基于紫外成像的半导体关键尺寸检测
摘要 本文基于徕卡显微系统（Leica Microsystems）紫外成像能力，面向晶圆与掩膜版的关键尺寸（CD）测量与缺陷分析，以行业白皮书体例给出应用背景、方法流程、产品组合与案例。文中对比光学与CD-SEM在250–350 nm成熟工艺区间的适配性，并说明徕卡光学检测显微镜在紫外成像模式下可获得比可见光更高的分辨率，从而实现更小尺寸测量与更细微缺陷分辨。 1. 品牌与技术背景 1.1 徕卡显微系统（Leica Microsystems）介绍 徕卡显微系统（Leica Microsystems）是一家专注于光学显微成像、数字成像与科研级成像解决方案的专业制造商，长期服务于半导体、材料、生命科学与工业检测等领域。围绕工业检测，徕卡显微系统（Leica Microsystems）提供从可见光到紫外（UV）的多模态成像能力、可编码照明管理与高数值孔径物镜配置，用于结构观察、缺陷定位与尺寸计量。 1.2 紫外成像与分辨......阅读全文
基于紫外成像的半导体关键尺寸检测
摘要 本文基于徕卡显微系统（Leica Microsystems）紫外成像能力，面向晶圆与掩膜版的关键尺寸（CD）测量与缺陷分析，以行业白皮书体例给出应用背景、方法流程、产品组合与案例。文中对比光学与CD-SEM在250–350 nm成熟工艺区间的适配性，并说明徕卡光学检测显微镜在紫外成像模式
徕卡显微镜成像系统
徕卡生物显微镜物镜是zui重要的成像透镜，常被认为是电镜的心脏。物镜的像差也是各级成像透镜中影响zui大考．所以对物镜的要求是尽量减小像差，尤其是球差、色差、衍射差和像散。因为它们决定了电镜的分辨宰。研究表明，球差系数e和色差系数q近似等于透镜的焦距／*因此为提高分辨率，应该减小物镜的焦距；为了实现
徕卡生物显微镜——成像系统
徕卡生物显微镜成像系统依次由物镜、中间镜和投影镜等组成，zui接近样品的是物镜，zui接近荧光屏的是投影镜。中间镜的数目可以有二个或三个不等。电镜的总放大倍数由各级成保透镜的放大倍数之积决定。 徕卡生物显微镜—物镜单元 徕卡生物显微镜物镜是zui重要的成像透镜，常被认为是电镜的心脏。物镜的像差也是各
紫外成像仪简介
紫外成像仪是指，电晕放电是一种局部化的放电现象， 当带电体的局部电压应力超过临界值时，会使空气游离而产生电晕放电现象。特别是高压电力设备，其常因设计、制造、安装及维护工作不良产生电晕、闪络或电弧。在放电过程中，空气中的电子不断获得和释放能量，而当电子释放能量（即放电），便会放出紫外线。
徕卡FLUOSYNC：多色光谱拆分宽场荧光成像方法
作者Johannes Amon博士Peter Laskey博士，徕卡显微系统公司FluoSync 是一种使用单次曝光同时进行多通道荧光成像的精简方法。传统的荧光成像方法通常按顺序对每个通道成像，以减少荧光团之间的串扰。之前已单独介绍了多光谱成像以及后续的线性拆分或基于相量的光谱拆分方法。每一种方法都
徕卡高分辨即时成像奖Antop奖进入大众评审
夏神的脚步轻快而活泼，万物也随着蓬勃发展。在这火红的夏日里，2021年ANTOP奖再次启航。由徕卡显微系统(上海)贸易有限公司申报的“高分辨即时成像奖”Antop奖已经进入大众评审阶段。 奖项主体：徕卡 STELLARIS 8 FALCON 共聚焦显微平台 奖项名称：高分辨即时成像奖徕卡 S
紫外成像仪的简介
随着电力系统的电网规模的不断扩大、电力负荷要求的不断提高，电力系统中使用的各种类型的高压设备的损坏、故障也不断增加，相应对预防性维护的要求也不断提高。输供电线路和变电站配电等设备在大气环境下工作，在某些情况下随着绝缘性能的降低、出现结构缺陷，或表面局部放电现象，电晕和表面局部放电过程中，电晕和放电部
紫外成像仪的概述
随着电力系统的电网规模的不断扩大、电力负荷要求的不断提高，电力系统中使用的各种类型的高压设备的损坏、故障也不断增加，相应对预防性维护的要求也不断提高。输供电线路和变电站配电等设备在大气环境下工作，在某些情况下随着绝缘性能的降低、出现结构缺陷，或表面局部放电现象，电晕和表面局部放电过程中，电晕和放
OFIL紫外成像仪简介
PSIL-70 是一款紧凑型手持式电晕成像仪，对电晕信号具有高灵敏度，适用于室内/室外日间操作，符合人体工程学设计和易操作性，并且运行可靠。PSIL- 70相机属于远程无损测试成像仪，可以实时查明现有的 电晕及其来源，并记录存档，方便实用。适用场景 适用于电力设施，金属加工厂（FAB），
紫外成像仪的用途
1. 运行中绝缘子的劣化以及复合绝缘子及其护套电蚀检测;2. 高压变电站及线路的整体维护;3. 支柱式绝缘上的微观裂纹检测;4. 悬挂式瓷绝缘中的零值绝缘子检测;5. 评估绝缘设备表面的污秽程度 ;6. 评估验收高压带电设备布局、结构、安装、设计是否合理;7. 检测运行中电力设备外绝缘子闪络痕迹;8
【精彩回顾】聚焦细胞多维显微成像，徕卡卫星会圆满落幕
2023年4月10-14日，“中国细胞生物学学会第十八次会员代表大会暨 2023 年全国学术大会•苏州”在江苏省苏州市国际博览中心举办。本次会议邀请众多细胞生物学专家，紧密围绕细胞生物学及其相关领域基础研究、前沿技术、临床应用、产业发展等方面，打造近30场主题论坛及专题活动，充分展示细胞生物学及
紫外成像仪的工作原理
UV(紫外成像仪检测)和IR(红外热像仪检测)技术的比较。UV检测和红外成像是一种互补性而非冲突性技术。电力设施一个完整的检测应该包括紫外成像、红外成像和可见光检测。电晕是一种发光的表面局部放电，由于空气局部高强度电场而产生电离。该过程引起微小的热量，通常红外检测不能发现。红外检测通常是在高电阻处产
徕卡超多标组织成像奖Antop奖进入大众评审
夏神的脚步轻快而活泼，万物也随着蓬勃发展。在这火红的夏日里，2021年ANTOP奖再次启航。由徕卡显微系统(上海)贸易有限公司申报的“超多标组织成像奖”Antop奖已经进入大众评审阶段。 奖项主体：超多标组织成像分析整体解决方案 CELL DIVE 奖项名称：超多标组织成像奖徕卡超多标组
徕卡荧光显微镜明场和暗场的成像方法
徕卡荧光显微镜根据衬度形成的机制，对散射吸收像可以有两种成像方式： （一）明场成像法（BFI），即只让近轴区的透射电子柬通过物镜光阑，形成亮背景上的暗图形像。物镜光阑的孔越小，明场像的衬度越大；（二）暗场成像法（DFI），即只让部分大角度的散射束或晶体的某衍射束通过物镜光阑，而将透射束挡掉。这样形成
紫外成像仪的注意事项
[1]、强电弧产生UV和IR。[2]、在许多场合由于加载不足无法进行红外检测。[3]、UV通道采用臭氧吸收所有太阳辐射的波段，为"太阳盲区"。就算在太阳光在UV仪器视场中，也能检测电晕放电和定位。[4]、这些干扰也可以用超声波探伤法来检测，可显示干扰源的方向。与超声波探伤法相比，成像仪在远距离时灵敏
徕卡THUNDER成像系统在探索微生物肠道免疫机制的应用
由SARS-CoV-2冠状病毒引起的Covid-19影响了世界的方方面面。免疫和治疗方法等抗病毒方向的研究在2020年具有高优先级，显微镜在这类研究中起着举足轻重的作用。了解受体结合、基因组释放、复制、组装和病毒出芽的基本原理及免疫应答，可以使用不同的方法和显微镜。鉴于显微镜在感染生物
OFIL紫外成像仪的主要应用简介
1. 运行中绝缘子的劣化以及复合绝缘子及其护套电蚀检测； 2. 高压变电站及线路的整体维护； 3. 支柱式绝缘上的微观裂纹检测； 4. 悬挂式瓷绝缘中的零值绝缘子检测； 5. 评估绝缘设备表面的污秽程度 ； 6. 评估验收高压带电设备布局、结构、安装、设计是否合理； 7. 检测运行中
紫外成像仪的相关内容
高压电器设备局部放电试验中利用紫外成像技术寻找或定位设备外部的放电部位； UV（紫外成像仪检测）和IR（红外热像仪检测）技术的比较 UV检测和红外成像是一种互补性而非冲突性技术。电力设施一个完整的检测应该包括紫外成像、红外成像和可见光检测。 电晕是一种发光的表面局部放电，由于空气局部高强度
徕卡扫描电子显微镜
徕卡显微镜扫描透射电子显傲镜通常指透射电镜中有扫描附件，尤其是有了高亮度的场发射电子枪，束斑缩小了，分辨串接近透射电镜的相应值时，便显出了这类型电镜的许多优点。首先是不经电磁透镜成像，因而不受像差影响。徕卡显微镜电子经过较厚的样品引起的能量损失不会形成色差而影响分辨率，所以可观察较厚的标本。徕卡显微
植物多光谱荧光成像系统UV紫外光激发多光谱成像技术
UV紫外光激发多光谱荧光成像技术：长波段UV紫外光（320nm－400nm）对植物叶片激发，可以产生具有4个特征性波峰的荧光光谱，4个波峰的波长为蓝光440nm（F440）、绿光520nm（F520）、红光690nm（F690）和远红外740nm（F740），其中F440和F520统称为BGF，
徕卡金相显微镜DM2700M安装指导
新材料显微镜徕卡DM2700M来自徕卡显微系统是理想的显微镜，各种例行检查任务，金相，地球科学，取证调查，材料质量控制和研究。它为用户提供了先进设备，zui先进的通用白光LED照明用高品质的徕卡光学镜头。超高亮度，高功率LED照明，为用户提供一个恒定色温4500K明场，暗场，干涉相衬和偏光。此外，内
徕卡175周年：徕卡品牌的发展历程，也是显微技术的发展史
2024年是徕卡显微成立第175周年。 这175年，既是徕卡品牌的发展历程，也是世界光学显微技术的发展史。 让我们共同回顾 徕卡品牌走过的百年风雨历程 感受人类在光学显微技术领域的不断开拓创新 1849 -2004年品牌早期历程 1849年 德国数学家卡尔·凯尔纳 (Carl K
半导体所研制出GaN基紫外激光器
12月14日，中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室研究员赵德刚团队研制出GaN基紫外激光器。GaN被称为第三代半导体，在光电子学和微电子学领域有广泛的应用，其中GaN基紫外激光器在紫外固化、紫外杀菌等领域有重要的应用价值，也是国际上的研究热点。GaN基紫外激光器技术难度很大，目前国际
日全盲紫外成像仪助力电网安全监测
电晕是电力安全隐患的早期重要征兆之一，严重威胁着电网输变电安全，为了改善热红像仪无法对电晕产生的微弱热量进行检测，今年，电力部门将使用日全盲紫外成像技术，助力电网迎峰度夏。进入酷夏持续的高温，城乡居民用电负荷大幅攀升，居民、商业用电需求越来越大。不仅会使电压质量受到影响，也给电网安全运行埋下
航天科工紫外成像漏电检测仪面世
记者7日从中国航天科工集团公司二院获悉，该院207所自主研发的紫外成像漏电检测仪近日正式面世并投入市场。该产品可为高压设备的运行评估和维修决策提供可靠依据。 紫外成像漏电检测技术是近年新兴的一种远距离检测高压线路、输电设备状态的新技术，它主要通过检测电力高压设备电场发射的紫外线，发现引起电场异
做到这些可减少紫外成像仪的故障发生
紫外成像仪是指电晕放电是一种局部化的放电现象， 当带电体的局部电压应力超过临界值时，会使空气游离而产生电晕放电现象。特别是高压电力设备，其常因设计、制造、安装及维护工作不良产生电晕、闪络或电弧。在放电过程中，空气中的电子不断获得和释放能量，而当电子释放能量(即放电)，便会放出紫外线。 U
基于徕卡THUNDER高对比度成像技术的转基因斑马鱼胚胎筛选应用流程
摘要 本应用报告介绍了如何利用徕卡显微系统的DM6 B显微镜平台及其集成的THUNDER高对比度成像技术，建立一套高效率、高对比度、适用于低表达蛋白检测的斑马鱼胚胎筛选流程。该技术基于徕卡的光学成像系统，可显著降低厚样本的焦外模糊，提升图像对比度。THUNDER与徕卡的SynapseTM高速触
低倍物镜
低倍物镜有相当大的前组镜片，能用缠在手指上的棉布或棉签及擦镜纸上用乙醇沾湿来擦拭。40X、100X需多加小心地用放大镜仔细检查。高倍镜中为了达到高的平坦度，应用了一个有小曲率半径凹面的前组镜头，在擦拭这组镜头时用带有棉球的牙签或棉花签清洁。擦拭镜头表面要轻。不要过度用力和有刮擦动作，并确信棉签触到镜
徕卡生物显微透射
徕卡生物显微镜电镑分辨率定义为电镜可分辨样品上两点（或两线）zui小距离。这是表示电镜性能的一个重要指标。 徕卡生物显微镜让我们先来讨论点分辨率。在散射吸收成像机制中，影响点分辨率的主要是电镜各级透镜的像差，它们使物样上的每个几何点都变成了有——定半径的像斑。由*章已知，当物样的尺寸（f）逐级放大时
徕卡：探索显微科技极限－提供生命研究新工具
分析测试百科网讯 中国细胞生物学学会2021年全国学术大会在重庆召开。来自细胞生物学相关领域的2000余位专家、学者齐聚一堂，交流学科发展，更有众多企业，带来了领域前沿的创新技术。分析测试百科网采访了徕卡生命科学应用经理方策博士，他为我们介绍了徕卡在宽场、共聚焦、纳米显微镜、光电联用等多款创新产