MEMS技术在海洋观测中的应用（三）
三、MEMS的应用领域MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点， 在很多领域得到广泛的应用。⒈ 信息业信息技术的发展，对设备提出了更高的要求，功能更加强大的同时体积缩小。从多媒体人机界面（HI）看，使用微麦克风的语音输入和使用微摄像系统的图形输入都有广阔市场，如今正在大力研制的微型智能机器人更是控制系统的最高目标之一。用微陀螺装在鼠标上以稳定其运动，把微机械及其控制电路集成的微器件装于磁头上可使其在磁道上运行精度大大提高（<0.1μm），提高磁盘的磁道密度。至于微喷头用于打印则早已有所报道。⒉ 航空、航天业由于卫星及其发射的高成本，工作者早已提出小卫星、微小卫星、微卫星和纳米卫星等概念。在1995年的国际会议上已有人提出研制全硅卫星，即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组合而成，这样可使整个卫星的重量缩小到以千克计算，大......阅读全文
重庆研发出全球顶级MEMS传感器芯片
近日，记者从两江新区获悉，重庆企业研发出全球顶级MEMS(微机电系统)传感器芯片，这种芯片将用于监测桥梁、隧道等市政设施，监测精度比传统监测方式提升10倍。 据介绍，重庆德尔森传感器技术有限公司是落户两江新区的一家科技企业，2015年，该公司开发出MD系列MEMS传感器芯片。该芯片采用了多项创
MEMS加速度传感器的工作原理
什么是MEMS加速度计？加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。MEMS（MICro EleCTRo Mechanical Systems）加速度计就是使用MEMS技术制造的加
尺寸/成本优势兼具，MEMS光谱传感器亮相
微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫
环境监测：MEMS传感器发展新趋势
物联网的崛起，使传感器进入了一个新的发展趋势。而消费者逐步对周边环境品质要求上升时，也带动了环境传感器的需求上涨。 在智慧型手机以及穿戴式装置应用中，陀螺仪、加速度传感器和磁力计等动作传感器已发展成熟。制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一
基于MEMS磁传感器设计及制作（二）
Langfelder等制备了具有电容读出的MEMS磁场传感器，该传感器可检测与谐振结构表面垂直方向（z轴） 的磁场。它由一组固定定子和两根细梁悬挂的梭子组成，形成2个差分平行板敏感电容器C1和C2，见图4。具有传感器共振频率的梁，在通有电流时与磁场相互作用，从而使2个细梁受到洛伦兹力作用。这个力
MEMS传感器：无人机的核心（二）
磁力计磁力计如同一部指南针，可以根据地球的磁场实现无人机的航向。Bosch Sensortec的BMM150就是一个例子，这是一部三轴数字地磁传感器。BMM150与BMI088型IMU结合使用，可提供九自由度（DoF）解决方案，用于航向估算和导航。在宽泛温度范围内的稳定性能、16位分辨率和抗强磁场的
MEMS传感器：无人机的核心（一）
无人机的市场规模和范围持续蓬勃发展，新应用程序不断涌现。无人机的应用也越来越普遍，无论是运送邮件还是包裹、为儿童和老年人提供娱乐、安全监控、农业或工业管理，或开辟航空摄影的新视野。最初，大多数无人机都是相对简单的玩具。然而最近，其飞行能力显著提高，使其更安全、更稳定、更易于控制，从而能够用于更广泛的
基于MEMS磁传感器设计及制作（一）
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年 木秀于林惹风摧，华发渐生美人追。沙场追逐国战忙，残躯扬威我辈当。中国制造赴疆场，美中不足一身伤。暴风雨过连天阔，中华有为震四方。 前段时间，美总统及政府宣布了一系列针对华为的制裁措施，包括签下行政令禁止美国企业购买“外国对手”提供的电信设备和服务，将华为公司
2021世界传感器大会|MEMS与智能传感器技术专场在郑召开！
11月1日，MEMS与智能传感器技术专场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了众多权威学者，他们针对智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，还有我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。会议现场照片 本次会议由中国科学技术协会、河南省人民政府作为主办单位，中国仪器仪表
国内权威！第十届中国国际MEMS技术及应用展10月苏州举办
2018第十届中国国际MEMS技术及应用展（CHINA MEMS 2018）将于10月24-26日在苏州工业园区与第九届中国纳博会同期举办。作为国内最权威、最专业、知名度最高的MEMS展览会，即将走过十年之路的CHINA MEMS 2018成为本届纳博会备受关注的亮点。 据了解，CHINA M
显微镜下确定MEMS传感器的问题
MEMS传感器的研发总会使人兴奋，但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时，最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性，将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。您可能会问自己这样一个问题：怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
2024MEMS传感器展上海。展会日期:2024
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
MEMS气压传感器在物联网中的应用
据麦姆斯咨询报道，气压传感器是一类非常有用的MEMS器件。它们在物联网（IoT）中有非常广泛的应用，从气象监测到室内资产跟踪。压力传感器虽然不常被看见，但它们的影响无处不在。压力传感器有多种不同的应用，其中最常见的应用是气象监测。压力传感器现在已非常普遍。它现在可能就存在你的口袋里！是的，在
显微镜下确定MEMS传感器的裂纹
裂纹大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。常见的检查方法/设备:探针台电性测试声学显微镜基于探针的微机械测试
MEMS振荡器与传统石英晶振的区别
Sitime全硅MEMS振荡器的实现原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服现有石英晶振的很多先天劣势。Sitime全硅MEMS振荡器与传统石英晶振的比较，有哪些优势呢？采用全硅MEMS技术所带来的优势：1、体积优势石英晶振的振荡频率受石英晶体的体积所限，而要切割微小体积的石英晶体非常困难，且石
mems振荡器到底是不是传感器？
电路当中，实现分频比较容易，倍频的话，就会产生噪声，所以MENS硅在高速通信系统中无法使用。石英振荡器振荡的频率源来自石英，石英可以产生压电效应，是一种高值元件，振荡频率非常稳定，但是，如果同样对这样的频率进行倍频，也会产生噪声，总之，倍频会产生更多的噪音，更何况硅谐振源本身与石英振荡源比较，还是稍
显微镜下确定MEMS传感器的粘滞作用
粘滞作用像悬臂梁、薄膜、梭形阀这些机械结构可能由于结构的释放会和底层基板粘连，导致器件永久性失效。如果MEMS传感器结构和衬底之间的距离非常小，那么通过显微镜观察曲率是不可见的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封测环节来挑选了。常见的检查方法/设备:探针台电性测试（如电容传感器）基于探针的微机械测试
无人机/VR－无处不在的MEMS如何应用？（二）
试听检查法是一个用的十分广泛的方法，可以这么说，凡是能出声音的电子器或电子设备，在修理过程中都要使用这种检查方法，此法可以准确的判断故障性质、类型，甚至它能直接判断出具体的故障部位。修理之前，通过试听来了解情况，决定对策；在修理过程中，为确定故障处理效果要随时进行试听。所以，试听检查法贯
基于MEMS加速度传感器的原理及分析
摘要：主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速计传感器，从物理结构的角度对这 几种传感器的测量原理进行了分析，不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压 阻式、热电耦式加速度传感器，而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。 关键词：硅微机械加
无人机/VR－无处不在的MEMS如何应用？（一）
虽然大部分人对MEMS（Microelectromechanicalsystems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了ME
精智未来完成数千万元PreA轮融资，持续引领MEMS技术气体检测发展
精智未来（广州）智能科技有限公司（简称“精智未来（ChromX）”）已完成数千万元Pre-A轮融资。本轮融资由复星创富领投，广州科学城创投、上海珺天诚及老股东广东粤港澳大湾区协同创新研究院（简称“大湾区协同院”）跟投。资金将主要用于进一步拓展研发和生产团队，新产品的开发以及商业化推广等。 精智
显微镜下确定MEMS传感器的粘附力问题
粘附力问题MEMS传感器结构内层与层之间的粘附力可能很微小，光学显微镜也许会看到分层迹象，但微小的粘结层是观察不到的。常见的检查方法/设备:声学显微镜基于探针的微机械测试（破坏性的测试）
集成滤光窗的－MEMS－红外传感器电子封装（四）
表3．热机械FEA边界条件和载荷图13：封装衬底、ASIC和MEMS（顶部无晶圆）翘曲（w）。结论本文介绍了一个红外传感器的封装设计，产品原型表征测试结果令人满意，测量到的FFOV角度在80°到110°之间，具体数值取决于光窗尺寸。为了降低闪光灯影响和环境噪声，封装顶部装有硅基红外滤光片，并
二维扫描振镜－2D－MEMS－LASER－SCANNING－MIRROR
MEMS（微机电系统）反射镜是由微型马达驱动的一维或二维小型固态反射镜（片上反射镜）。 指向镜面的激光束被扫描镜精确地偏转和转向，以在特定时间到达目标点。技术特点：快速静电（ES）执行器，功耗最低。 ES执行器在镜面的自谐振频率下工作，是高扫描频率（几十KHz）的理想选择。强而精确的电磁（EM）执行
集成滤光窗的－MEMS－红外传感器电子封装（三）
n1和n2表示每种材料的折射率，θ1和θ2是光线在每种材料中传播与表面法线形成的夹角（逆时针方向），并假设硅的折射率n ＝ 3．44，空气／真空的折射率n ＝ 1。基于上述几何假设，预期视野角度FFOV ＝ 80°－ 82°。然后开始腔体封装的初步设计，并在封装试生产线实验室中制造了
集成滤光窗的－MEMS－红外传感器电子封装（二）
该红外传感器封装的设计和开发采用常见的并列布局，传感器和ASIC在封装内是并排放置（图3）。在封装上表面集成一个光学窗口，用于选择红外辐射的波长成分，这种光窗解决方案可以防止环境光辐射到达探测器感光区，从而降低总系统噪声。构成封装上表面和腔壁的聚合物可以视为对可见光－红外辐射完全不透明，可归
高功率MEMS开关芯片超长寿命材料研究获进展
在手机乃至航天器中，藏着重要的微观“开关世界”——微机电系统的开关芯片。其核心是比头发丝细的“微悬臂梁”，可以把它想象成一个每秒不停弹跳数千次的微型弹簧。如何让这个微型弹簧承受住上百亿次的弯曲而不失效，是需要解决的核心问题。近日，中国科学院金属研究所研究团队，研制出了纳米晶层状复合材料，为微悬臂梁穿