质谱分析法术语二次离子质谱法
二次离子质谱法（ secondary ion mass spectrometry， SIMS）采用二次离子质谱仪进行质析的方法，该法依赖于所用不同二次离子质譜仪，可划分为四极杆二次离子质（quasSenary ion nmss spectrometr）、高分辩二次离子质谱仪（ high resolution two ion mass spectromete）、双聚焦二次离子质谱法 （double focusing secondary ion mass spectrometry）和时间飞行二次离子质谱法（TOF seoondary ion mass spectrometry）。根据分析对象和测量目的的不同，该法可进行表分分析、深度部析、成像和同位素精确测量，获取元素成分、同位素丰度、物质结构等多种信息。热电离质请法（ thermal ionization mass speetrometry，TIMS）原子或分子在高熔点、高功函数金......阅读全文
质谱分析法术语二次离子质谱法
二次离子质谱法（ secondary ion mass spectrometry， SIMS）采用二次离子质谱仪进行质析的方法，该法依赖于所用不同二次离子质譜仪，可划分为四极杆二次离子质（quasSenary ion nmss spectrometr）、高分辩二次离子质谱仪（ high resolu
质谱分析法术语质谱法
质谱法（ mass spectrometry，MS）亦称质谱学（ mass spectroscopy），采用不同离子化方式，将待测物电离形成带电离子，离子按质荷比m/z分离、检测的方法。质谱法是实现原子（分子）质量测定，同位素分离、分析，物质结构鉴定以及气相离子化学基础研究的谱学方法。作为一种检测手
质谱分析法术语无机质谱法
无机质谱法（ inorganic mass spectrometry）用质谱仪器对无机元素或无机化合物进行定性定量分析的方法。早期以火花源质谱法、二次离子质谱法为主，随着电感耦合等离子体质谱法、辉光放电质谱法的成熟，拓宽了无机质谱法的应用领域。在高纯气体、高纯材料中痕量杂质分析，无机物元素分析，固体
质谱分析法术语火花源质谱法
火花源质谱法（spark source mass spectrometry，SSMS）采用火花源质谱仪对被测成分（元素、同位素）进行定性、半定量和定量分析的质谱方法。该法电离效率高，几乎能使所有被测成分电离，且对所有元素有大致相同的电离效率，实现多元素同时检测，曾经是高纯材料、痕量杂质测量的有效方法
质谱分析法术语静态真空质谱法
静态真空质谱法（static vacuum mass spectrometry，SVMS）当进行样品分析时，质谱仪的分析系统处于静态真空，即在离子源、分析器和接收器恒定真空状态下测量，称之为静态真空质谱法。静态真空质谱法主要应用于惰性气体同位素分析，故也称为惰性气体质谱法（inert gas mas
质谱分析法术语表面电离质谱法
表面电离质谱法（surface ionization mass spectrometry）热电离质谱法的一种，将预测量样品涂覆在高熔点、高功函数的金属带表面或金属丝表面，借助通过带或丝的电流产生的高温而电离，电离生成的离子进入质量分析器进行分离和测量。
质谱分析法术语同位素质谱法
同位素质谱法（ （isotope mass spectrometry）用质谱仪器进行同位素组成的研究和原子质量测量的方法。主要用于核科学、同位素地质学、同位素地球化学和天体物质中同位素丰度的测定。随着同位素稀释法和稳定同位素标记技术的发展，同位素质谱法在生物学、临床医学、药学、农学和环境科学领域也得
质谱分析法术语光共振电离质谱法
激光共振电离质谱法（ laser resonance ionization mass spectrometry， LRIMS）是利用激光共振电离质仪进行质谱分析的方法。原则上 LRIMS可实现单原子探测，具有极高的元素、核素选择性和探测灵敏度，是复杂基质下超痕量中长寿命核素定量分析的有效方法，在材
质谱分析法术语火辉光放电质谱法
辉光放电质谱法（glow discharge mass spectrometry，GDMS）利用辉光放电质谱仪进行质谱测量的一种分析方法。GDMS是无机固体材料，特别是高纯材料中痕量杂质检测的有效方法。
质谱分析法术语激光电离质谱法
激光电离质谱法（ laser ionization mass spectrornetry， L IMS）是利用激光电离质谱仪进行质谱分析的一种方法，具有微区分析功能，可进行逐层剖析，剖析深度可达1um至几十微米，分析双敏度高，相对检测极限5μg/g，在高纯材料、生物、医学等领域获得成功应用。
质谱分析法术语加速器质谱法
加速器质谱法（ accelerator mass spectrometry，AMS）使用加速器质谱仪进行高能量离子分篇析的质请方法。AMS测量的离子具有高能量，有效克服了传统质谢测量时的同量异位素和分子本感干找限制，提高了同位素测量的丰度灵度（可达10 -16），为地质、考古、海洋、环境等领域的科学
质谱分析法术语稳定离子
稳定离子（stable ion）指在离子源生成的，离开离子源后直至到达检测器不发生裂解的离子。通常指寿命比10-5s长的离子。
质谱分析法术语负离子
负离子（negative ions）带负电荷的离子，产生于质谱仪的负离子源。
质谱分析法术语负离子电离
负离子电离（negative ion ionization，NII）对于具有电子亲和力比较大的元素捕获一个电子可生成负离子，这种离子化的方法称为负离子电离法。
质谱分析法术语离子化
离子化（ionization）或称为电离。指中性原子或分子失去电子或捕获电子生成离子的过程。在质谱分析中，指气相、液相、固相样品的原子、分子变为气态的正离子或负离子的过程。
质谱分析法术语多电荷离子
多电荷离子（multiple charged ion）带有两个以上电荷的离子，通常多电荷离子具有非整数质荷比，出现在质谱图的分数质量上，形成“本底”。
质谱分析法术语离气体稳定同位素质谱法
气体稳定同位素质谱法（ gas stable isotope ratio mass spectrometry， GSIRMS）该法因测量气体稳定同位素比值而得名，如测量碳、氧、氮、硫等元素的稳定性同位素，测量结果的品位通常以δ表示，在同位素地球化学、同位素地质学、石油勘探与开采、同位素宇宙学、海洋学
质谱分析法术语不稳定离子
不稳定离子（unstable ion）在离子源内生成，但在离开离子源之前就分解的离子。通常指寿命小于10-6s的离子。由于这种离子的裂解发生在离子源内，因此称为源内碎裂（in--source fragmentation）。
质谱分析法术语等离子体
等离子体（plasma）亦称等离子区。一般指电离的气体，主要由离子、电子和未经电离的中性粒子所组成。因正负电荷密度几乎相等，故从整体上看呈现电中性。例如，火焰和电弧中的高温部分，太阳和气体恒星的表面等。在等离子体中电磁力起主要作用，能引起和普通气体大不相同的内部运动形态，如电子和离子的集体振荡，因此
质谱分析法术语离子计数测量
离子计数测量（ counting measurement of ion）质谱分析时测量离子的一种方法，该法将接收的离子通过离子甄别器排除干扰离子后，经脉冲放大器放大，用脉冲计数器测量，计数率通常在10 6cp5。目前闪烁探测器和通道式电子倍增器都可用离子计数测量。
质谱分析法术语离子模拟测量
离子模拟测量（ analog measurement of ion）是测量离子的一种方法，该法将接收的离子通过高稳定、高欧姆值的电阻放大，转换为电压信号，再经过电子学放大器放大后，借助模数转换器转换为数字信号进行测量。当离子浓度较高时，采用法拉第杯接收器测量，模拟值可达1012cps（ count
二次离子质谱法的简介
二次离子质谱法是指当初级离子束（Ar+，O2+，N2+, O-，F-，N -或Cs+等） 轰击固体试样表面时，它可以从表面溅射出各种类型的二次离子，利用离子在电场，磁场或自由空间中的运动规律，通过质量分析器，可以使不同质荷比的离子分开，经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法。
动态二次离子质谱分析（DSIMS）
动态二次离子质谱分析（D-SIMS）1. 飞行时间二次离子质谱技术二次离子质谱技术（Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，D-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子的质量来测定元素种类，具有极
飞行时间二次离子质谱法
飞行时间二次离子质谱法Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry :TOF-SIMS原理超真空环境下向样品射入1次离子束，从样品的浅表层（1~3nm）释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间（TOF型）质谱仪，就可以获得样品最表层的质谱。此时，再通过调
质谱分析法术语峰匹配测量法
峰匹配测量法（peak matching measurement）一种测定离子精确质量的方法。精度可达（110）×10-6根据扇形磁质谱仪的基本公式:m/z＝KB21V，当B2不变时，质量分别为m1和m2的两个离子有如下关系:m1:m2＝V1:V2。在离子接收狭缝前装上一对偏转电极，并在电极上加一个
质谱分析法术语同位素稀释法
同位素稀释法（isotope dilution method）采用同位素稀释进行定量分析的方法。如在含有自然丰度的某元素未知浓度溶液中，加入该元素已知丰度的定量浓缩同位素或贫化同位素溶液，等待两种溶液均匀混合，通过待测样品、混合溶液的同位素丰度质谱法测量，根据待测、浓缩和混合溶液中的同位素丰度和所加
质谱分析法术语质谱
质谱（mass spectra mass spectrum）按照被测体质量大小排序的谱线。
质谱分析法术语同位素示踪法
同位素示踪法（isotope tracer method）用同位素作为示踪剂来观察和研究生命体，或物体中某一物质行为的方法。
SiO－2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
前 言 对于半导体器件而言，在管芯表面覆盖钝化膜的保护措施是非常必要的，钝化膜是器件的最终的钝化层和机械保护层，可以起到电极之间的绝缘作用，减弱和稳定半导体材料的多种表面效应，防止管芯受到尘埃、水汽酸气或金属颗粒的沾污，一般采用CVD 工艺（化学气相沉积，Chemical Vapor Dep
质谱分析法术语质谱图
质谱图（mass spectrogram）质谱测定结果经计算机处理统计后，以棒状图（或数据列表形式）表示的谱图。它是二维图谱，横坐标表示离子的质荷比（m/z），对于单电荷的离子，电荷数z＝1，横坐标表示的数值即为离子的质量；纵坐标表示离子流的强度，通常用相对强度来表示，即把被记录的各个质量数的离子峰