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1.微区性、微量性:几个立方um范围能将微区化学成分与显微结构对应起来。而一般化学分析、X射线荧光分析及光谱分析等，是分析样品较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应，不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。 2.方便快捷:制样简单，分析速度快。 3.分析方式多样化:可以连续自动进行多种方法分析，如进行样品X射线的点、线、面分析等。自动进行数据处理和数据分析。 3.应用范围广:可用于各种固态物质、材料等。 4.元素分析范围广:一般从铍(Be4)--铀(U92)。因为H和He原子只有K层电子，不能产生特征X射线，所以无法进行电子探针成分分析。锂(Li)虽然能产生X射线，但产生的特征 X射线波长太长，通常无法进行检测，电子探针用大面间距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测Be元素。 5.不损坏样品:样品分析后，可以完好保存或继续进行其它方面的分析测试，这对于文物、古陶瓷、古硬币及犯罪证据等稀有样品分析尤为重要。 ......阅读全文
1.微区性、微量性:几个立方um范围能将微区化学成分与显微结构对应起来。而一般化学分析、X射线荧光分析及光谱分析等，是分析样品较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应，不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。 2.方便快捷:制样简单，分析速度快。 3.分析方式多样化:可以连续自动进
第一、微区性、 微量性：几个立方μm范围能将微区化学成分与显微结构对应起来。而一般化学分析、 X射线荧光分析及光谱分析等， 是分析样品较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应, 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。 第二、方便快捷：制样简单，分析速度快。 第三、分析方式多样化：
1.显微结构分析 电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发待分析的样品，通过电子与样品的相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析样品的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm范围内的微区分析， 微区分析是它的一个重要
一．快速仪器分析法的样品处理一般都比化学分析法简单，从而大大地提高了分析速度。例如冶金部门采用直读光谱法进行炉前分析时，在数分钟内可同时得出钢样中二、三十个元素的分析结果。另外由于在仪器分析法中普遍采用了先进的电子技术和计算机技术，从而大大地提高了仪器操作的自动化程度（自动进样、记录、打印、停机）和
具有以下优点（与波谱仪相比） 能谱仪探测X射线的效率高。 在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动），不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。
利用电子探针分析方法可以探知材料样品的化学组成以及各元素的重量百分数。分析前要根据试验目的制备样品，样品表面要清洁。用波谱仪分析样品时要求样品平整，否则会降低测得的X射线强度。 1 点分析用于测定样品上某个指定点的化学成分。下图是用能谱仪得到的某钢定点分析结果。能谱仪中的多道分析器可使样品中所有元素
以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是：以动能为10～30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生特征
电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用约1Pm的细焦电子束，在样品表层微区内激发元素的特征X射线，根据特征X射线的波长和强度，进行微区化学成分定性或定量分析。电子探针的光学系统、真空系统等部分与扫描电镜基本相同，通常也配有二次电子和背散射电子信号检测器，同时兼有组织形貌和微区成分分析两方
用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。 分析x射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是x射线谱仪，
电子探针分析有两种基本分析方法：定性分析和定量分析。 （1）定性分析 定性分析是对试样某一选定点（区域） 进行定性成分分析，以确定点区域内存在的元素。 定性分析的原理：用光学显微镜或在荧光屏显示的图像上选定需要分析的点，使聚焦电子束照射在该点上，激发该点试样元素的特征X射线。用X射线谱仪探