应用于射频的集成无源器件硅基转接板技术

摘要 展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和 TSV 等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS 、 MMIC 及 MEMS 多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在 40 GHz 为0.34 dB/mm ,电容密度达到 1.05 fF/μm 2 , 2.5 圈 8 nH 电感最大 Q 值在 1.5 GHz 达到 16 。这项制造技术与 CMOS 制造工艺兼容,可为超高集成度的三维集成型化射频微系统提供有力支撑。 引言 过去几十年中,电子器件一直遵循摩尔定律通过减小加工线宽提高器件性能。近年来随着加工精度下降,到达 9 nm 甚至更小以后摩尔定律开始难以为继。半导体行业发展的重点逐渐转移到小型化、多功能的微系统上,即所谓的超越摩尔路线。同时,随着 ......阅读全文

应用于射频的集成无源器件硅基转接板技术

摘要   展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和 TSV 等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS 、 MMIC 及 MEMS 多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在 40 GH

射频无源器件自动测试系统NSAT1000

1. 系统优势>>改进传统测试工序复杂、测试合格率不稳定的问题>>一键完成各类测试,自动生成各类测试报告>>提高测试效率50倍2. 系统概述>>系统控制测试终端——矢量网络分析仪。>>系统可自动测量射频无源器件包括射频连接器、射频线缆、滤波器、功分器、天线、放大器、衰减器、混频器、耦合器、屏蔽材料等

无源集成元器件关键技术研究取得成效

   无源电子元件是一大类重要的电子信息产品。无源元件与有源器件(集成电路等半导体产品)共同构成电路的核心部分,是各类电子信息产品的基础。在新型电子产品中,集成电路和无源元件占全部电子元器件及零部件的生产总成本的46.1%和9.1%,而在总安装成本中却分别占12.7%和55.1%,甚至某些片式元件的

使用微型模块SIP中的集成无源器件(三)

使用ADI的集成无源器件(iPassives)如前所述,高质量的无源器件一直是ADI多年来众多产品所实现的电路性能的核心。在此期间,无源器件的范围不断扩大并且质量不断提高,集成无源器件产品组合现在包含大量元件。集成无源器件采用模块化工艺,这意味着只有在需要特定元件时才需要执行生产某种类型无源器件所需

使用微型模块SIP中的集成无源器件(二)

分立元件的局限性过去,无源元件是分立的,这意味着它们是分别制造的,并且在电路中通过印刷电路板(PCB)上的导线或电源轨相连。随着时间的推移,它们沿着三条路径发展演变:更小的尺寸、更低的成本和更高的性能。这些发展现在已经很成熟并经过了优化,但是占位尺寸和高度尺寸意味着分立无源元件总是限制了缩小整体解决

使用微型模块SIP中的集成无源器件(一)

简介集成无源器件在我们的行业中并不是什么新事物——它们由来已久且众所周知。实际上,ADI公司过去曾为市场生产过这类元件。当芯片组将独立的分立无源器件或者是集成无源网络作为其一部分包含在内时,需要对走线寄生效应、器件兼容性和电路板组装等考虑因素进行仔细的设计管理。虽然集成无源器件继续在业界占据重要地位

垂直自旋器件的全电写入和硅基集成研究取得进展

  基于自旋轨道矩(Spin-orbit torque)效应的第三代自旋芯片有望突破传统半导体芯片速度和功耗面临的物理极限,已成为国际半导体企业布局的重要技术路线。采用垂直磁化比特的第三代自旋芯片有望实现更高的热稳定性和数据保持时间。  近日,中国科学院半导体研究所提出通过合金化大幅提高垂直自旋产生

高功率射频及微波无源器件中的考虑和限制-(一)

RF和微波无源元件承受许多设计约束和性能指标的负担。根据应用的功率要求,对材料和设计性能的要求可以显着提高。例如,在高功率电信和军用雷达/干扰应用中,需要高性能水平以及极高功率水平。许多材料和技术无法承受这些应用所需的功率水平,因此必须使用专门的组件,材料和技术来满足这些极端的应用要求。

高功率射频及微波无源器件中的考虑和限制-(二)

适配器和终端   由于每个适配器和终端都会引入不必要的插入损耗和反射,因此仔细选择正确的组件可以防止不必要的信号降级并可能对敏感电子设备造 适配器和终端有多种形式,通常是同轴或波导,用于高功率应用。另外,适配器可能更复杂,因为适配器任一端的尺寸和类型可能不同。此外,适配器本身可

半导体所硅基集成光学导向逻辑器件研究取得系列进展

  自2007年美国科学家Hardy和以色列科学家Shamir共同提出光学导向逻辑的概念以来,光学导向逻辑引起了人们的广泛关注, 目前已有美国海军实验室、莱斯大学、菲斯克大学、以色列理工学院等多家研究机构从事相关研究。  与传统光学逻辑不同,光学导向逻辑的实现依赖于光开关网络,每个开

半导体所硅基集成光学导向逻辑器件研究获重要进展

硅基集成光学导向逻辑器件实现或/或非、与/与非、同或/异或操作的波形图   在中国科学院“百人计划”项目的支持下,半导体研究所光电系统实验室在国际上率先实现光学导向逻辑器件的原理验证。   自2007年美国科学家Hardy和以色列科学家Shamir共同提出光学导向逻辑的概念以来,光学导向逻辑

光无源器件简介

  光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性、稳定性、机械耐磨性和抗腐蚀性、易于操作等特点,广泛应用于长距离通信、区域网络及光纤到户、视频传输、光纤感测等等。

光无源器件激励源相关介绍

  测试光源是测试系统的激励源,由于用于测试而非用于传输,一般来说不需要功率太高,激光光源0dBm,宽谱源-10dBm/nm足以满足测试要求。同样因为是用于测试,光源的功率稳定度相当重要,除此之外还有一个相干长度的问题。其实任何激光光源都有相干长度的问题,一般FP或DFB激光光源的相干长度为1,00

光无源器件的功率计

  功率计探测器的材料大致决定了功率计的整体性能,一般有Ge、Si、InGaAs等材料的探测器,除此之外还有一种低偏振反映度(PDR)探测器,这种探测器是在InGaAs探测器的基础上添加一些材料使得其对PDL非常不敏感,所以很适合用于PDL的测试。  除了材料之外,探测器面积是决定其用途的重要参数,

光无源器件测试方法简介

  光无源器件测试是光无源器件生产工艺的重要组成部分,无论是测试设备的选型还是测试平台的搭建其实都反映了器件厂商的测试理念,或者说是器件厂商对精密仪器以及精密测试的认识。不同测试设备、不同测试系统搭建方法都会对测试的精度、可靠性和可操作性产生影响。本文简要介绍光无源器件的测试,并讨论不同测试系统对精

光无源器件光开光的分类

  根据其工作原理,光开关可分为机械式和非机械式两大类。机械式光开关靠光纤或光学元件移动使光路发生改变,目前市场上的光开关一般为机械式,其优点是插入损耗低,一般小于1.5dB;隔离度高,一般大于45dB,不受偏振和波长的影响。非机械式光开关则依靠电光效应、磁光效应、声光效应以及热光效应来改变波导折射

简述光无源器件的工作原理

  光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分。它是一种光学元器件,其工艺原理遵守光学的基本规律及光线理论和电磁波理论、各项技术指标、多种计算公式和各种测试方法,与纤维光学、集成光学息息相关;因此它与电无源器件有本质的区别。在光纤有线电视中,其起着连接、分配、隔离、滤波等作用。实际上光无源器件有很多种,

简介光无源器件光源的选择

  除了相干长度,激光光源信噪比是另一个关键参数,激光光源的信号与源自发辐射噪声的比值(S/SSE)是限制测试动态范围的关键因素。如果S/SSE只有60dB,那么当测试65dB的滤光片时由于滤光片不能滤去自发辐射噪声,所以测试只能显示60dB,导致测试失败。一般而言,可调谐激光光源的S/SSE有75

光无源器件的跳线相关介绍

  将一根光纤的两头都装上插头,称为跳线。连接器插头是跳线的特殊情况,即只在光纤的一头装有插头。在工程及仪表应用中,大量使用着各种型号、规格的跳线,跳线中光纤两头的插头可以是同一型号,也可以是不同的型号。跳线可以是单芯的,也可以是多芯的。跳线的价格主要由接头的质量决定。因而价格也相差较大。在选用跳线

[基础篇]射频同轴转接头介绍(三)

2、开槽型母头a:检查内导体簧片的接触完整性b:检查公头母头的同心性3、检查转接头的PIN Depth这种需要专用的计量工具,对每个转接头的PIN Depth做检测,一般情况下我们都不会使用,在这里我就不做介绍了,有兴趣的可以自己去查阅相关的资料和检测方法。六、转接头的连接在连接各种测试电缆,转接头

[基础篇]射频同轴转接头介绍(二)

三、转接头之间的匹配转接头外导体的尺寸的不同,预防不互相兼容的接头的混用。表格中背景颜色一样的接头的外导体尺寸是一样的,所以可以安全的匹配使用。但是在日常使用过程中,磨损,缺乏清洁,错误的连接方法,不好的保存方式都会对转接头造成损坏。使用一个损坏的,或者有缺陷的转接头,会造成与它相匹配的那个接头的损

[基础篇]射频同轴转接头介绍(一)

作为一个射频工程师,测试人员,在日常的工作过程中,接触最多的除了测试仪表,校准件,连接线缆之外,就是各种不同设备之间的转接头了。我们在维修的过程中,发现有比较多的仪器的损坏,或者是测试指标不稳定,是由于转接头的损坏造成的,而且有些接头的连接固定的方式不对,每次修好的仪器,过去后客户又按照他们原来的方

光无源器件测试系统相关介绍

  所谓测试系统主要是指两个以上测试表或模块联合工作,形成组合之后新的操作界面,并完成自动测试的测试设备。传统系统搭建是通过一台计算机,用GPIB口控制几台光测试仪表进行,这里着重介绍通过模块组装系统的方法。其主要思路是,测试主机本身就是一台标准电脑,测试主机带有5个插槽,可以插入测试模块,组成简单

光无源器件的相关测试方法简介

  由于测试光先通过回损仪再通过偏振控制器,所以光源输出端与偏振控制器输入端之间的光偏振状态不会发生大的变化,也就是说系统可测得较准确的DUT PDL值。然而问题还没有解决,PDL是可以了,但回波损耗测试却受到影响。我们知道,测试DUT回波损耗需要先测出测试系统本身的回光功率,然后测出系统与DUT共

关于光无源器件光纤的相关介绍

  光纤活动连接器,俗称活接头,国际电信联盟(ITU)建议将其定义为“用以稳定地,但并不是永久地连接两根或多根光纤的无源组件”(CCITT第VI研究组1992年3月于 日内瓦通过)。是用于光纤与光纤之间进行可拆卸(活动)连接的器件.它是把光纤的两个端面精密对接起来,以使发射光纤输出的光能量能最大限度

光无源器件光开光的相关介绍

  光开关是一种光路控制器件,起着切换光路的作用,在光纤传输网络和各种光交换系统中,可由微机控制实现分光交换,实现各终端之间、终端与中心之间信息的分配与交换智能化;在普通的光传输系统中,可用于主备用光路的切换,也可用于光纤、光器件的测试及光纤传感网络中,使光纤传输系统,测量仪表或传感系统工作稳定可靠

新款晶圆问世|硅基化合物光电集成技术大突破

据中国光谷消息,全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆,单片集成光电收发功能,为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。近年来,由于5G通信、大数据、人工智能等行业的强力驱动,光子集成技术得到极大关注。公开资料显示,光子集成的概念类可

光无源器件固波损耗相关介绍

  回波损耗又称反射损耗,是指在光纤连接处,后向反射光相对于输入光的比率的分贝数,其表达式为RL=-10loy Pr/PO dB,其中PO—输入光功率,Pr—后向反射光功率。 反射损耗愈大愈好,以减少反射光对光源和系统的影响。改进回波损耗的途径只有一个,即将插头端面加工成球面或斜球面。球面接触,使纤

光无源器件插入损耗相关介绍

  插入损耗定义为光纤中的光信号通过活动连接器之后,其输出光功率相对输入光功率的比率的分贝比。其表达式为IL=-10log(PI/PO) (dB),其中PO—输入端的光功率,PI—输出端的光功率。插入损耗越小越好。从理论上讲影响插入损耗的主要因素有以下几种:纤芯错位损耗、光纤倾斜损耗、光纤端面间隙损

光无源器件变换器相关介绍

  将某一种型号的插头变换成另一型号插头的器件叫做变换器,该器件由两部分组成,其中一半为某一型号的转换器,另一半为其它型号的插头。使用时将某一型号的插头插入同型号的转换器中,就变成其它型号的插头了。在实际工程应用中,往往会遇到这种情况,即手头上有某种型号的插头,而仪表或系统中是另一型号的转换器,彼此