Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPsAMC污染快速检测
背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂，涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因，这些制程在地点和时间上并不是连续发生的，因此，晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒（FOUPs）来运送和临时储存晶圆。换句话说，因为晶圆存放在运输盒（FOUP）内的时间在整个生产过程中占比很高，FOUP本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。文献中已经报道过制程中出现的一些晶圆缺陷与‘排队’时间长短以及FOUP内表面逸出物质种类和浓度息息相关。因此，对FOUP内壁逸出的潜在低浓度污染物进行精准精确测量会有助于调整生产流程以减少与排队时间相关的晶圆缺陷。同时，上述结果将帮助优化FOUP清洁过程和时长。更重要的是，对现有FOUP的测量结果和总结，也将有益于设计开发下一代FOUPs，比如使用新型聚合物材料或者更合适的的表面处理（钝化）手......阅读全文
软电离的定义
由于离子化所需要的能量随分子不同差异很大，因此，对于不同的分子应选择不同的离解方法。通常称能给样品较大能量的电离方法为硬电离方法，而给样品较小能量的电离方法为软电离方法，后一种方法适用于易破裂或易电离的样品。“软”是相对于最常用的电子电离EI而言。采用软电离技术容易获得能指明相对分子质量的准分子离子
硫化银半导体材料的计算化学数据
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无2.氢键供体数量:13.氢键受体数量:14.可旋转化学键数量:05.互变异构体数量:无6.拓扑分子极性表面积17.重原子数量:38.表面电荷:09.复杂度:2.810.同位素原子数量:011.确定原子立构中心数量:012.不确定原子立构中心数量:013.确定化
中南民大建立“武汉电离层检测技术研发中心”
近日，中南民族大学“武汉电离层检测技术研发中心”获得国家卫星气象中心(国家空间天气监测预警中心)的批复，正式立项建设。 “武汉电离层检测技术研发中心”是以中南民族大学电子信息工程学院为依托的多学科研发平台，由该校“等离子体研究所”牵头，联合武汉大学、中国地质大学、中科院武汉
半导体设备展会|2024上海国际半导体检测设备展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会（IC CHINA）时 间：2024 年 9 月 5 一 7 日地 点：中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询：021-5416 3212大会负责人：李经理 136 5198 3978（同微）作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会，自 2003 年起已连
实验室分析仪器质谱分析词汇－化学电离(CI)
通过导入反应试剂,在低真空(0.4托)诱发碰撞,以增加分子离子的产率和提高灵敏度;因为这种电离,相比于电子撞击电离,是一能量非常低的过程,所得碎片减少,通常称为软电离技术。可参见电子电离中的相关内容。
大连化物所发明一种基于VUV灯的新型化学电离源
近日，中国科学院大连化学物理研究所李海洋研究团队利用射频场约束离子运动增强电离效率的原理，成功研制了一种基于VUV灯的新型化学电离源。该结果已刊登在美国化学会Analytical Chemistry上。 电离源可实现中性分子的离子化，是质谱、离子迁移谱等检测仪器的核心部件之一。近年来“
「官网」2025深圳13届国际半导体封装检测展「半导体展会」
「官网」2025深圳13届国际半导体技术展「半导体展会」展会时间：2025年4月9日-11日论坛时间：2024年4月9日-11日举办地点：深圳福田会展中心 (深圳市福田中心区福华三路)展会规模： 面积10万平米，展商1800余家，展位3600多个，观众近10万人次展会报名：136 （李先生）中间四位
气体检测仪的传感器有几种？
气体检测仪是一种能够检测环境中的各类气体的检测工具，一般被使用在石油化工、工业生产、冶炼锻造、电力、煤矿、隧道工程、环境监测、污水治理、生物制药、消防、燃气、科研中心 等各个行业中;气体检测仪是这些行业中经常使用到的防护工具，能够有效的防护各类气体所带来的伤害。目前市面上普遍的传感器的技术有：检测
多功能酶标仪中荧光检测技术介绍
1.概述 室温下，大多数分子处于基态的zui低振动能级，处于基态的分子吸收能量(光能、化学能、电能或热能)后跃迁至激发态，激发态不稳定，将很快衰变到基态，以光的形式放出能量，这种现象称为“发光现象”。分子发光包括荧光，磷光，化学发光，生物发光等。受到光照时发光，光照切断时发光立即消失的叫荧光，光
大连化物所研制的光电离源离子迁移谱仪通过检测
近日，中科院大连化学物理研究所快速分离与检测研究组（102组）李海洋研究员等研制的国际首款可同时检测爆炸物和毒品的非放射性光电离源离子迁移谱仪，通过公安部国家安全防范报警系统产品质量监督检验中心的31项检测。 按照中华人民共和国公安部发布的《GA/T 841–200
气相色谱仪氢火焰电离检测器的应用
目前，在使用气相色谱仪进行微量分析中zui常用的检测器是氢火焰电离检测器，它的灵敏度比热导检测器高一千倍左右。它是一种对质量敏感的具有选择性的检测器，但仅对有机碳氢化合物具有响应，其响应信号随着化合物中碳原子数量增加而增大。 氢火焰电离检测器的基本结构如图所示： 任何一种离子化检测器都具有一个
光电离源离子迁移谱仪成功通过公安部检测
6月4日，由中科院大连化学物理研究所快速分离与检测研究组李海洋研究员所带领研究团队，研制的国际首款可同时检测爆炸物和毒品的非放射性光电离源离子迁移谱仪一次性顺利通过公安部国家安全防范报警系统产品质量监督检验中心的31项检测。 按照中华人民共和国公安部发布的《GA/T 841–2009基
气体检测仪传感器的种类
气体检测仪器是一种可以检测环境中的各类气体的成分和浓度的仪器仪表，目前市面上气体检测仪器品牌众多，品类繁杂，我们在选择气体检测仪的时候应多加比较选择适合自己的气体检测仪，气体检测仪主要分有便携式气体检测仪和固定式气体检测仪，其气体检测仪的核心技术就是传感器技术，目前市面上普遍的传感器的技术有：检测管
影响电离程度的因素
外因有:温度，浓度，外加电解质，内因：电解质本身的性质决定电解质电离程度的大小
什么是场致电离
场致电离是利用强电场诱发样品分子电离，等离子电视又叫PDP(plasmadisplaypanel)电视，原理是每个像素点独立发光成像，跟等离子体没关系。
酸碱如何抑制水电离
酸碱都会抑制水的电离,只是强酸强碱抑制性更强. 酸碱在水中电离出H+或OH-,等于在水的电离平衡中增大了生成物浓度,使得反应平衡向左移动.等于抑制了水的电离.
什么是场致电离
场致电离是利用强电场诱发样品分子电离，等离子电视又叫PDP(plasmadisplaypanel)电视，原理是每个像素点独立发光成像，跟等离子体没关系。
电离真空计简介
电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
电离的方式有几种
气体原子、分子的电离可以通过光、x射线、y射线照射，即电磁波的吸收，加速电子、离子或高能中性粒子的碰撞等方式发生。这种电离除单一激发过程引起的之外，也可通过几种激发过程的累积引起。一般，电离的方法有如下几种：1. 光、x射线、y射线照射：电离所需要的能量由光、x射线、y射线提供。放电的起始电荷是电离
电喷雾电离质谱仪分类
电喷雾电离质谱仪分类有多种。1、按分析目的可分：化验室电喷雾电离质谱仪和工业电喷雾电离质谱仪。2、按质量分析器的工作状态可分：电喷雾电离静态质谱仪和电喷雾电离动态质谱仪。3、按质量分析器的工作原理可分：电喷雾电离四极杆质谱仪和电喷雾电离傅里叶变换质谱仪等。4、按联用方式可分：电喷雾电离液质联用仪电喷
电离的方式有几种
气体原子、分子的电离可以通过光、x射线、y射线照射，即电磁波的吸收，加速电子、离子或高能中性粒子的碰撞等方式发生。这种电离除单一激发过程引起的之外，也可通过几种激发过程的累积引起。一般，电离的方法有如下几种：1. 光、x射线、y射线照射：电离所需要的能量由光、x射线、y射线提供。放电的起始电荷是电离
影响电离平衡的因素
温度、浓度。1 物质在水中的电离是吸热的。温度升高，弱电解质电离度增大。导电性增强。2 弱电解质溶液浓度越低，电离程度越大。导电性是通过可自由移动的离子实现的。虽然浓度降低电离度增加，但相对高浓度溶液来说，可自由移动的离子个数较少。因此降低浓度会减弱导电性。但实际上导电性强弱由很多因素制约，因此并不
电离的方式有几种
气体原子、分子的电离可以通过光、x射线、y射线照射，即电磁波的吸收，加速电子、离子或高能中性粒子的碰撞等方式发生。这种电离除单一激发过程引起的之外，也可通过几种激发过程的累积引起。一般，电离的方法有如下几种：1. 光、x射线、y射线照射：电离所需要的能量由光、x射线、y射线提供。放电的起始电荷是电离
什么是表面电离系数
高电压随笔1.汤逊巴申拿破仑波那帕脱来自专栏高电压复习小记复习高电压的随笔，写给自己看的，不喜勿喷～但欢迎读者补充指正首先是气体放电的基本理论。带电质点的产生：碰撞电离。带电质点在电场中获得动能，碰撞气体分子，使之电离。并不是所有碰撞都能引发电离。因此引入平均自由程的概念。平均自由程越大，积累动能就
实验室分析方法质谱分析的质谱仪化学电离源特点
电离能小,质谱峰数少,谱图简单;最强峰为(M+1)+准分子离子峰;不适用难挥发试样。
ICP光源的电离干扰、化学干扰和基体干扰相对较小的原因
试样引入ICP光源的主要方式有：雾化进样（包括气动雾化和超声雾化进样）、电热蒸发进样、激光或电弧和火花熔融进样，对于特定元素还可以采用氢化物发生法进样。其中，以气动雾化方式最为常用。原因包括（1）样品在ICP光源中的原子化与激发是在惰性气体Ar的氛围进行的，因此不容易氧化电离；（2）样品的原子化与激
实验分析仪器质谱仪大气压化学电离源结构原理及特点
1.基本原理大气压化学电离源（atmospheric pressure chemical ionization，APCI）的结构与电喷雾电离源大致相同，不同之处在于APC喷嘴的下游放置一个针状放电电极，通过放电电极的高压放电，使空气中某些中性分子电离，产生H3O+、N2+、O2+和O+等离子，溶剂分
实验分析仪器表面解吸常压化学电离源结构原理及特点
1.基本原理表面解吸常压化学电离源（surface desorption atmospheric pressure chemical ionization ，DAPCI）又可写成 SDAPCI，其以APCI工作原理为基础，通过电晕放电的方式将试剂（如水、乙酸等）分子电离，生成初级试剂离子［H3O+，
有机质谱仪中，除电子电离源外还有什么电离源
有机质谱仪，常见的电离源，一类是“硬电离”方式，主要是EI电子轰击，还有一类是“软电离”，有ESI电喷雾离子化、MALDI基质辅助激光解析电离、FAB快原子轰击等。
半导体工艺废气如何处理
半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的