磁控溅射的相关介绍
磁控溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。 在二极溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场，借助于靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率，增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射的过程。......阅读全文
磁控溅射的相关介绍
磁控溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅
磁控溅射原理的相关介绍
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，
磁控溅射种类的介绍
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点：利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。 靶源分平衡和非平衡式，平衡式靶源镀膜均匀，非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多
磁控溅射技术应用的现状
磁控溅射技术不仅是科学研究和精密电子制造中常用的薄膜制备工艺技术，经过多年的不断完善和发展，该技术也已经成为重要的工业化大面积真空镀膜技术之一，广泛应用于玻璃、汽车、医疗卫生、电子工业等工业和民生领域。例如，采用磁控溅射工艺生产镀膜玻璃，其膜层可以由多层金属或金属氧化物祖成，允许任意调节能量通过
磁控溅射技术的工艺历史发展
1852年，格洛夫发现了阴极溅射，由于该方法要求工作气压高、基体温升高和沉积速率低等，阴极溅射在生产中并没有得到广泛的应用。20世纪三十年代，J.Chapin发明了平衡磁控溅射，使高速、低温溅射成为现实，磁控溅射真正意义上发展起来。 上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射
金属多靶磁控溅射机
金属多靶磁控溅射机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2014年1月1日启用。 1）真空系统：复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统；真空极限：优于5.0×10E-5Pa ；抽速：从大气开始抽气，溅射室25分钟可达到10E-4Pa；系统漏率≤ 5×10-7PaL/s，系统停泵关机1
磁控溅射镀膜机共享
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
全自动磁控溅射系统共享应用
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器，于2010年2月21日启用。 技术指标 双室磁控溅射系统，极限压力：主溅射室，6.67*10-6Pa，2、永磁靶5套，三个直流电源，两个射频电源，靶材直径60mm；3、6个样品工位，尺寸直径30mm，基片加热最高600度，退火
多靶位磁控溅射系统共享应用
仪器名称：多靶位磁控溅射系统仪器编号：21012328产地：美国生产厂家：科特·莱斯科公司型号：PVD75出厂日期：购置日期：2021-07-12所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：62781090固定手机：13661079620固定email：
AJA－真空互联磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称：真空互联-磁控溅射镀膜机仪器编号：20004165产地：美国生产厂家：AJA型号：ATC-2200-UHV SPUTTER SYSTEM出厂日期：购置日期：2020-06-05项目名称计价单位费用类别价格备注材料溅射元/小时自主上机机时费460.0Au等贵金属加收100元/10nm所属单位
金盛微全自动磁控溅射系统共享
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
红细胞相关的病症的相关介绍
红细胞增多症（Polycythemia）以红细胞数目、血红蛋白、红细胞压积和血液总容量显著地超过正常水平为特点。儿童时期血红蛋白超过180g/L（16g/dl），红细胞压积大于55%和每公斤体重红细胞容量绝对值超过35ml，排除因急性脱水或烧伤等所致的血液浓缩而发生的相对性红细胞增多，即可诊断。
磁控溅射技术设计合成ZrN/WN和CrN/ZrN纳米多层膜
本文在Si（100）基底表面上分别利用超高真空射频磁控溅射技术（ultra-high vacuum rf magnetron sputtering system）设计合成ZrN／WN纳米多层膜，利用非平衡直流磁控双靶交替反应溅射技术（unbalanced dual-cathode dc reacti
制粒机的相关介绍
制粒机主要由喂料、搅拌、制粒、传动及润滑系统等组成,在制药、化工、食品工业广泛应用。 制粒机制粒快、效果好，设计特殊孔的滤网，仔细筛滤，其摩擦滤网杆能扎碎筛滤坚固粒子，在制药、化工、食品工业广泛应用。该机能替代摇摆式 颗粒机，是新一代的颗粒设备。
穆斯堡尔谱仪的相关介绍
穆斯堡尔谱仪用于测定物质γ射线无反冲共振吸收效应的仪器。其基本原理是：由放射源（γ光源）射出的γ光子被样品中存在的穆斯堡尔核（如57Fe，119Sn）所吸收，形成共振吸收谱，样品中穆斯堡尔核与核外化学环境的相互作用会引起共振吸收谱线的位置、形状、数目的 变化。反过来利用所测穆谱的这些变化推出穆核
自吸泵的相关介绍
自吸泵属自吸式离心泵，它具有结构紧凑、操作方便、运行平稳、维护容易、效率高、寿命长，并有较强的自吸能力等优点。管路不需安装底阀，工作前只需保证泵体内储有定量引液即可。不同液体可采用不同材质自吸泵。 自吸泵的工作原理是水泵启动前先在泵壳内灌满水（或泵壳内自身存有水）。启动后叶轮高速旋转使叶轮槽道
激振器的相关介绍
激振器（vibration exciter）是附加在某些机械和设备上用以产生激励力的装置，是利用机械振动的重要部件。激振器能使被激物件获得一定形式和大小的振动量，从而对物体进行振动和强度试验，或对振动测试仪器和传感器进行校准。激振器还可作为激励部件组成振动机械，用以实现物料或物件的输送、筛分、密
微压计的相关介绍
微压计是丈量细小压力、负压或差压的压力计，这类外表灵敏度、度都很高，一般可到0.1mm； 有的还能够到达双液U形管压力计双液U形管压力计可用于丈量空气或其它气体的微正压； 负压或差压，两头液柱的读值加总即为丈量值；移动刻划尺即可作零点调整。 形管微压计形管微压计一、加工
量瓶的相关介绍
是一种细颈梨形平底瓶，由无色或棕色玻璃制成，带有磨口玻璃塞或塑料塞。颈上刻有一环形标的是量入式量器，表示在所指温度下（一般为20℃）液体充满至标线时的容积。容量瓶的用途是配制准确精度的溶液或定量地稀释溶液。该量瓶常和移液管配合使用。颈上有标线，表示在所指温度下液体充满到标线时，溶液体积恰好与瓶上
斩波器的相关介绍
直流斩波器又称为截波器，它是将电压值固定的直流电，转换为电压值可变的直流电源装置，是一种直流对直流的转换器 已被广泛使用，如直流电机的速度控制、交换式电源供应器(Switching-Power-Supply)等。 直流斩波是将固定的直流电压变换成可变的直流电压，也称为DC/DC变换。 斩波
叶绿体的相关介绍
叶绿体（Chloroplast）是质体的一种，是高等植物和一些藻类所特有的能量转换器。其双层膜结构使其与胞质分开，内有片层膜，含叶绿素，故名为叶绿体。 叶绿体是含有绿色色素（主要为叶绿素 a 、b）的质体，为绿色植物进行光合作用的场所，存在于高等植物叶肉、幼茎的一些细胞内，藻类细胞中也含有。叶
移液器的相关介绍
移液器也叫移液枪，是在一定量程范围内，将液体从原容器内移取到另一容器内的一种计量工具。被广泛用于生物、化学等领域。中文名：移液器，外文名：locomotive pipette基本结构移液器在临床实验室中因为基本结构简单，使用方便等原因而得到广泛应用。其基本结构主要有显示窗、容量调节部件、活塞、0-形
移液器的相关介绍
移液器使用 步骤/方法： 1、如液体不小心进入活塞室应及时清除污染物; 2、移液器使用完毕后，把移液器量程调至zui大值，且将移液器垂直放置在移液器架上; 3、避免放在温度较高处以防变形致漏液或不准; 4、根据使用频率所有的移液器应定期用肥皂水清洗或用60 %的异丙醇消毒，再用双 蒸水清洗并
电炉的相关介绍
电炉（electric furnace）是指引利用电热效应供热的工业电炉和家用电炉。工业电炉又分为电阻炉、感应炉两种，随着现代工业技术的发展感应炉成为电炉中最为节能的电转换加热方式，广泛应用家庭、医药、化工、冶金、等多个领域。电炉具有快速加热、容易控制温度、热效率高等特点。
乙肝相关性肾炎的相关介绍
乙型肝炎相关性肾小球肾炎(hepatitis B virus associated glomerulone nephritis)是指由乙型肝炎病毒(HBV)直接或间接诱发的肾小球肾炎。本病曾称为乙型肝炎肾炎、乙型肝炎免疫复合物肾炎、乙型肝炎病毒抗原相关性肾炎等。我国是HBV感染的高发区，人群HB
清华大学仪器共享平台金盛微纳－全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
我国学者利用磁控溅射技术提升锌基电池库伦效率与寿命
近日，中科院大连化物所储能技术研究部（DNL17）李先锋研究员、张华民研究员团队，提出了一种利用磁控溅射技术在3D多孔碳毡电极上溅射金属锡层的策略，在水系锌基电池中实现了对锌沉积形貌的诱导，有效降低了锌的电化学沉积过电位，缓解了锌枝晶的生长，使锌基电池的库伦效率与循环寿命显著提升。 锌负极具有