光刻机的简介和分类

光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造。一般根据操作的简便性分为三种:手动、半自动、全自动 A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了; B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐; C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。......阅读全文

光刻机的简介和分类

  光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大

光刻机的分类

  光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动  A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;  B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;  C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循

极紫外线光刻机和简介和功能

  极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。  2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,预计将于2019年初交货。  功能  光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备

光刻机投影式曝光分类

  扫描投影曝光(Scanning Project Printing)。70年代末~80年代初,〉1μm工艺;掩膜板1:1,全尺寸;  步进重复投影曝光(Stepping-repeating Project Printing或称作Stepper)。80年代末~90年代,0.35μm(I line)~

投影式光刻机简介

  投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光方法。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上,曝光系统通过一个狭缝式曝光带(slit)照射在掩模上,载有掩模的工件台在狭缝下沿着一个方向移动,等价于曝光系统对掩模做了扫描,与掩模的扫描同步,晶圆沿相反的方向以1/4的速度移动。现代光刻机中,掩模扫描的速度

凝汽器的简介和分类

  简介  将汽轮机排汽冷凝成水的一种换热器,又称复水器。凝汽器主要用于汽轮机动力装置中,分为水冷凝汽器和空冷凝汽器两种。凝汽器除将汽轮机的排汽冷凝成水供锅炉重新使用外,还能在汽轮机排汽处建立真空和维持真空。  分类  按蒸汽凝结方式的不同凝汽器可分为表面式(也称间壁式)和混合式(也称接触式)两类。

磁耦合和简介和分类

  一个线圈的电流变化,在相邻的线圈产生感应电动势,它们在电的方面彼此独立,之间的相互影响是靠磁场将其联系起来的,电子学上,称为磁耦合.  可分为以下几种:  非直接耦合:两个模块之间没有直接关系,它们之间的联系完全是通过主模块的控制和调用来实现的。  数据耦合:一个模块访问另一个模块时,彼此之间是

透镜的应用和分类简介

  透镜可广泛应用于安防、车载、数码相机、激光、光学仪器等各个领域,随着市场不断的发展,透镜技术也越来越应用广泛。(lens)透镜是根据光的折射规律制成的。透镜是由透明物质(如玻璃、水晶等)制成的一种光学元件。透镜是折射镜,其折射面是两个球面(球面一部分),或一个球面(球面一部分)一个平面的透明体。

膜蛋白的简介和分类

  生物膜的特定功能主要是由蛋白质完成的;膜蛋白约占膜的40%~50%,有50余种膜蛋白;在不同细胞中膜蛋白的种类及含量有很大差异。有的含量不到25%,有的达到75%;一般来说,功能越复杂的膜,其上的蛋白质含量越多。  膜蛋白是膜功能的主要体现眷。根据与膜脂的结合方式以及在膜中的位置的不同,膜蛋白分

细胞呼吸的简介和分类

  细胞呼吸(cellular respiration)是指有机物在细胞内经过一系列的氧化分解,生成无机物或小分子有机物,释放出能量并生成ATP的过程。  在一定范围内,细胞呼吸强度随含水量的升高而加强,随水量的减少而减弱。  细胞呼吸分为发酵、有氧呼吸、无氧呼吸三种(根据最终电子受体不同的分类方式

折光仪的简介和分类

  折光仪,又称 折射仪,是利用光线测试液体浓度的仪器,用来测定折射率、 双折率、光性,折射率是物质的重要物理常数之一。许多纯物质都具有一定的折射率,物质如果其中含有杂质则折射率将发生变化,出现偏差,杂质越多,偏差越大。  折射仪主要由高折射率棱镜( 铅玻璃或 立方氧化锆)、棱镜 反射镜、透镜、标尺

​色度色散简介和分类

色度色散简介:色度色散包括材料色散和波导色散 。材料色散:由于光纤材料石英玻璃对不同光频的折射率不同,而光源具有一定的光谱宽度,不同的光频引起的群速率也不同,从而造成了光脉冲的展宽。波导色散:对于光纤的某一传输模式,在不同的光频下的群速度不同引起的脉冲展宽。它与光纤结构的波导效应有关,因此也被称为结

火焰切割机的简介和分类简介

  火焰切割机,是利用燃气配氧气或者汽油配氧气进行金属材料切割的一种切割设备。主要用于重工业。  主要分为早期的手动切割(俗称氧气焊)和半自动切割机,仿形切割机和数控切割机,随着社会的进步和科技的发展,越来越先进,切割功能也越来越强大。  大致机型结构主要有:手动;仿形切割机,便携式数控切割机,悬臂

光刻机工作原理和组成

光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,不同光刻机的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图(即芯片)。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准

恒温水槽的简介和分类

恒温水槽的应用范围及简介:低温恒温水槽广泛用于石油、化工、电子仪表、物理、化学、生物工程、医药卫生、生命科学、轻工食品、物性测试及化学分析等研究部门,高等院校,企业质检及生产部门,为用户工作时提供一个热冷受控,温度均匀恒定的场源,对试验样品或生产的产品进行恒定温度试验或测试,也可作为直接加热或制冷和

电子吊秤的简介和分类

  电子吊秤是使物体处于悬挂状态进行其质量(重量)计量的电子衡器,称之为电子吊秤。要求使用场合必须有电葫芦,一般用于钢铁厂、卷板厂、炼钢厂、码头等。执行最新行业标准GB/T11883-2002。  从工作形式上可分为钩头悬挂式、行车式、轴座式、嵌入式四种;从读数形式上又可分为秤体直显式(即传感器与秤

性激素的产生和分类简介

  性激素是内分泌细胞制造的。人体内分泌细胞有群居和散住两种。群居的形成了内分泌腺,如脑壳里的脑垂体,脖子前面的甲状腺、甲状旁腺,肚子里的肾上腺、胰岛、卵巢及阴囊里的睾丸。散住的如胃肠粘膜中有胃肠激素细胞,丘脑下部分泌肽类激素细胞等。每一个内分泌细胞都是制造激素的小作坊。大量内分泌细胞制造的激素集中

单细胞蛋白的简介和分类

  单细胞蛋白,也叫微生物蛋白,它是用许多工农业废料及石油废料人工培养的微生物菌体。因而,单细胞蛋白不是一种纯蛋白质,而是由蛋白质、脂肪、碳水化合物、核酸及不是蛋白质的含氮化合物、维生素和无机化合物等混合物组成的细胞质团。单细胞蛋白中重要的是酵母蛋白、细菌蛋白和藻类蛋白,它们的化学组成中一般以蛋白质

增殖型天疱疮的简介和分类

  疾病概述  天疱疮是一组累及皮肤和黏膜的自身免疫性表皮内大疱病。共同的特征有:  ①薄壁、松弛易破的大疱;  ②组织病理为棘层松解所致的表皮内水疱;  ③免疫病理显示角质形成细胞间IgG、IgA、IgM或C3网状沉积。血清中存在针对桥粒成分的天疱疮抗体。  疾病种类  有人认为增殖性天疱疮可分为

皮脂腺的简介和分类

  皮脂腺是由腺泡与短的导管构成的全浆分泌腺,皮脂腺导管开口于毛囊。除手外的其余部位皮肤中均有皮脂腺,前额、鼻、背上部的皮脂腺最多,称为皮脂溢出部位。其余的部位比较少,掌、足趾及足背没有皮脂腺。  皮脂腺大多位于毛囊及立毛肌之间,由一个或几个囊状的腺泡与一个共同的短导管构成。分泌部呈囊泡状,由多层腺

抗原递呈细胞的简介和分类

  抗原递呈细胞又称辅佐细胞。是机体内 具有摄取、处理和传递抗原信息,诱发T、 B细胞发生免疫应答作用的细胞,主要包括 巨噬细胞、树突状细胞、并指状细胞、郎罕 细胞以及B细胞。它们来源于循环中的骨髓前体细胞,在细胞表面有髙浓度的主要 组织相容性抗原复合体I类和n类抗原。  分类  1 专职抗原提呈细

料位仪的简介和分类

  简介   料位仪:料位测量是指对工业生产过程中封闭式或敞开容器中物料(固体或液位)的高度进行检测;完成这种测量任务的仪表叫做料位仪。料位仪也称为“物位计”、“料位计”、“物位仪”、“料位监测仪”、“物位监测仪”等[1]。  分类  连续料位仪:实现对料仓物位高度的实时连续监测的料位仪。  料位开

皮肤测试仪的简介和分类

  皮肤测试仪是用来检测皮肤的仪器,主要应用在美容、医疗方面,有台式的,有袖珍型的,有电视专用的,也有电脑专用的,有单一功能的,也有多功能综合性测试仪。  第一代  作为最初的皮肤测试仪,最初是采用普通的放大镜,需要由外部环境光做光源,因此环境的光线不足对检测的影响很大。  第二代  随着电子科技的

冲击试验机的简介和分类

冲击试验机作为一种zui基本的试验机,它主要是应用在选材及新材料研制、冶金产品检查控制、工艺质量监督、各种条件下韧性评定和冶金产品交货重要指标之一试验等。按照不同的方法,冲击试验机有不同的分类。 一、从试验方式上分:摆锤冲击试验机又分为:半自动摆锤冲击试验机,微机屏显摆锤冲击试验机,常温全自动摆锤冲

骨髓巨核细胞数和分类的简介

  骨髓巨核细胞数和分类是骨髓细胞学检查的一个项目,骨髓细胞学检查对诊断造血系统疾病最有价值,同时对诊断其他非造血系统疾病,对不明原因发热、恶病质、原因不明的肝脾肿大有鉴别诊断意义。

场流分离的简介和分类简述

  场流分离(Fieldflowfractionation—FFF)为适用于大分子、胶体和微粒的分离技术,使欲分离成分之流液流经上下平板构成扁平带状通道,并将一场垂直施加于通道。场将导致不同成分处在距下壁不同的位置上,移动速度因而不同,以达到分离的目的。 场流分离,可将“流”通过不对称场如电场,重力

余氯分析仪的简介和分类

  余氯分析高智能化在线连续监测仪,由传感器和二次表两部分组成。可同时测量余氯、pH值、温度。可广泛应用于电力、自来水厂、医院等行业中各种水质的余氯和pH值连续监测  余氯分类  水中投氯,经一定时间接触后,在水中余留的游离性氯和结合性氯的总称。余氯可分为化合性余氯(指水中氯与氨的化合物,有NH2C

关于天平的简介和分类相关叙述

  天平是最古老的用于称量物体质量的计量器具,它的问世已4000多年的历史,经历了一个由简单到复杂,由低准确度到高准确度的发展演变过程。根据天平的结构原理,可以把天平分为四类:扭力天平、液体静力天平、杠杆天平和电子天平,其中杠杆天平和电子天平是最常见和常用的天平。天平作为微生物检测实验室中称量的最基

噪声剂量计的简介和分类

  简介  噪声剂量计(noise dosimeter)是用来测量噪声暴露量的仪器。在普通噪声剂量计线路内加上积分设备即为噪声剂量计。它可以测量一定时间内噪声暴露(noise exposure)的大小。噪声剂量计可以预置时间T,在一定测量时间内给出等效连续声级或Leq噪声暴露量。  噪声剂量计的分类

简介均质袋的用途和分类

  均质袋的用途  用于食品中不同种类细菌检测时的样本处理、前增菌或样本稀释等。  均质袋的分类  根据液体不同分为:缓冲蛋白胨水均质袋,磷酸盐缓冲盐溶液均质袋,生理盐水均质袋,GN增菌液均质袋,志贺增菌液均质袋,10%氯化钠胰酪胨增菌液均质袋,3%氯化钠碱性蛋白冻水均质袋,0.1%蛋白胨水均质袋,