?常听说的,诸如,台积电16nm工艺的Nvidia GP

解析:半导体nm制程指的是哪里?

    半导体制程指的是MOS管实际制造结束时的栅级引线宽度,也就是栅级多晶硅的宽度。  当然,实际中源极和漏极会有少量延伸到栅级下面,所以源极和漏极的实际分隔距离小于栅级宽度。这个有效分开距离被称为有效沟道长度,对晶体管而言是最重要的参数。不过这个参数很难测量,所以一般直接用栅级引线宽度来

半导体ATE设备发展史

  自动化测试设备(ATE,Automatic Test Equipment)是一种通过计算机控制进行器件、电路板和子系统等测试的设备。通过计算机编程取代人工劳动,自动化的完成测试序列。自动化测试设备(ATE)已是全球半导体设备产业之中的重要组成部分。  自动化测试设备(ATE)的应用场合涵盖集成电

SPOS技术在半导体CMP制程中的应用

胶体混悬液与分散体有着十分广泛应用领域,而决定这些体系质量和稳定性的重要因素就是其内部的粒径分布,因而准确掌握这些体系的粒径分布特征就能确保其在广泛领域的成功应用。相对于一些整体检测技术,如:激光衍射技术与超声衰减技术,单粒子光学传感技术 (Single Particle Optical Sensi

《自然》撤销一篇血液干细胞文章

  10月13日,《自然》杂志因为数据问题而撤销一篇有关血液干细胞的文章。  这篇由美国霍华德·休斯医学研究所的Amy Wagers和合作者完成的文章认为,成体血液干细胞中年龄相关性缺陷可受环境影响,甚至发生逆转。而根据ISI Web of Science的数据显示,此文今年已被13篇文章

如何快速的理解一篇高分SCI文章

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如何快速的理解一篇高分SCI文章?

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一篇文章带你了解CSS-渐变知识

CSS3 渐变使您能够是你的背景颜色在两个或多个颜色之间平滑过渡。早些时候,你必须使用图像实现这些效果。 然而, 通过使用CSS3渐变可以减少下载时间和带宽的使用. 此外,缩放的元素在缩放时看起来更好,因为渐变是由浏览器生成的。一、浏览器支持表中的数字指定完全支持该属性的第一个浏览器版本。(来源于百

一篇文章全面认识电阻、电容、电感

电子元件知识——电阻器  电阻:导电体对电流的阻碍作用称为电阻,用符号R表示,单位为欧姆、千欧、兆欧,分别用Ω、KΩ、MΩ表示。  电阻的型号命名方法:国产电阻器的型号由四部分组成(不适用敏感电阻)  ①主称 ②材料 ③分类 ④序号  电阻器的分类:  ①线绕电阻器  ②薄膜电阻器:碳膜电阻器、合成

半导体成熟制程或有管控风险-业内研判影响不一

【半导体成熟制程或有管控风险 业内研判影响不一】日前,美国和欧盟召开了贸易与技术委员会会议(TTC),并发表联合声明,双方将在传统半导体(主要是成熟制程芯片)领域加强合作,并将采取“下一步措施”。对于该声明对国产半导体的影响,证券时报记者采访半导体行业人士,有观点认为不会造成影响,或者影响有限,但需

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  一、菌落总数的概念和测定意义   菌落(colony)是指细菌在固体培养基上发育而形成的能被肉眼所识别的生长物,它是由数以万计的相同细菌聚集而成的,故又有细菌集落之称。   菌落总数是指在被检样品的单位重量(g)、容积(mL)或表面积内,所含能于某种固体培养基上,在一定条件下培养后所生成的细

一篇文章全面了解漏电保护器

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一篇文章读懂超级结MOSFET的优势

平面式高压MOSFET的结构图1显示了一种传统平面式高压MOSFET的简单结构。平面式MOSFET通常具有高单位芯片面积漏源导通电阻,并伴随相对更高的漏源电阻。使用高单元密度和大管芯尺寸可实现较低的RDS(on)值。但大单元密度和管芯尺寸还伴随高栅极和输出电荷,这会增加开关损耗和成本。另外还存在对于

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一篇文章帮你搞懂实验室误差!

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       压力变送器在工业中应用非常多,在电气设备中压力变送器起着类似于传感器的功能,可以将压力转换成气动信号或电动信号进行控制和远传的设备。它能将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号(如4-20mA等),以供给显示控制仪、无纸记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和

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如何预防新型冠状病毒?这篇文章全都说清楚了

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细胞该怎么冻存,一篇文章告诉你

 人小梁细胞主要功能:   (1) 人小梁网细胞分离自人眼的近小管组织和角巩膜区域。   (2) 小梁网细胞在房水流动机制中发挥重要作用。   (3) 在小梁网细胞中有特定的神经递质和神经肽受体,其中包括肾上腺素,乙酰胆碱和神经肽Y。(4) 小梁网细胞可合成不同类型的细胞外基质蛋白以及金属蛋白酶。 

一篇文章教会你如何正确清洗实验器皿!

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一篇了解双金属温度计的好文章

双金属温度计把两种线膨胀系数不同的金属组合在一起,一端固定,当温度变化时,两种金属热膨胀不同,带动指针偏转以指示温度,这就是双金属片温度计,如上页图所示。测温规模为-80~500C,它适用于工业上精度要求不高时的温度测量。双金属片作为一种感温元件也可用于温度自动控制。WSS系列双金属温度计是一种丈量