电子束光刻相关介绍
电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。 光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。 电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。......阅读全文
电子束光刻相关介绍
电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。 光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳
电子束光刻光栅扫描系统相关介绍
采用高速扫描方式对整个图形场扫描,利用快速束闸控制电子束通断,实现选择性曝光。例如美国Etec公司生产的MEBES系统采用高亮度热场致发射阴极,在掩模版上可获得400的束电流密度，工件台在X方向作连续移动时，电子束在Y 方向作短距离重复扫描，从而形成一条光栅扫描图形带。随后工件台在 Y方向步
电子束光刻的特点
电子束曝光是用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂，经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。 这种曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工艺容限大，而且生产效率高，但由于电子束在光刻胶膜内的散射，使得图案的曝光剂量会受到临近图案曝光剂量的影响（即临近效应），造成的结果是，显影后，线宽有所变化或图
电子束光刻的基本结构
电子束曝光的基本结构，从上往下依次为：电子枪、电子枪准直系统、电磁透镜、消像散器、偏转器、物镜、光阑（Aperture）、电子探测器、工作台（stage）以及真空泵（离子泵、分子泵、机械泵）。 电子枪：高分辨率的热场发射，配有高压，电子束的能量通常在10~100KeV。 电子枪准直系统：对电
电子束光刻投影电子束扫描系统
扫描式电子束曝光系统可以得到极高的分辨率，但其生产率较低，不能满足大规模生产的需要。成形束系统生产率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，难以制作纳米级图形。近年来研发的投影电子束来曝光系统，既能使曝光分辨率达到纳米量级，又能大大提高生产率，且不需要邻近效应校正。在研制中的投影式电子束曝
电子束光刻成型电子束扫描系统
成形电子束曝光系统按束斑性质可分成固定和可变成形束系统。固定成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸始终不变；可变成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸可不断变化。按扫描方式，成形电子束曝光系统又可分为矢量扫描型和光栅扫描型。一种尺寸可变的矩形束斑的形成原理是电子束经上方光阑后形成一束方形电子束，再照射到下方
半导体所集成技术中心召开电子束光刻用户研讨会
4月12日下午，中科院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心召开了2011年度电子束光刻用户研讨会。半导体集成技术工程研究中心领导以及来自半导体所各部门的30余名从事纳米加工的研究生出席了本次会议。 半导体集成技术工程研究中心主任杨富华简要回顾了10年来集成技术中心设备的购建、技术人员的配备和
七点解析JEOL高精密的圆形电子束光刻系统
最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能。 ◇ 节省空间 标准的设备占地面积为4.9m（W）×3.7m（D）×2.6m（H），比以往机型占用空间更小，外形更加紧凑美观。
电工所科技前沿论坛“微光刻与电子束光刻技术”开讲
从1958年世界第一块平面集成电路到2012年04月24日英特尔在北京天文馆正式发布核心代号为Ivy Bridge的第三代酷睿处理器—英特尔首款22纳米工艺处理器，短短五十多年，微电子技术一直遵循着摩尔定律，发展势头迅猛。 针对微光刻与电子束光刻技术发展图谱，7月6日，中科院微电子所陈
红细胞相关的病症的相关介绍
红细胞增多症（Polycythemia）以红细胞数目、血红蛋白、红细胞压积和血液总容量显著地超过正常水平为特点。儿童时期血红蛋白超过180g/L（16g/dl），红细胞压积大于55%和每公斤体重红细胞容量绝对值超过35ml，排除因急性脱水或烧伤等所致的血液浓缩而发生的相对性红细胞增多，即可诊断。
乙肝相关性肾炎的相关介绍
乙型肝炎相关性肾小球肾炎(hepatitis B virus associated glomerulone nephritis)是指由乙型肝炎病毒(HBV)直接或间接诱发的肾小球肾炎。本病曾称为乙型肝炎肾炎、乙型肝炎免疫复合物肾炎、乙型肝炎病毒抗原相关性肾炎等。我国是HBV感染的高发区，人群HB
车载逆变器相关介绍
车载逆变器一般使用汽车电瓶或者点烟器供电，先将低压直流电转换为265V左右的直流电，然后将高压的直流电转变为220V、50Hz的交流电。车载逆变器打破了在车内使用电器的诸多局限。车载电源不仅适用于车载系统，只要有DC12V直流电源的场合，都可使用。车载逆变器充分考虑到外部的使用环境，当发生过载或
敏感元件相关介绍
敏感元件指能够灵敏地感受被测变量并做出响应的元件。是传感器中能直接感受被测量的部分。 技术工艺，是衡量一个企业是否具有先进性，是否具备市场竞争力，是否能不断领先于竞争者的重要指标依据。随着我国生物敏感元件市场的发展，与之相关的核心生产技术应用与研发必将成为业内企业关注的焦点。了解国内外生物敏
无损检测相关介绍
无损检测是指在不损害或不影响被检测对象使用性能，不伤害被检测对象内部组织的前提下，利用材料内部结构异常或缺陷存在引起的热、声、光、电、磁等反应的变化的方法。 它是工业发展必不可少的有效工具，包括有射线检验、超声检测、磁粉检测和液体渗透检测等。
制粒机的相关介绍
制粒机主要由喂料、搅拌、制粒、传动及润滑系统等组成,在制药、化工、食品工业广泛应用。 制粒机制粒快、效果好，设计特殊孔的滤网，仔细筛滤，其摩擦滤网杆能扎碎筛滤坚固粒子，在制药、化工、食品工业广泛应用。该机能替代摇摆式 颗粒机，是新一代的颗粒设备。
移液器的相关介绍
移液器使用 步骤/方法： 1、如液体不小心进入活塞室应及时清除污染物; 2、移液器使用完毕后，把移液器量程调至zui大值，且将移液器垂直放置在移液器架上; 3、避免放在温度较高处以防变形致漏液或不准; 4、根据使用频率所有的移液器应定期用肥皂水清洗或用60 %的异丙醇消毒，再用双 蒸水清洗并
穆斯堡尔谱仪的相关介绍
穆斯堡尔谱仪用于测定物质γ射线无反冲共振吸收效应的仪器。其基本原理是：由放射源（γ光源）射出的γ光子被样品中存在的穆斯堡尔核（如57Fe，119Sn）所吸收，形成共振吸收谱，样品中穆斯堡尔核与核外化学环境的相互作用会引起共振吸收谱线的位置、形状、数目的 变化。反过来利用所测穆谱的这些变化推出穆核
自吸泵的相关介绍
自吸泵属自吸式离心泵，它具有结构紧凑、操作方便、运行平稳、维护容易、效率高、寿命长，并有较强的自吸能力等优点。管路不需安装底阀，工作前只需保证泵体内储有定量引液即可。不同液体可采用不同材质自吸泵。 自吸泵的工作原理是水泵启动前先在泵壳内灌满水（或泵壳内自身存有水）。启动后叶轮高速旋转使叶轮槽道
激振器的相关介绍
激振器（vibration exciter）是附加在某些机械和设备上用以产生激励力的装置，是利用机械振动的重要部件。激振器能使被激物件获得一定形式和大小的振动量，从而对物体进行振动和强度试验，或对振动测试仪器和传感器进行校准。激振器还可作为激励部件组成振动机械，用以实现物料或物件的输送、筛分、密
微压计的相关介绍
微压计是丈量细小压力、负压或差压的压力计，这类外表灵敏度、度都很高，一般可到0.1mm； 有的还能够到达双液U形管压力计双液U形管压力计可用于丈量空气或其它气体的微正压； 负压或差压，两头液柱的读值加总即为丈量值；移动刻划尺即可作零点调整。 形管微压计形管微压计一、加工
叶绿体的相关介绍
叶绿体（Chloroplast）是质体的一种，是高等植物和一些藻类所特有的能量转换器。其双层膜结构使其与胞质分开，内有片层膜，含叶绿素，故名为叶绿体。 叶绿体是含有绿色色素（主要为叶绿素 a 、b）的质体，为绿色植物进行光合作用的场所，存在于高等植物叶肉、幼茎的一些细胞内，藻类细胞中也含有。叶
电炉的相关介绍
电炉（electric furnace）是指引利用电热效应供热的工业电炉和家用电炉。工业电炉又分为电阻炉、感应炉两种，随着现代工业技术的发展感应炉成为电炉中最为节能的电转换加热方式，广泛应用家庭、医药、化工、冶金、等多个领域。电炉具有快速加热、容易控制温度、热效率高等特点。
癌基因相关介绍
癌基因，也称为致癌基因（英语：Oncogene）是一类能使正常细胞转化为癌细胞的基因。一般而言，癌基因是功能出现异常的原癌基因（英语：Proto-oncogene）。原癌基因一般与细胞的增殖生长相关，功能正常的原癌基因并不会导致癌症。当原癌基因发生片段丢失、点突变、复制等突变后，就可能转化为癌基因。
移液器的相关介绍
移液器也叫移液枪，是在一定量程范围内，将液体从原容器内移取到另一容器内的一种计量工具。被广泛用于生物、化学等领域。中文名：移液器，外文名：locomotive pipette基本结构移液器在临床实验室中因为基本结构简单，使用方便等原因而得到广泛应用。其基本结构主要有显示窗、容量调节部件、活塞、0-形
斩波器的相关介绍
直流斩波器又称为截波器，它是将电压值固定的直流电，转换为电压值可变的直流电源装置，是一种直流对直流的转换器 已被广泛使用，如直流电机的速度控制、交换式电源供应器(Switching-Power-Supply)等。 直流斩波是将固定的直流电压变换成可变的直流电压，也称为DC/DC变换。 斩波
滑动变阻器相关介绍
滑动变阻器是电学中常用器件之一，它的工作原理是通过改变接入电路部分 电阻线的长度来改变电阻的，从而逐渐改变电路中的电流大小。滑动变阻器的电阻丝一般是熔点高，电阻大的 镍铬合金，电阻杆一般是电阻小的金属，所以电阻丝越长，电阻越大，电阻杆越短，电阻越小。电阻丝外面涂着绝缘层，绕在 绝缘管上，它的两端
量瓶的相关介绍
是一种细颈梨形平底瓶，由无色或棕色玻璃制成，带有磨口玻璃塞或塑料塞。颈上刻有一环形标的是量入式量器，表示在所指温度下（一般为20℃）液体充满至标线时的容积。容量瓶的用途是配制准确精度的溶液或定量地稀释溶液。该量瓶常和移液管配合使用。颈上有标线，表示在所指温度下液体充满到标线时，溶液体积恰好与瓶上
脱硫设备相关介绍
脱硫设备一般是指在电力行业生产中，用于除去煤中的硫元素，防止燃烧时生成SO2的一系列设备。 硫对环境的污染比较大，硫氧化物和硫化氢对大气的污染，硫酸盐、硫化氢对水体的污染，是环境保护工作的重点。热电厂的生产流程中会燃烧大量的煤，而煤中常常含有一定量的硫元素，这些硫元素经过燃烧之后会释放出大量S
溶酶体相关疾病介绍
矽肺二氧化硅尘粒（矽[xī]尘）吸入肺泡后被巨噬细胞吞噬，含有矽尘的吞噬小体与溶酶体合并成为次级溶酶体。二氧化硅的羟基与溶酶体膜的磷脂或蛋白形成氢键，导致吞噬细胞溶酶体崩解，细胞本身也被破坏，矽尘释出，后又被其他巨噬细胞吞噬，如此反复进行。受损或已破坏的巨噬细胞释放“致纤维化因子”，并激活成纤维细胞
X射线衍射光学部件的制备及其光学性能表征（一）
陈宜方 摘要: 综述了国内外在纳米加工X射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展。介绍了作者团队过去三年在这方面做的工作。针对衍射透镜关键技术，研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺；结合金电镀，提出了纳米尺度波带片的制造技术，并将该工艺成功扩展于分辨率板（Siemens s