中电科二所在碳化硅激光剥离技术方面取得进展
日前,中国电子科技集团公司第二研究所宣布碳化硅激光剥离设备研发项目通过专家评审论证,正式立项、启动。 碳化硅半导体材料具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率、化学性能稳定等优点,对电动汽车、高压输变电、轨道交通、通讯基站、卫星通讯、国防军工等领域的发展有重要意义。然而,碳化硅材料硬度与金刚石相近,现有的衬底加工工艺切割速度慢、晶体与切割线损耗大,每完成一片350μm厚的标准晶圆加工,就会因线锯切割造成厚度约300μm的材料损失,大幅增加了衬底的成本,导致单晶衬底材料价格高昂,约占碳化硅器件成本50%,限制了碳化硅半导体器件的广泛应用。 激光垂直改质剥离设备被誉为“第三代半导体中的光刻机”,其革命性地利用光学非线性效应,使激光穿透晶体,在晶体内部发生热致开裂、化学键断裂与分解、激光诱导电离等一系列物理化学过程,形成垂直于激光入射方向的改质层,最终实现晶片的剥离。激光剥离几乎可完全避免常规的多线切割技术导致的切......阅读全文
碳化硅外延层厚度及其均匀性的无损检测——红外显微系统
第三代半导体碳化硅材料快速发展 近年来,5G通信、新能源汽车、光伏行业推动了第三代半导体材料碳化硅(SiC)技术的快速发展。相较于成熟的硅(Si)材料,SiC具有禁带宽、击穿电场高、电子饱和迁移率高、热导率高等优良的物理化学特性,是制备高温、高压、高频、大功率器件的理想材料,如电力转换器、光伏
我国研制成功四米口径碳化硅反射镜坯
4月27日,制造团队成员与反射镜坯合影。新华社记者张楠摄 4月27日,两名工作人员在清理反射镜坯。新华社记者张楠摄 近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(简称长春光机所)成功自主研制出直径4.03米的单体碳化硅反射镜坯,将其应用于望远镜或卫星上成像,将大大提高分辨率。现代大型光学望
中国科大郭光灿团队等在碳化硅色心自旋操控研究新进展
中国科学院院士、中国科学技术大学教授郭光灿团队在碳化硅色心自旋操控研究中取得重要进展。该团队李传锋、许金时等人与匈牙利魏格纳物理研究中心教授Adam Gali合作,在国际上首次实现了单个碳化硅双空位色心电子自旋在室温环境下的高对比度读出和相干操控。这是继金刚石氮空位(NV)色心后第二种在室温下同
我国自主研制的4英寸高纯半绝缘碳化硅衬底产品面世
我新一代雷达核心部件材料实现国产化 科技日报济南7月6日电 (通讯员辛鹏波 记者王延斌)近日,我国自主研制的4英寸高纯半绝缘碳化硅(SiC)衬底产品面世。中国电子材料行业协会组织的专家认为,该成果国内领先,已达到国际先进水平。 碳化硅基微波功率器件具有高频、大功率和耐高温的特性,是新一代雷达
中电科二所在碳化硅激光剥离技术方面取得进展
日前,中国电子科技集团公司第二研究所宣布碳化硅激光剥离设备研发项目通过专家评审论证,正式立项、启动。 碳化硅半导体材料具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率、化学性能稳定等优点,对电动汽车、高压输变电、轨道交通、通讯基站、卫星通讯、国防军工等领域的发展有重要意义。然而,碳化硅材料
科学家利用“搭积木”方式构建碳化硅片上异质集成量子光源
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在集成光量子芯片研究方面取得进展。该研究采用“搭积木”式混合集成策略,将III-V族半导体量子点光源与CMOS工艺兼容的碳化硅(4H-SiC)光子芯片异质集成,构建出新型混合微环谐振腔。这一结构实现了单光子源的片上局域能量动态调谐,并通过微腔的Purcell效
麻省理工学院开发碳化硅核燃料包壳材料
近期,美国麻省理工学院(MIT)的研究人员正在测试碳化硅(SiC)陶瓷基体燃料包壳材料,这种材料能把产生氢气的风险降低几千倍,并为核燃料提供与锆合金类似的保护。 世界上其他研究机构也提出将SiC用于核燃料包壳,而MIT目前正在开展最为详细的测试和模拟。MIT的Kazimi教授及其团队不仅在
利用ALMA观测到二碳化硅在富碳AGB星周呈环状分布
渐近巨星支(Asymptotic Giant Branch,AGB)恒星的星周包层(Circumstellar Envelope,CSE)中含有大量气体分子(已探测到105个),约占星际空间发现的所有分子(超300个)的三分之一。研究星周包层中分子的物理及化学特征,对探讨恒星演化具有重要意义。气
碳化硅展会|2024上海国际贴片胶展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
多头物理气相输运技术提高碳化硅晶体制备效率达3倍
碳化硅晶体作为第三代半导体材料的代表,在电子电力器件、高亮度发光二级管等节能环保领域有着广泛的应用前景。然而碳化硅晶体制备存在成本高、能效低等问题,限制了碳化硅晶体在民用领域的大规模应用。 中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部借鉴上海硅酸盐所发明的多坩埚下降晶体制备技术,在对气相输运与沉
浙大成功生长出50mm厚6英寸碳化硅单晶
据浙江大学杭州国际科创中心发布,近日浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室和浙江大学硅材料国家重点实验室在浙江省“尖兵计划”等研发项目的资助下,成功生长出厚度达到 50 mm 的 6 英寸碳化硅单晶。该重要进展意味着,碳化硅衬底成本有望大幅降低,半导体碳化硅产业发展或将迎来发
物理所碳化硅晶体产生中红外飞秒激光研究获进展
中红外激光(3-5μm)在环境监控、气体分子识别、相干断层成像、军事等领域有着重要应用,特别是近年来在高次谐波产生单个阿秒脉冲的研究中,由于周期量级中红外飞秒激光能获得更高截止能量的谐波阶次,有望获得更短的阿秒脉冲和更高的时间分辨率,因此倍受人们的青睐。但受限于激光增益介质,目前较难在室温下直接
中科院上海硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶
记者今天从中国科学院上海硅酸盐研究所获悉,该所科技人员立足自主研发,在掌握直径2英寸、3英寸碳化硅单晶生长技术之后,2月4日,成功生长出直径4英寸4H晶型碳化硅单晶,这标志着我国碳化硅单晶生长技术达到了国际一流水平。 据介绍,碳化硅单晶是一种宽禁带半导体材料,具有禁带宽度大,饱和漂
碳化硅展会|2024上海国际光刻机展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
国产碳化硅进击8英寸工艺节点-“掘金”窗口期步入倒计时
在新能源汽车、光伏、储能等市场持续推动下,国产碳化硅产业商业化持续推进,获得国际功率半导体巨头青睐和结盟,积极追赶更为先进的8英寸工艺节点,碳化硅产品价格有望步入“甜蜜点”。另一方面,碳化硅产业呈现跑马圈地的扩张态势,竞争日趋激烈,甚至有头部厂商已经喊话碳化硅创业窗口期已经接近关闭。获国际龙头青睐“
“瞬影”碳化硅双能CT高压发生器开启影像设备定制新时代
医疗影像设备被誉为大国重器,技术壁垒极高,经过30多年自主创新,已逐步实现了打破进口垄断的局面。随着国产化率的不断提高,中国造影像设备已走出国门,面向全球市场。 实现整机自主可控后,下一个挑战是解决影像设备核心子部件的卡脖子难题。国家工业和信息化部已将影像设备核心零部件列为“卡脖子”技术,在《
2024深圳国际半导体产业展-华南碳化硅半导体材料与分立器件展会
深圳电子元器件展,电子仪器仪表展,深圳电子仪器仪表展,电子元器件展,深圳电子设备展,电子设备展,电子元器件展览会,电子仪器展,深圳电子仪器展,电仪器展览会,深圳继电器展,深圳电容器展,深圳连接器展,深圳集成电路展2024中国(深圳)国际半导体与封装设备展览会2024 China (Shenzhen)
碳化硅展会|2024上海国际芯片粘合材料展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
中科大等实现基于碳化硅中硅空位色心的高压原位磁探测
中国科学技术大学郭光灿院士团队在碳化硅色心高压量子精密测量研究中取得重要进展。该团队李传锋、许金时、王俊峰等与中科院合肥物质科学研究院固体物理研究所高压团队研究员刘晓迪等合作,在国际上首次实现了基于碳化硅中硅空位色心的高压原位磁探测。该技术在高压量子精密测量领域具有重要意义。3月23日,相关研究
宁波材料所就核用碳化硅及核能材料基因组工程发表观点
核能的发展与安全性提升,离不开新型核材料的出现以及对于传统核材料的改进。自2011年福岛核事故以来,人们对反应堆包壳材料提出了事故容错性的迫切需求,即在核安全事故发生后的一段时间内,包壳材料能够保持其结构与功能的完整性,进而为后续的救助与修复工作争取时间。近期,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
碳化硅展会|2024上海国际石英石墨展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
高压碳化硅解决方案:改善4HSiC晶圆表面的缺陷问题1
碳化硅(SiC)在大功率、高温、高频等极端条件应用领域具有很好的前景。但尽管商用4H-SiC单晶圆片的结晶完整性最近几年显着改进,这些晶圆的缺陷密度依然居高不下。经研究证实,晶圆衬底的表面处理时间越长,则表面缺陷率也会跟着增加。 碳化硅(SiC)兼有宽能带隙、高电击穿场强、高热导率、高
高压碳化硅解决方案:改善4HSiC晶圆表面的缺陷问题2
其他仪器方面,本实验使用Nanometrics公司的Stratus傅立叶变换红外光谱仪(FT-IR)测量样品厚度。表面分析实验则使用Dimension 3100原子力显微镜(AFM)。显微镜为接触测量模式,装备一个单晶矽针尖。为取得更大的扫描区域,扫描尺寸是90×90μm2,扫描
超大口径/超轻量化碳化硅反射镜坯研制技术-通过评价
10月30日,吉林省技术产权交易中心、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所成果转化处组织专家,在长春光机所召开“超大口径/超轻量化碳化硅反射镜坯研制技术”科技成果评价评审会。长春光机所相关部门、评审专家组、项目研发团队等20余人出席了评审会。 评审会现场 评审专家组由中国工程院院士、长春理工
2024半导体展会|2024中国(上海)氮化(GaN)和碳化硅(SiC)博览会「官网」
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
新疆天文台利用ALMA观测到二碳化硅在富碳AGB星周呈环状分布
渐近巨星支(Asymptotic Giant Branch,AGB)恒星的星周包层(Circumstellar Envelope,CSE)中含有大量气体分子(已探测到105个),约占星际空间发现的所有分子(超300个)的三分之一。研究星周包层中分子的物理及化学特征,对探讨恒星演化具有重要意义。气体和
2024邀您参展|中国(上海)国际第三代半导体碳化硅SiC博览会
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
35岁“从零开始”,他让外国再也“卡”不住我们
“要么做真正原创性的基础研究,要么做意义重大、促进产业发展的研究,不能做一些‘两不靠’的工作,这些意义不大,我们的理想是两者兼顾。”这是中国科学院物理研究所研究员陈小龙一直以来坚守的信念。 陈小龙长期从事第三代半导体材料碳化硅晶体制备的基础和应用基础研究。20多年来,他带领团队从零开始自主
杂化聚合物主要成分分析
碳化硅涂料和碳化硅胶泥利用良好的导热和热稳定性,磨料--主要是因为碳化硅涂料具有很高的硬度,化学稳定性和一定的韧性,所以碳化硅涂料能用于脱硫塔、烟道和化工水池。 碳化硅杂化聚合物涂料特点如下: 1、碳化硅杂化聚合物涂料耐腐蚀性能好。由于涂层采用的基体树脂是高性能的无机聚合物,该类型树脂具有环
突破传统!这种材料如何实现纳秒级开关?
碳化硅单晶基光导开关因具有传统开关器件不可比拟的特性,已显现出在高技术领域中的广阔应用前景,近些年来得到国际科技界和工业界越来越多的关注。近期,中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部在开展碳化硅晶锭制备和晶圆片加工的同时,与相关应用单位紧密合作,持续开展碳化硅基光导开关原理研究和器件制备实验