Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPsAMC污染快速检测
背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂,涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因,这些制程在地点和时间上并不是连续发生的,因此,晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒(FOUPs)来运送和临时储存晶圆。换句话说,因为晶圆存放在运输盒(FOUP)内的时间在整个生产过程中占比很高,FOUP本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。文献中已经报道过制程中出现的一些晶圆缺陷与‘排队’时间长短以及FOUP内表面逸出物质种类和浓度息息相关。因此,对FOUP内壁逸出的潜在低浓度污染物进行精准精确测量会有助于调整生产流程以减少与排队时间相关的晶圆缺陷。同时,上述结果将帮助优化FOUP清洁过程和时长。更重要的是,对现有FOUP的测量结果和总结,也将有益于设计开发下一代FOUPs,比如使用新型聚合物材料或者更合适的的表面处理(钝化)手......阅读全文
Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPs-AMC污染快速检测
背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂,涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因,这些制程在地点和时间上并不是连续发生的,因此,晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒(FOUPs)来运送和临时储存晶圆。换句
布鲁克联合TOFWERK共同开发应用市场
TOFWERK 紧凑、快速的飞行时间质谱仪针对小分子应用进行了优化创新的在线化学电离技术可实现用于固定和移动分析的高灵敏度和原位小分子检测灵敏、实时的 TOF-MS 解决方案可用于半导体行业、环境空气分析、软木塞分析和呼出气诊断研究 2022年5月10日瑞士图恩 --布鲁克公司和TOFWERK
TOFWERK靠“谱”:让TOF更Work!-从深入现场到前沿科学
从TOFWERK这个名称来看,就能大致联想到这是一家专注于研制TOF(time of flight飞行时间)的质谱公司。在高手林立的TOF市场上,如何做出独特且市场需要的分析产品和解决方案?TOFWERK给出了完美的答案。 在2023年第71届ASMS大会上,分析测试百科采访了TOFWERK首
布鲁克完成对TOFWERK全资收购-深耕半导体与环境监测等应用市场
2026 年 1 月 8 日瑞士图恩,布鲁克公司(Bruker Corporation,Nasdaq:BRKR)宣布收购 TOFWERK 公司 60% 的股权。本次交易完成后,布鲁克对该公司持股比例达到 100%,实现全面控股。TOFWERK 是一家总部位于瑞士、专注于小分子应用市场超高速飞行时间(
只需几秒就能快速识别新冠病毒的仪器,通过初步验证了
分析测试百科网讯 自爆发以来,新冠疫情肆虐全球。在累积确认近3000万人的今天,如何快速、准确的检测新冠病毒仍是各国极为关注的事情。在7月底,一家法国医院曾宣布,有一款极高灵敏度的人体呼出气体分析仪有望能快速识别并检测出新冠病毒。通过这台分析仪器对患者进行新冠病毒测试,该仪器通过在线分析呼出的气
只需几秒-TOFWERK这款仪器仅靠呼气就能快速识别新冠病毒
分析测试百科网讯 一周以来,新冠疫情又在全球各国持续蔓延,多国疫情二次爆发。德国第二波新冠病毒疫情已经爆发;而法国则不排除“局部封城”可能;美国疫情反弹如同“坐火箭”般已超过442万例,死亡超15万例;而日本疫情在刚刚结束的4天小长假里急剧恶化,4天累计确诊数逼近1200人。 在如此严峻的形势
ecTOF重塑GCMS分析新范式-让非靶向分析信心倍增
——专访ecTOF产品经理Sonja KleeGC-MS从诞生之日起,利用EI源产生的碎片离子和NIST谱库的匹配,就可以鉴定分子,但事实上,由于缺乏分子离子峰,同系物的区分非常困难。虽然可以换上CI化学电离源,但需要做第二次实验,EI谱和CI谱保留时间很难对齐,给鉴定工作带来极大困难。因此,传统上
布鲁克推出新型移动化应用质谱,用于无色谱快速测量
● 最近收购的 DART™(实时直接电离)技术的创新者 Ionsense 公司扩展了布鲁克独特的移动化(PoN)质谱仪; ● 推出 DART-EVOQ® 三重四极杆质谱仪,为应用市场提供简单、强大、灵敏且独一无二的 PoN 工作流程; ● 布鲁克与 TOFWERK AG 的新战略合作伙伴关系
科普只需几秒-PTRTOF-在线飞行时间质谱仪器仅靠呼气可快速识别新冠病毒
2020年7月,位于法国里昂的Croix Rousse医院宣布,他们正在使用一款新型的高灵敏度人体呼出气体分析仪,该仪器有望在几秒钟内快速识别和检测出新冠病毒。 这款分析仪器的运作方式与传统PCR测试不同。它避免了使用不舒服的鼻咽拭子采样,也无需等待几十分钟来获得结果。患者只需呼出气体,仪器在
什么是VOCs走航监测技术?走航监测常见问题及解决方法有哪些?
1 为什么要进行VOCs走航监测? 在当前大气环境污染现状逐步改善的大前提下,大气污染治理从颗粒物(PM2.5)防治到PM2.5和臭氧(O3)协同控制,防控污染源也从大型工业点源转移到中小型工业源、无组织排放和各种排放面源。作为PM2.5和O3的重要前体物之一,挥发性有机物(VOCs)也理所当
化学电离源的工作原理
1)电子轰击源,电子轰击的能量远高于普通化学键的键能,因此过剩的能量引起分子多个键的断裂,产生许多碎片离子,因而能够提供分子结构的一些重要的官能团信息,但对于相对分子质量较大、或极性大,难气化,热稳定性差的有机化合物,在加热和电子轰击下,分子易破碎,难以给出完整分子离子信息。(2)在场致电离源的质谱
化学电离源的工作原理
1)电子轰击源,电子轰击的能量远高于普通化学键的键能,因此过剩的能量引起分子多个键的断裂,产生许多碎片离子,因而能够提供分子结构的一些重要的官能团信息,但对于相对分子质量较大、或极性大,难气化,热稳定性差的有机化合物,在加热和电子轰击下,分子易破碎,难以给出完整分子离子信息。(2)在场致电离源的质谱
电喷雾电离和大气压化学电离接口的选择
电喷雾电离(ESI)和大气压化学电离(APCI)在实际应用中表现出它们各自的优势和弱点。这使得ESI和APCI成为了两个相互补充的分析手段。概括地说,ESI适合于中等极性到强极性的化合物分子,特别是那些在溶液中能预先形成离子的化合物和可以获得多个质子的大分子(蛋白质)。只要有相对强的极性,ESI对小
有机质谱仪电子电离源与化学电离源简介
一、电子电离源电子电离源是有机质谱仪器最基本的离子源,下图为电子电离源的简图,图中阴影区为一定能量的电子与有机蒸气分子相互作用的区域,有机分子失去一个电子形成正电荷离子,然后在推斥板和拉出板的作用下离开离子源。 1.电子电离的过程电子电离即EI,早先是 Electron Impact缩写,现在改为E
化学电离(CI)在β阻断剂确证中的应用研究——化学电离(CI)法
实验方法原理兴奋剂检测工作中, 当发现阳性可疑的样品时, 一般是借助化合物的气相保留时间及质谱图来进行确证分析。但是, 有一些 Β2阻断剂(或其代谢物) 的质谱图极其相似, 给确证工来带来很大麻烦, 甚至造成错误的结果。我们曾使用光气衍生化的方法取得好的结果, 但光气的剧毒使操作十分不便, 不适合日
大气压化学电离质谱仪类型
大气压化学电离质谱仪类型有多种。1、按分析目的可分:实验室大气压化学电离质谱仪和工业大气压化学电离质谱仪。2、按分析对象的属性可分:大气压化学电离有机质谱仪和大气压化学电离无机质谱仪。3、按质量分析器的工作原理可分:大气压化学电离四极杆质谱仪和大气压化学电离离子阱质谱仪等。4、按联用方式可分:大气压
化学电离源的工作原理是什么
1)电子轰击源,电子轰击的能量远高于普通化学键的键能,因此过剩的能量引起分子多个键的断裂,产生许多碎片离子,因而能够提供分子结构的一些重要的官能团信息,但对于相对分子质量较大、或极性大,难气化,热稳定性差的有机化合物,在加热和电子轰击下,分子易破碎,难以给出完整分子离子信息。(2)在场致电离源的质谱
化学电离源的工作原理是什么
1)电子轰击源,电子轰击的能量远高于普通化学键的键能,因此过剩的能量引起分子多个键的断裂,产生许多碎片离子,因而能够提供分子结构的一些重要的官能团信息,但对于相对分子质量较大、或极性大,难气化,热稳定性差的有机化合物,在加热和电子轰击下,分子易破碎,难以给出完整分子离子信息。(2)在场致电离源的质谱
大气压化学电离质谱仪分类方法
大气压化学电离质谱仪类型有多种。1、按分析目的可分:实验室大气压化学电离质谱仪和工业大气压化学电离质谱仪。2、按分析对象的属性可分:大气压化学电离有机质谱仪和大气压化学电离无机质谱仪。3、按质量分析器的工作原理可分:大气压化学电离四极杆质谱仪和大气压化学电离离子阱质谱仪等。4、按联用方式可分:大气压
电离截面检测器简介
电离截面检测器(ionization cross section detector)是气相色谱仪中的一种检测器,是一种用于气相色谱分析的放射性离子化检测器,电离截面检测器测定由放射源辐射出的β粒子与载气分子及被测组分碰撞使之电离而产生的电离电流大小的变化,来确定被测组分含量。这种检测器的灵敏度较
SEMICON-China-|-谱育科技全新发布EXPEC-7350S-PLUS,助力助力半导体检测国产化
2026年3月25日,SEMICON China 2026在上海新国际博览中心开幕。本届展会以“跨界全球,心芯相连”为主题,汇集全球半导体制造领域主要设备与材料厂商,是产业链上下游技术交流与合作的重要平台之一。 展会期间,谱育科技发布了新款三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)——E
半导体的平均电离能和禁带宽度的区别
首先我们得先明确一下在化学中电离能的概念,1mol气态基态原子失去1mol电子所得到1mol气态基态正离子所需要的能量称为该原子的第一电离能。能带这一名词出自讨论金属化学键的能带理论中,即它是以分子轨道理论为基础将一系列能量简并的原子轨道重新组合成另一组能量参差的新轨道即能带。也就是每一种原子轨道都
放射性电离检测器
放射性电离检测器radio ionixatinn detector利用在电离 室中放射源辐射特定射线的作用下,使被测物质通过电离室 时产生离子流的变化而制成的检测器。这一类检测器主要有 电子捕获检测器、氦电离检测器、氢电离检测器、电离截面检 测器、电子迁移率检测器等。
国内40种典型恶臭异味物质Vocus-PTRTOF检测能力一览
下列40种典型恶臭异味物质(硫化物、含氮化合物、苯系物、烯烃及含氧有机物等)都是Vocus PTR-TOF的理想检测对象。序号物种名称CAS化学式质子化 精确质量备注1氨7664-41-7H3N18.034O2+模式2三甲胺75-50-3C3H9N60.081PTR模式3硫化氢7783-06-4
RGD环肽,AMC(香豆素)修饰多肽
1. RGD环肽简介在了解RGD肽之前,我们先简单介绍一下整合素,整合素即整联蛋白,是一类介导哺乳动物细胞黏附与信号转导的异二聚体跨膜糖蛋白受体,由α和β亚单位组成,参与包括细胞迁移、细胞侵袭、细胞和细胞间的信号传导、细胞黏附及血管新生过程等多种细胞活动的调节,其中对整合素αvβ3的研究最为广泛。整
实验分析仪器有机质谱仪电子电离源与化学电离源简介
一、电子电离源电子电离源是有机质谱仪器最基本的离子源,下图为电子电离源的简图,图中阴影区为一定能量的电子与有机蒸气分子相互作用的区域,有机分子失去一个电子形成正电荷离子,然后在推斥板和拉出板的作用下离开离子源。 1.电子电离的过程电子电离即EI,早先是 Electron Impact缩写,现
半导体的基本化学特征
半导体的基本化学特征在于原子间存在饱和的共价键。作为共价键特征的典型是在晶格结构上表现为四面体结构,所以典型的半导体材料具有金刚石或闪锌矿(ZnS)的结构。 由于地球的矿藏多半是化合物,所以最早得到利用的半导体材料都是化合物,例如方铅矿(PbS)很早就用于无线电检波,氧化亚铜(Cu2O)用作固体整流
20202021年GCMS、环保用质谱及ICPMS新品
分析测试百科网讯,上篇我们介绍了大气压电离的质谱、液质联用及MALDI类质谱新品,本篇我们主要介绍GC-MS、环保用质谱及ICP-MS,这几种质谱的主要驱动力是环境及临床质谱,以及食品、药品方面的法规升级。GC-MS和气体测定的环保用质谱 GC-MS和气体测定的环保用质谱新品,除了日本电子,其
多肽荧光标记——FITC修饰和AMC修饰
荧光标记所依赖的化合物称为荧光物质。荧光物质是指具有共轭双键体系化学结构的化合物,受到紫外光或蓝紫光照射时,可激发成为激发态,当从激发态恢复基态时,发出荧光。荧光标记技术指利用荧光物质共价结合或物理吸附在所要研究分子的某个基团上,利用它的荧光特性来提供被研究对象的信息。荧光标记的无放射物污染,操
FITCAMC等荧光标记技术
荧光标记所依赖的化合物称为荧光物质。荧光物质是指具有共轭双键体系化学结构的化合物,受到紫外光或蓝紫光照射时,可激发成为激发态,当从激发态恢复基态时,发出荧光。荧光标记技术指利用荧光物质共价结合或物理吸附在所要研究分子的某个基团上,利用它的荧光特性来提供被研究对象的信息。荧光标记的无放射物污染,操作简