磁控溅射种类的介绍

磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。 靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源镀膜均匀,非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多用于半导体光学膜,非平衡多用于磨损装饰膜。磁控阴极按照磁场位形分布不同,大致可分为平衡态和非平衡磁控阴极。平衡态磁控阴极内外磁钢的磁通量大致相等,两极磁力线闭合于靶面,很好地将电子/等离子体约束在靶面附近,增加碰撞几率,提高了离化效率,因而在较低的工作气压和电压下就能起辉并维持辉光放电,靶材利用率相对较高,但由于电子沿磁力线运动主要闭合于靶面,基片区域所受离子轰击较小.非平衡磁控溅射技术概念,即让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极,两极磁力线在靶面不完全闭合,部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域,从而部分电子可以沿着磁力线扩展到基片,增加基......阅读全文

磁控溅射种类的介绍

  磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。  靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源镀膜均匀,非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多

磁控溅射的相关介绍

  磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅

磁控溅射原理的相关介绍

  磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,

磁控溅射技术应用的现状

  磁控溅射技术不仅是科学研究和精密电子制造中常用的薄膜制备工艺技术,经过多年的不断完善和发展,该技术也已经成为重要的工业化大面积真空镀膜技术之一,广泛应用于玻璃、汽车、医疗卫生、电子工业等工业和民生领域。例如,采用磁控溅射工艺生产镀膜玻璃,其膜层可以由多层金属或金属氧化物祖成,允许任意调节能量通过

磁控溅射技术的工艺历史发展

  1852年,格洛夫发现了阴极溅射,由于该方法要求工作气压高、基体温升高和沉积速率低等,阴极溅射在生产中并没有得到广泛的应用。20世纪三十年代,J.Chapin发明了平衡磁控溅射,使高速、低温溅射成为现实,磁控溅射真正意义上发展起来。  上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射

金属多靶磁控溅射机

  金属多靶磁控溅射机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器,于2014年1月1日启用。  1)真空系统:复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统;真空极限:优于5.0×10E-5Pa ;抽速:从大气开始抽气,溅射室25分钟可达到10E-4Pa;系统漏率≤ 5×10-7PaL/s,系统停泵关机1

磁控溅射镀膜机共享

仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19

磁控溅射镀膜机共享应用

仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19

全自动磁控溅射系统共享应用

仪器名称:全自动磁控溅射系统仪器编号:12024341产地:中国生产厂家:金盛微纳科技有限公司型号:MSP-150B出厂日期:201112购置日期:201211所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:刘建设(,,zh

超高真空多靶磁控溅射镀膜仪

  超高真空多靶磁控溅射镀膜仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器,于2010年2月21日启用。  技术指标  双室磁控溅射系统,极限压力:主溅射室,6.67*10-6Pa,2、永磁靶5套,三个直流电源,两个射频电源,靶材直径60mm;3、6个样品工位,尺寸直径30mm,基片加热最高600度,退火

固醇的种类介绍

①动物固醇胆固醇,亦称胆甾醇,是脊椎动物细胞的重要组分,在神经组织和肾上腺中的含量最高(湿重百分数),心脏中含量最低,在肝、肾和皮肤中的含量也相当多。人体内胆石主要由胆固醇构成。正常人血浆内胆固醇含量为每百毫升150~250毫克,游离与酯化的比例约为1∶3。主要的酯化脂肪酸为亚油酸,其次为油酸,继之

细辛的种类介绍

  细辛(本草经)华细辛(文献通称),盆草细辛(四川)  Asarum sieboldii Miq. in Ann. Mus. Bot. Lugd. -Bat. 2: 134. 1865; Maxim. in Mel. Biol. 8: 397. 1871; Hemsl. in Journ. Lin

细辛的种类介绍

  细辛(本草经)华细辛(文献通称),盆草细辛(四川)  Asarum sieboldii Miq. in Ann. Mus. Bot. Lugd. -Bat. 2: 134. 1865; Maxim. in Mel. Biol. 8: 397. 1871; Hemsl. in Journ. Lin

制氮机的种类介绍

  深冷空分制氮  深冷空分制氮是一种传统的制氮方法,已有近几十年的历史。它是以空气为原料,经过压缩、净化,再利用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物,利用液氧和液氮的沸点不同(在1大气压下,前者的沸点为-183℃,后者的为-196℃),通过液空的精馏,使它们分离来获得氮气。深冷空

兰草的种类介绍

  产于山西、河南、山东、江苏、浙江、安徽、江西、湖北、湖南、云南、四川、贵州、广西、广东及陕西。日本、朝鲜也有。  此种名称较多,北方和江苏通称佩兰,江西、湖北、湖南、贵州通称兰草,北方亦称香草;江苏有时又称八月白,失力草,湖北有时称铁脚升麻或称杆升麻。[5]

鹿茸的种类介绍

  由于原动物不同,分为花鹿茸(黄毛茸)和 马鹿茸(青毛茸)两种;由于采收方法不同又分为砍茸与锯茸二种;由于枝叉多少及老嫩不同,又可分为鞍子、二杠、挂角、三岔、花砍茸、莲花等多种。  鹿茸的品名很多,质量的优劣相差也很大。一般是从色泽、质地、气味等方面加以鉴别比较。  花鹿茸  锯茸,二杠具一个侧枝

萱草的种类介绍

  萱草亦为 萱草属植物统称,自然种类约20种,中国有8种。  1、 黄花萱草( 金针菜)H. flava:原产中国,叶片深绿色带状,长30-60cm,宽0.5-1.5cm。拱形弯曲。花6~9朵,花 柠檬黄色,浅漏斗形,花草高约125cm,花径约9cm。花蕾为著名的"黄花菜",可供食用。  2、 黄

冬梅的种类介绍

  梅花可分为真梅系、杏梅系、樱李梅系等,每节1~2朵,无梗或具短梗,直径1~3厘米,萼筒钟状,有短柔毛,裂片卵形;花瓣5枚,原种呈淡粉红或白色,栽培品种则有紫、红、彩斑至淡黄等花色;雄蕊多数、离生,於房密被柔毛,罕为2-5(离心皮)或缺如,於房上位,花柱长。  梅花的总品种达300多种。适宜观赏的

榧子的种类介绍

  10种栽培变种长籽香榧、大圆榧 (栾泡榧 ) 、小圆榧、蛋榧、圆榧、茄榧 (长果榧,寸金榧,了木榧 )、芝麻榧、獠牙榧、米榧、尖榧。  榧属植物全世界共有 6种 2变种和 11个栽培变种,分布于东亚及北美,其中北美产 2种:佛罗里达榧 T. taxifolia Am.、加州榧 T. califo

菱角的种类介绍

  四角菱  1、馄饨菱,产江苏苏州、浙江杭州一带。晚熟品种,清明播种,秋分到霜降收获。优质丰产,味甜而糯,亩产1000~1200斤。果皮绿白色,每斤40~50个,肩角上翘,腰角下弯,菱腹凹陷,菱肉厚实,皮薄,果重与肉重之比约为1.5:1。  2、小白菱,产江苏吴江、苏州等地。中晚熟品种,清明播种,

血脂的种类介绍

⑴甘油三酯和少量的甘油二酯、甘油一酯;⑵胆固醇和胆固醇酯;⑶磷脂,以磷脂酰胆碱为主;⑷自由脂肪酸。临床上高脂血症是指空腹血浆甘油三酯或胆固醇的浓度超过正常范围。实际上人体内的血脂以各类脂蛋白的形式存在的,也分为四类:⑴乳糜微粒,其主要成分是甘油三脂;⑵极低密度脂蛋白,约占5%到10%,主要成分是甘油

外植体的种类介绍

植物组织培养的材料几乎包括了植物体的各个部位,如茎尖、茎段、花瓣、根、叶、子叶、鳞茎、胚珠和花药等。(1)茎尖茎尖不仅生长速度快,繁殖率高,不容易发生变异,而且茎尖培养是获得脱毒苗木的有效途径。因此,茎尖是植物组织培养中最常用的外植体。(2)节间部大部分果树和花卉等,新梢的节间部是组织培养的较好材料

立克次氏体的种类介绍

普氏立克次氏体(Rickettsia prowazekii)是流行性斑疹伤寒(epidemic typhus)的病原体。呈多形性,短杆状为主,0.6微米~2微米×0.3微米~0.8微米。病人是该疾病唯一的传染源,主要通过体虱传播,传播方式为虱-人-虱。当人受到感染后,经两周左右的潜伏期骤然发病,主要

转氨酶的种类介绍

转氨酶 的种类很多,体内除赖氨酸、苏氨酸之外,其余α-氨基酸都可参加转氨基作用并各有其特异的转氨酶。其中以谷丙转氨酶(GPT)和谷草转氨酶(GOT)最为重要。前者是催化谷氨酸与丙酮酸之间的转氨作用,后者是催化谷氨酸与草酰乙酸之间的转氨作用。转氨酶催化的反应都是可逆的。转氨酶可按底物的不同分成3大类:

孢子的种类介绍

从孢子结构来看,孢子 可分游动孢子和不动孢子生两种类型。每个孢子囊产生的游动孢子数目,依植物的种类物而异,但大部分藻类植物每个孢子囊一般产生16~64个游动孢子。此类孢子常为梨形或球形,并依种类不同,可能具2或4根鞭毛或几轮鞭毛。从孢子囊释放后,游动孢子可以游动一段时间,如绿藻类的盘星藻属,能游动4

转氨酶的种类介绍

转氨酶 的种类很多,体内除赖氨酸、苏氨酸之外,其余α-氨基酸都可参加转氨基作用并各有其特异的转氨酶。其中以谷丙转氨酶(GPT)和谷草转氨酶(GOT)最为重要。前者是催化谷氨酸与丙酮酸之间的转氨作用,后者是催化谷氨酸与草酰乙酸之间的转氨作用。转氨酶催化的反应都是可逆的。转氨酶可按底物的不同分成3大类:

芦荟的种类介绍

  芦荟属约有500-600多个物种[9],形态多样。2010年后的一系列系统发育研究将广义芦荟属中的部分物种移出,并分成了5个新的小属(绫锦芦荟属Aristaloe、什锦芦荟属Gonialoe、树芦荟属Aloidendron、蔓芦荟属Aloiampelos、折扇芦荟属Kumara[10][11])

青风藤的种类介绍

  青藤  又名:大叶青藤、土木通、土藤、大青木香、岩见愁、排风藤。落叶缠绕藤本。茎带木质,枝绿色,光滑,有纵直条纹。叶互生,叶柄长5~10厘米;叶片近圆形或卵圆形,长6~12厘米,宽4~12厘米,基部稍心形或近截形,全缘或5~7浅裂,上面光滑,绿色,下面苍白色。花小,单性,雌雄异株;圆锥花序,长1

光栅的种类介绍

点阵式全像立体光栅是一种新型的立体表现方式(也叫矩阵立体光栅),它的材料、观看、制作不同于柱镜立体光栅材料和狭缝立体光栅材料,制作出来的图象可以从上下、左右看。科技含量相当高,美国、日本、台湾有这项全套技术,主要应用于防伪,还应用到显示屏,在不久的未来电视立体也会进入我们的家庭。由于点阵式全像立体光

菊芋的种类介绍

  中国北方地区3月份地温开始回升,冬眠的块茎逐渐由冰冻状态复苏过来。当地温达到10℃时开始发芽,4月初叶片露出地面并开始生长,期间晚霜对其毫无影响和损害。正常情况下,8月末至9月初菊芋茎高2米左右开始开花。花为纯黄色,无香味也无异味,花瓣13枚。由于品种不同,叶片的颜色、宽窄也有不同,虽花色相同,