Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPsAMC污染快速检测

背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂,涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因,这些制程在地点和时间上并不是连续发生的,因此,晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒(FOUPs)来运送和临时储存晶圆。换句话说,因为晶圆存放在运输盒(FOUP)内的时间在整个生产过程中占比很高,FOUP本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。文献中已经报道过制程中出现的一些晶圆缺陷与‘排队’时间长短以及FOUP内表面逸出物质种类和浓度息息相关。因此,对FOUP内壁逸出的潜在低浓度污染物进行精准精确测量会有助于调整生产流程以减少与排队时间相关的晶圆缺陷。同时,上述结果将帮助优化FOUP清洁过程和时长。更重要的是,对现有FOUP的测量结果和总结,也将有益于设计开发下一代FOUPs,比如使用新型聚合物材料或者更合适的的表面处理(钝化)手......阅读全文

有机质谱仪中,除电子电离源外还有什么电离源

有机质谱仪,常见的电离源,一类是“硬电离”方式,主要是EI电子轰击,还有一类是“软电离”,有ESI电喷雾离子化、MALDI基质辅助激光解析电离、FAB快原子轰击等。

VOCs走航过程中常见的问题有哪些?原因以及解决方法?

  (1)怎么规划走航路线?去哪里测?  考虑走航成本、时间等因素,走航监测可以采取从粗到细的方式,首先对目标区域进行多次不同时段的走航监测,获得区域浓度总体分布图。接下来对浓度异常排放区域进行重点监测,排查污染因子、排放规律、污染来源等问题。  (2)走航过程中VOCs浓度没有明显变化?  走航热

基于紫外成像的半导体关键尺寸检测

  摘要  本文基于徕卡显微系统(Leica Microsystems)紫外成像能力,面向晶圆与掩膜版的关键尺寸(CD)测量与缺陷分析,以行业白皮书体例给出应用背景、方法流程、产品组合与案例。文中对比光学与CD-SEM在250–350 nm成熟工艺区间的适配性,并说明徕卡光学检测显微镜在紫外成像模式

半导体式气体检测仪概述

  半导体式气体检测仪是利用一些金属氧化物半导体材料,在一定温度下,电导率随着环境气体成份的变化而变化的原理制造的。比如,酒精传感器,就是利用二氧化锡在高温下遇到酒精气体时,电阻会急剧减小的原理制备的。  半导体式气体检测仪可以有效地用于:甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、酒精、甲醛、一氧化碳、二氧化碳、乙烯

半导体式气体检测器简介

  半导体式气体检测器  它是利用一些金属氧化物半导体材料,在一定温度下,电导率随着环境气体成份的变化而变化的原理制造的。比如,酒精传感器,就是利用二氧化锡在高温下遇到酒精气体时,电阻会急剧减小的原理制备的。  半导体式气体传感器可以有效地用于:甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、酒精、甲醛、一氧化碳、二氧化碳

首个半导体线宽检测国际标准发布

  近日,国际标准化组织(ISO)正式发布了微束分析领域中的一项国际标准:“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”,该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心丁泽军团队主导制定,是半导体线宽测量方面的首个国际标准,也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准,该标准的发布有助于促进

20242025年气质联用新品:国产高分辨落地,高端质谱开创新局!

  之前的(2024-2025年液质联用新品 多级串联多种碎裂 操控离子随心所欲(上篇)(下篇)),我们已经对近两年液质新品进行了整理,本篇对气质联用仪、环境在线质谱、VOCs质谱、小质谱等进行整理。2024至2025年间,气质联用仪及其相关质谱技术迎来了新一轮的发展高潮,尤其是安益谱在国产高分辨质

常用细胞凋亡检测方法(四)

五 TUNEL法   细胞凋亡中, 染色体DNA双链断裂或单链断裂而产生大量的粘性3'-OH末端,可在脱氧核糖核苷酸末端转移酶(TdT)的作用下,将脱氧核糖核苷酸和荧光素、过氧化物酶、碱性磷酸酶或生物素形成的衍生物标记到DNA的3'-末端,从而可进行凋亡细胞的检测,这类方法称为脱氧核

陶氏化学工厂爆炸-牵动半导体关键耗材生产

  陶氏化学美国路州厂在美国时间7月15日传出爆炸起火事件,虽无人伤亡,惟该厂生产光刻胶、抛光垫/液等半导体关键耗材,主要供成熟制程晶圆制造使用,牵动业界神经,联电、世界、力积电等中国台湾晶圆代工成熟制程相关厂商密切关注后续发展,目前均评估不影响生产。  陶氏化学为全球半导体关键化学材料重要供应商,

谈气相色谱仪氢火焰电离检测器的应用

在使用气相色谱仪进行微量分析中zui常用的检测器是氢火焰电离检测器,它的灵敏度比热导检测器高一千倍左右。它是一种对质量敏感的具有选择性的检测器,但仅对有机碳氢化合物具有响应,其响应信号随着化合物中碳原子数量增加而增大。氢火焰电离检测器的基本结构如图所示:气相色谱仪氢火焰电离检测器的应用任何一种离子化

气相色谱仪电子捕获检测器的电离源

气相色谱仪电子捕获检测器(ECD)对电离源的要求是电离能力强,可提供一定强度的基流;穿透力小,确保人身安全;半衰期长,性能稳定,使用寿命长;耐较高温度,不易污染,应用面广。放射性物质放射的射线有三种:α、β和γ射线。α射线虽电离能力zui强,但噪声大,还伴有对人体有害的γ辐射。γ射线电离能力差,且

飞行时间质谱的电子电离和无电离的相关介绍

  电子电离  电子电离(electron ionization)是一种强电离手段,这种方法区别于软电离,而是一种强电离手段。使用钨丝产生电子,再由电子束直接轰击样本。这种方法的好处是,电离效率较高。坏处是会产生很多碎片。通过这些碎片来分析样本中的成分。[4]然而这种方法,在使用单质作为样本时,可以

气质百川-|-抵御塑化剂风险-新型SMCI化学电离源显身手

 塑化剂谈之色变,有科学研究证明,长期大剂量摄入塑化剂,会干扰人的内分泌系统、损害生殖系统,还可能对肝肾有一定影响。而按照现代我们已经形成的生活方式,完全躲开塑化剂几乎是不可能的,但也没必要过度紧张,塑化剂是否会对人体产生伤害,主要取决于量的多少。塑化剂又称增塑剂,种类高达百余种,而引起恐慌的则是邻

实验室分析仪器质谱仪器的大气压化学电离(APCI)

气相中放热的质子转移反应的速率常数接近于碰撞速率常数,因此化学电离能够高效地产生离子。在大气压下,化学电离反应的速率更大,电离效率应更高。设计大气压化学电离( atmospheric pressure chemical ionization,APCI)离子源的主要困难是将在大气压力下产生的离子转移到

实验室分析仪器质谱仪器的离子源化学电离(CI)

在电子轰击电离中,样品分子与具有一定能量的电子直接作用,产生的分子离子具有较高热力学能,从而进一步发生碎裂。其缺陷是分子离子信号变得很弱,甚至检测不到。化学电离(chemical ionization,CI)引入大量的试剂气,使样品分子与电离离子不直接作用,试剂气分子被电子轰击电离后因离子-分子反应

面板检测设备增长超预期-加快布局半导体测试检测领域

  事件:公司发布半年报预告,2018H1公司实现归母净利润1.10亿-1.25亿,同比增长109.72%-138.32%,其中非经常性损益影响约为800万。  面板检测设备业务规模不断扩大,业绩增长超预期:2018H1公司实现归母净利润1.10亿-1.25亿,同比增长109.72%-138.32%

化学事故检测箱

 主要适用于突发性化学事故(如火灾、爆炸、毒气泄漏等)现场的有毒有害气体快速检测,保证事故救援工作的顺利进行,为事故分析提供现场数据。2. 组成   气体检测部分:有真空手动采样器、定性气体检测管、定量气体检测管、远距离气体采样软管组成,可定性、定量测定常见有毒有害气体。  人员防护部分:由防毒面具

半导体展会2024半导体展|半导体设备展|2024半导体材料展

深圳电子元器件展,电子仪器仪表展,深圳电子仪器仪表展,电子元器件展,深圳电子设备展,电子设备展,电子元器件展览会,电子仪器展,深圳电子仪器展,电仪器展览会,深圳继电器展,深圳电容器展,深圳连接器展,深圳集成电路展2024中国(深圳)国际半导体与封装设备展览会2024 China (Shenzhen)

快原子轰击电离质谱仪种类

快原子轰击电离质谱仪种类有多种。1、按分析目的可分:快原子轰击电离实验室质谱仪和快原子轰击电离工业质谱仪。2、按质量分析器的时空属性可分:快原子轰击电离时间型质谱仪和快原子轰击电离空间型质谱仪。3、按结构可分:台式快原子轰击电离质谱仪和落地式快原子轰击电离质谱仪。4、按联用方式可分:快原子轰击电离液

热电离质谱法相关介绍

  热电离质谱法(Thermal ionization mass spec-trometry,TIMS)是基于经分离纯化的试样在Re、Ta等高熔点的金属带表面上,通过高温加热产生热致电离的一门质谱技术。主要应用于地球化学、宇宙化学及地质年代学等领域的高精度同位素比值的测定,也可应用于原子量测定及高精

电喷雾电离质谱原理

  电喷雾电离质谱是确定化合物分子量及分子式的一种质谱分析方法。质谱所带离子源为电喷雾离子源,喷雾器顶端施加一个电场给微滴提供净电荷;在高电场下,液滴表面产生高的电应力,使表面被破坏产生微滴;荷电微滴中溶剂的蒸发;微滴表面的离子“蒸发”到气相中,进入质谱仪。为了降低微滴的表面能,加热至200~250

EI电离源的工作原理

电子碰撞电离发生在电离室(如图)中,通过扩散泵或涡轮分子泵实现压力小于6×10-7mmHg的真空条件。在2000 °C时,由于热电效应,灯丝发射的电子通过5~100-V的电位差加速到阳极。为了提高电子与分子的碰撞几率,施加与电场方向相同的磁场。磁场使电子沿垂直于磁感应的方向旋转,加速的匀速直线运动和

电子轰击电离质谱仪分类方法

电子轰击电离质谱仪类型有多种。1、按分析目的可分:电子轰击电离化验室质谱仪和电子轰击电离工业质谱仪。2、按结构可分:台式电子轰击电离质谱仪和落地式电子轰击电离质谱仪。3、按分析规模可分:小型电子轰击电离质谱仪和大型电子轰击电离质谱仪。4、按质量分析器的工作原理可分:电子轰击电离双聚焦质谱仪、电子轰击

电喷雾电离质谱仪分类方法

电喷雾电离质谱仪分类有多种。1、按分析目的可分:化验室电喷雾电离质谱仪和工业电喷雾电离质谱仪。2、按质量分析器的工作状态可分:电喷雾电离静态质谱仪和电喷雾电离动态质谱仪。3、按质量分析器的工作原理可分:电喷雾电离四极杆质谱仪和电喷雾电离傅里叶变换质谱仪等。4、按联用方式可分:电喷雾电离液质联用仪电喷

醋酸的电离常数是多少

醋酸的电离常数是:1.8*10⁻⁵与温度有关,醋酸的电离常数随温度上升有下降的趋势,二十五摄氏度下醋酸的电离常数是1.8*10⁻⁵。乙酸是醋的主要成分,而醋几乎贯穿了整个人类文明史。乙酸发酵细菌(醋酸杆菌)能在世界的每个角落发现,醋是这些酒精饮料暴露于空气后的自然产物。如中国就有杜康的儿子黑塔因酿酒

电离干扰的消除和抑制

原子在火焰或等离子体的蒸气相中电离而产生的干扰。它使火焰中分析元素的中性原子数减少,因而降低分析信号。在标准和分析试样中加入过量的易电离元素,使火焰或等离子体中的自由电子浓度稳定在相当高的水平上,从而抑制或消除分析元素的电离。此外,由于温度愈高,电离度愈大,因此,降低温度也可减少电离干扰。

国家半导体照明质量监督检测中心正式启用

  7月25日,国家半导体照明产品质量监督检验中心启用暨江苏省半导体照明产品标准化技术委员会授牌仪式在武进高新区举行。  在武进高新区设立的国家半导体照明产品质量监督检验中心,是继厦门之后的第二个国家级半导体照明产品检测中心,于2010年1月由国家质监局批准筹建。该中心拥有各类国际一流照明

-PNAS:半导体测序助力胎儿遗传病检测

  日前,来自中国广州医科大学等机构的科研人员报告了一种基于半导体的DNA测序平台可能有助于增加胎儿遗传病检测的速度并减少成本,研究报告被发表在5月5日的PNAS网络先行版上。   什么是基于半导体的DNA测序?   半导体DNA测序平台是使用半导体生物传感器芯片,对DNA复制期间产生的氢离子进

半导体气体检测仪产品的优点

气体检测仪是一种气体泄露浓度检测的仪器仪表工具,其中包括:便携式气体检测仪、手持式气体检测仪、固定式气体检测仪、在线式气体检测仪等。主要利用气体传感器来检测环境中存在的气体种类,气体传感器是用来检测气体的成份和含量的传感器。半导体式:它是利用一些金属氧化物半导体材料,在一定温度下,电导率随着环境气体