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三、MEMS的应用领域MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点， 在很多领域得到广泛的应用。⒈ 信息业信息技术的发展，对设备提出了更高的要求，功能更加强大的同时体积缩小。从多媒体人机界面（HI）看，使用微麦克风的语音输入和使用微摄像系统的图形输入都有广阔市场，如今正在大力研制的微型智能机器人更是控制系统的最高目标之一。用微陀螺装在鼠标上以稳定其运动，把微机械及其控制电路集成的微器件装于磁头上可使其在磁道上运行精度大大提高（<0.1μm），提高磁盘的磁道密度。至于微喷头用于打印则早已有所报道。⒉ 航空、航天业由于卫星及其发射的高成本，工作者早已提出小卫星、微小卫星、微卫星和纳米卫星等概念。在1995年的国际会议上已有人提出研制全硅卫星，即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组合而成，这样可使整个卫星的重量缩小到以千克计算，大......阅读全文
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术，一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能，而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年，微机电系统(MEM
1. 提案背景MEMS是指用微电子技术和微加工技术相结合的工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。MEMS已经步入我们生活的很多方面，包括汽车电子、消费电子以及医疗等领域。例如，在消费电子领域，苹果公司颇有想象力地使用MEMS加速度计来支持iPhone显示
⒊ 基于MEMS的惯性传感器惯性（加速度）传感器是一种技术比较成熟，应用比较广泛的MEMS传感器，主要应用于波浪观测。目前国内外波浪测量浮标通常采用传统的加速度传感器，这些传感器体积大、重量重、价格昂贵，从而使浮标的制作成本增加。近年来，随着基于MEMS的惯性传感器的技术逐渐成熟，MEMS惯
微机电系统（MEMS）是融合了微电子、机械、材料领域技术发展的产物，它使用与集成电路加工技术相类似的制造工艺，制备出各种性能各异、价格低廉、微型化的传感器、执行器和微系统。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，它们具有很多传统器件无法比拟的优点，在国防安全、航空航天、信息工程、医疗卫
【导语】微全分析系统自90年代提出以来，目前已发展成为当今世界上最前沿的科技领域之一。凭借其高通量、低消耗的技术优势，将为生物医药、新药合成筛选、临床诊断等领域的研究和产业化打开一扇通往美好明天的大门。在第六届微全分析学术会议期间
微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1
美国最大的开放式MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司与北京大学微纳电子学研究院继续开展战略合作，并已将第三届（2017年度）MEMS专项奖学金颁发给该院的三位优秀学生，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献
虽然大部分人对MEMS（Microelectromechanicalsystems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了ME
大概5年前，拇指大小的小型光谱仪（MS系列）上市发售并显著拓宽了光谱仪的应用。滨松光子现在已经研发了比以前更小的低成本微型光谱仪。该微型光谱仪是一个只有5克重量的超小模型。尽管性能和我们现在的小型光谱仪（MS系列）大部分相同，但是微型光谱仪更加紧凑坚固，且价位低廉。应用包括仍存在巨大的未开发市场
10月20日，“长江学者”、“国家杰出青年科学基金”获得者、东南大学教授黄庆安应邀做客中国科学院微电子研究所“青促会创新论坛”，作了题为《互补金属氧化物半导体晶体管（CMOS）、微机电系统（MEMS）技术与产业发展》的学术报告。微电子所副所长陈大鹏研究员主持交流会，青年科研骨干、研究生共50余人
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（
二、压电MEMS传感器1、压电MEMS喷墨打印头喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案，目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时，CAD和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。MEMS技术为之带来了“诱人”的解决方案：每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴
“如果关注中国的MEMS产业，您就一定不要错过10月28日的第六届中国纳博会。本届大会将举办MEMS领域的国际研讨会、企业对接会、行业协会年会三大顶级盛会，将为关注MEMS产业的同行提供全产业链资源。”第六届中国纳博会组委会负责人蔡勇自豪地告诉记者。 据了解，中国纳博会是中国战略性新兴产业领域
上海微技术工业研究院（SITRI）日前与美国最大的MEMS技术和制造服务提供商IMT（Innovative Micro Technology）签订战略合作协议，双方携手面向物联网应用MEMS传感器技术创新，共同推进MEMS技术发展。 作为物联网实现的基础，MEMS传感器广泛应用于智能
4月9日，中国电子科技集团公司第十三研究所承担的863计划先进制造技术领域项目“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。验收会由科技部高技术研究发展中心组织，来自东南大学、北京大学、北京理工大学、同济大学、中北大学、长春光机所的相关专家参加了
虽然近几年中国传感器市场发展很快，但国内传感器技术与世界水平相比仍存在很大差距。这种差距，一方面表现为传感器在感知信息方面的落后，另一方面，则表现为传感器自身在智能化和网络化方面的技术落后。由于没有形成足够的规模化应用，导致国内的传感器不仅技术低，而且价格高，在市场上依旧难有竞争力。 下面小编
微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 MEMS技术全称Micro Electromechanical System，MEM
微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 MEMS技术全称Micro Electromechanical System，MEM
三、装备制造业 (一)基础机械 1. 机械基础零部件抗疲劳、长寿命制造的纳米技术 主要技术内容： 纳米基础技术研究，包括提高纳米金属陶瓷镀层与基体结合强度试验研究，纳米金属陶瓷镀层技术与构件喷丸强化、热处理技术的复合应用研究，纳米金属陶瓷电沉积对微裂纹修复技术研究，纳
一定的初始条件和一定的外在力矩作用下，陀螺会在不停自转的同时，还绕着另一个固定的转轴不停地旋转，这就是陀螺的旋进（precession），又称为回转效应（gyroscopic effect）。 陀螺仪的种类很多，按用途来分，它可以分为传感陀螺仪和指示陀螺仪。传感陀
【导语】提起中国的微流控芯片研究，就会想到方肇伦院士创建的浙江大学微分析系统研究所，这是国内最早从事微流控芯片研究的单位之一。十年来，该所历经艰辛取得了很多成果，探索出了一条有中国特色的微流控分析自主研发之路。在第六届微全分析大会上，分
摘要：主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速计传感器，从物理结构的角度对这 几种传感器的测量原理进行了分析，不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压 阻式、热电耦式加速度传感器，而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。
2018第十届中国国际MEMS技术及应用展（CHINA MEMS 2018）将于10月24-26日在苏州工业园区与第九届中国纳博会同期举办。作为国内最权威、最专业、知名度最高的MEMS展览会，即将走过十年之路的CHINA MEMS 2018成为本届纳博会备受关注的亮点。 据了解，CHINA M
MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。 MEMS 传感器历经四次商业化浪潮 MEMS 传感器的发展离不开MEMS 技术商业化的推动。1987 年，美国
二、MEMS现状基于各种原因，许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功，其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动结构陀螺仪，是一款新的相当便宜的设备，目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪，以及将这些功能
目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS
4月18日，由科技部、重庆市人民政府主办，由重庆市科学技术委员会、重庆大学承办，以及重庆市环境保护局、德国Fraunhofer工程研究院微系统与可靠性研究所、德国Chemnitz大学微系统技术中心、意大利圣安娜大学微工程技术中心协办的“中德意环境监测微系统高科技论坛”在重庆国际会议展览中心成功举办。
近红外光谱分析技术的迅速崛起近红外这个波段内的吸收光谱很宽，不像中红外光谱那样。后来采用的计量学，解决了这个问题，由此近红外光谱技术快速发展起来。每一项科学技术的发展都是一个从迂回到快速发展再到饱和的过程，这就是科技发展过程中所谓的S曲线。近红外光谱技术的发展经历了几次这样的S曲线。第一次是由于一些
我国传感器产业要适应技术潮流，根据市场需求，做到“新苗交替、远近结合、品种齐全、满足需求”，做到“大、中、小并举”，“集团化和专业化生产并存”，向国内外两个市场相结合的国际化方向发展，让传感器和检测仪表抓住信息化的发展机遇。传感器和检测仪表的现状，并预测了今后的发展趋势 工业设备在制造过程及整机性能
近日，我国在酒泉卫星发射中心用长征二号丁运载火箭成功将“遥感卫星十一号”送入太空，并同时搭载发射了浙江大学研制的两颗“皮星一号A”卫星。785秒之后，星箭成功分离入轨。“皮星一号A”卫星以每96分钟绕地球一周的速度平稳运行，完成了全部预定任务。 浙江大学研制的“皮星一号A”卫星是中国