Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPsAMC污染快速检测
背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂,涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因,这些制程在地点和时间上并不是连续发生的,因此,晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒(FOUPs)来运送和临时储存晶圆。换句话说,因为晶圆存放在运输盒(FOUP)内的时间在整个生产过程中占比很高,FOUP本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。文献中已经报道过制程中出现的一些晶圆缺陷与‘排队’时间长短以及FOUP内表面逸出物质种类和浓度息息相关。因此,对FOUP内壁逸出的潜在低浓度污染物进行精准精确测量会有助于调整生产流程以减少与排队时间相关的晶圆缺陷。同时,上述结果将帮助优化FOUP清洁过程和时长。更重要的是,对现有FOUP的测量结果和总结,也将有益于设计开发下一代FOUPs,比如使用新型聚合物材料或者更合适的的表面处理(钝化)手......阅读全文
20202021年GCMS、环保用质谱及ICPMS新品
分析测试百科网讯,上篇我们介绍了大气压电离的质谱、液质联用及MALDI类质谱新品,本篇我们主要介绍GC-MS、环保用质谱及ICP-MS,这几种质谱的主要驱动力是环境及临床质谱,以及食品、药品方面的法规升级。GC-MS和气体测定的环保用质谱 GC-MS和气体测定的环保用质谱新品,除了日本电子,其
研究实现水系锌电正极精准调控
作为水系锌离子电池正极材料的候选材料,二氧化锰具有低成本、高理论容量和高工作电压的优势,但其固有缺陷限制了电化学性能。近日,中国科学技术大学研究团队在MnO2层间分别引入具有吸电子和供电子基团的有机分子,结合同步辐射共振非弹性X射线散射技术、X射线吸收谱和理论计算,证明具有不同电子效应的插层剂对Mn
多肽荧光标记——FITC修饰和AMC修饰(一)
荧光标记所依赖的化合物称为荧光物质。荧光物质是指具有共轭双键体系化学结构的化合物,受到紫外光或蓝紫光照射时,可激发成为激发态,当从激发态恢复基态时,发出荧光。荧光标记技术指利用荧光物质共价结合或物理吸附在所要研究分子的某个基团上,利用它的荧光特性来提供被研究对象的信息。荧光标记的无放射物污染,操作简
多肽荧光标记——FITC修饰和AMC修饰(二)
(2)在整条肽中的某个Lys侧链接入FITC,Lys侧链为末端为-NH2的四碳直链烷基,直接起到了降低空间位阻的作用。这种修饰方式能够灵活的在整条肽中任何位置进行FITC修饰,而不仅仅局限于末端。我们所采用的FITC修饰多肽的两种形式,都具有操作简便,成功率高,容易分离纯化等优点。2.AMC修饰7-
电离常数-和-化学平衡常数有没有区别
电离常数是化学平衡常数的一种,二者都只受温度的影响,和浓度无关. 其中电离常数随温度的升高而增大(电离为吸热反应);化学平衡常数则不一定:若正反应为吸热反应,化学平衡常数随温度的升高而增大;若正反应为放热反应,化学平衡常数随温度的升高而减小
简介飞行时间质谱的化学电离质谱
化学电离质谱(Chemical Ionization Mass Spectrometer, CIMS)是大气领域中一种常见的软电离(Soft Ionization)手段。使用化学电离的好处是不会产生离子碎片,并可在线进样实时分析。目前大气化学领域采用的试剂(reagent),硝酸、乙醇、水最为常
聚焦业绩会:聚光科技一季度质谱仪订单增74%
2021年亏损2.3亿后,聚光科技(300203.SZ)一边剥离PPP项目,一边聚焦高端分析仪器的新产品、新领域开发。公司董事长顾海涛在2021年业绩说明会上表示,公司将大力拓展生命科学、新能源、半导体等领域的创新产品组合和解决方案,此外,公司已经组织专门人员负责部分PPP项目的处置,不会对公司产生
光电离源离子迁移谱仪通过检测
近日,中科院大连化学物理研究所研究员李海洋等研制的国际首款可同时检测爆炸物和毒品的非放射性光电离源离子迁移谱仪,一次通过公安部国家安全防范报警系统产品质量监督检验中心的31项检测。检测结果表明,该仪器对大部分爆炸物和毒品检测种类的检测能力优于标准指标要求,其冷启动时间、过负荷恢复时间等远远小于标
火焰电离检测器—FID法相关介绍
(一)工作原理 ★气体样本通过火焰后产生一个复杂的离子化过程,产生大量的离子。 ★火焰喷嘴两端的高电压电极产生一个静电场,离子化产生的正负离子分别向正负电极移动,从而在两个电极之间产生电极电流。 ★电流的强度和燃烧气体样本中烃的浓度是成比例关系的。从而根据电流强度测出气体样本中烃的含量
电离辐射检测仪的相关介绍
1、个人剂量报警仪:主要用来监测X射线和γ射线,在测量范围内,可任意设定报警阈值,当达到报警阈值时,发出警报及时提醒工作人员注意安全。广泛应用于辐照加工企业、卫生防疫、放射治疗、核实验室、核电站、进出口商检、建材、石油化工、地质普查、废钢铁、工业无损探伤等存在电离辐射环境下。 2、中子剂量仪:
电离室的电离辐射介绍
电离辐射是一切能引起物质 电离的辐射总称,其种类很多,高速带电粒子有α粒子、 β粒子、 质子,不带电粒子有种子以及X 射线、γ射线。 α射线是一种带电粒子流,由于带电,它所到之处很容易引起 电离。 α射线有很强的 电离本领,这种性质既可利用。也带来一定破坏处,对人体内组织破坏能力较大。由于其质
电离常数是电离平衡常数吗
电离常数就是电离平衡常数。电离平衡常数计算是,用生成物的“浓度”幂之积除以反应物剩余的浓度。题目中缺失“浓度”。
空气污染物检测的取样技术
空气分子污染物,例如染料和油漆所释放出的有害化合物,可能对公众的身体健康带来危害,本文介绍了AMC采样箱技术,借助其可轻松实现对众多AMC物质的分析鉴定工作。 无论是对电子芯片制造商、药品生产、食品生产还是公众日常的家庭生活来说,空气分子污染均是不可忽视的污染类型,它会导致产品缺陷、停产以
硬电离源和软电离源的区别
质谱仪是利用电磁学原理,是试样分子转变成代正电荷的气体离子,并按离子的荷质比将它们分开,同时记录和显示这些离子的相对强度。硬电离源有足够的能量碰撞分子,使它们处在较高的激发能态。其弛豫过程包括硬电离源键的断裂并产生荷质比小于分子离子的碎片离子。由硬电离源所获得的质谱图,通常可以提供被分析物质所含功能
硬电离源和软电离源的区别
质谱仪是利用电磁学原理,是试样分子转变成代正电荷的气体离子,并按离子的荷质比将它们分开,同时记录和显示这些离子的相对强度。硬电离源有足够的能量碰撞分子,使它们处在较高的激发能态。其弛豫过程包括硬电离源键的断裂并产生荷质比小于分子离子的碎片离子。由硬电离源所获得的质谱图,通常可以提供被分析物质所含功能
电离(电离常数)和解离(解离常数)的区别
一、概念不同1、电离常数:弱电解质在一定条件下电离达到平衡时,溶液中电离所生成的各种离子浓度以其在电离方程式中的计量数为幂的乘积,跟溶液中未电离分子的浓度以其在化学方程式中的计量数为幂的乘积的比值。即溶液中的电离出来的各离子浓度乘积(c(A+)*c(B-))与溶液中未电离的电解质分子浓度(c(AB)
20222023年ICPMS新品-国产纷纷推出高端型号
分析测试百科网讯 ICP-MS领域,近年来出现了很多新品,近年来的主要特点包括:1、 减少氩气消耗的同时,提升灵敏度。2、 强调智能化,并结合自动进样器高通量进样分析。3、 继谱育后,Labtech也推出串联ICP-MS/MS,并针对半导体应用做全面优化。4、 TOFWERK和谱育均推出ic
电离截面检测器的使用方法简介
气相色谱分析中,复杂组分能否分开,关键在于色谱柱;分离后组分能否鉴定出来关键在于检测器,所以分离系统和检测系统是色谱仪的核心,检测器的作用是检测被色谱柱分离的样品组分,并根据其含量大小转变成电信号,放大后,由记录仪记录成色谱图的装置。 检测系统主要由检测器、放大器和记录器等部件组成,能灵敏、快
国产半导体PIND检测系统
颗粒碰撞噪声检测仪|颗粒碰撞噪声测试仪|粒子碰撞噪声检测仪|微粒碰撞噪声检测仪|PIND|4511|FELIX|微粒碰撞噪声多余物自动检测系统 (国军标 QJ 2863-96、GJB65B、GJB128、GJB548B、GJB360A、GJB2888) 颗粒碰撞噪声检测仪 PD50颗粒碰撞噪声检测仪
热电离简介
气体电离的机制有很多种不同的方法,当气体加热到数千摄氏度时,气体中分子间的碰撞,就会使其中一部分分子或原子发生电离现象,并且电离度会随温度的升高而迅速增大,这种电离被称为热电离或热平衡电离。 所有的气体都能发出热辐射,在高温下,热辐射光子的能量达到一定数值即可造成气体的热电离。在一定温度下,气
电离辐射
例如,核泄漏、医院的X光透视等都属于电离辐射。电离辐射会破坏人体组织里分子和原子之间的化学键,可能对人体重要的生化结构与功能产生严重影响。最容易为辐射所伤的身体部分包括肠胃上皮细胞以及生成血细胞的那些骨髓细胞。电离辐射对人体健康的伤害是非常严重的,我们应该尽量远离。
酸碱电离理论
酸碱电离理论由阿伦尼乌斯提出,在水溶液中电离出的阳离子全部是氢离子的化合物叫做酸,在水溶液中电离出的阴离子全部是氢氧根离子的化合物叫做碱。
化学电离(CI)在β阻断剂确证中的应用研究
在常规检测中,一些B2阻断剂(或其代谢物)的EI质谱图极其相似,给确证工作带来麻烦。本文采用GC/MS的化学电离功能得到了特征性很强的质谱图,使确证工作简单易行,并满意地应用于实际尿样分析。 1.取5 ml尿样于10 ml玻璃试管中,加入0.5ml浓盐酸和100 mg L-半胱氨酸,混匀,试管口
怎么判断电离大于水解还是水解大于电离
要根据溶液的酸碱性来判断是水解大于电离还是电离大于水解。由于酸根的水解使溶液显碱性,电离使溶液显酸性,所以如果溶液是酸性,那么电力大于水解,如果溶液是碱性,那么水解大于电离。常见的有以下几种情况:1.NaHCO3溶液:HCO3-的水解程度大于电离程度,溶液呈碱性;2.NaHSO3溶液:HSO3-的水
聚光科技全面布局半导体精密检测---ICPMS新进展
聚光科技ICP-MS(等离子体质谱分析仪)自2020年全力推进半导体领域,近期,部分产品(科学仪器)实现集成电路制造头部企业测试,目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台,针对半导体行业检测需求,推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统,
大气压化学电离源和电喷雾离子源的区别
1电感耦合等离子体,离子化效率高,且能电离几乎所有离子2热电离(通过高温电热丝离子化),稳定,但效率低。3二次离子(使用一次离子束轰击样品,从而激发离子),对样品损伤小,效率低
硫化银半导体材料的计算化学数据
1.疏水参数计算参考值(XlogP):无2.氢键供体数量:13.氢键受体数量:14.可旋转化学键数量:05.互变异构体数量:无6.拓扑分子极性表面积17.重原子数量:38.表面电荷:09.复杂度:2.810.同位素原子数量:011.确定原子立构中心数量:012.不确定原子立构中心数量:013.确定化
非电离辐射
与电离辐射相比,非电离辐射对人体健康的影响要弱很多,但是也不能够忽视。如果接触过量的非电离辐射,或者长期接触强的电磁波,也会对人体的精神系统、免疫系统、生殖系统等产生影响。例如日常我们接触到的电脑、手机、家电产生的电磁辐射都属于非电离辐射。孕妇、老人、儿童以及抵抗力低的病人,由于其自身免疫力不同于普
气体电离相关概述
气体受到电场或热能的作用,就会使中性气体原子中的电子获得足够的能量,以克服原子核对它的引力而成为自自电子,同时中性的原子或分子由于失去了带负电荷的电子而变成带正电荷的正离子。这种使中性的气体分子或原子释放电子形成正离子的过程叫做气体电离。 一般情况下气体是不导电的。如放在空气中的用绝缘架支着的
软电离的定义
由于离子化所需要的能量随分子不同差异很大,因此,对于不同的分子应选择不同的离解方法。通常称能给样品较大能量的电离方法为硬电离方法,而给样品较小能量的电离方法为软电离方法,后一种方法适用于易破裂或易电离的样品。“软”是相对于最常用的电子电离EI而言。采用软电离技术容易获得能指明相对分子质量的准分子离子