半导体制程污染控制，门槛为何降到20纳米
随着半导体器件的尺寸不断缩小，污染控制变得比以往任何时候都更关键。过去被认为无关紧要的颗粒，如今可能影响器件性能、工艺稳定性乃至制造良率。在污染物真正到达晶圆之前就把它检测出来，正成为维持质量与减少昂贵停产的必要条件。这也是为什么颗粒监测的门槛正在向更小的尺度推进。在这一背景下，二十纳米颗粒监测逐渐成为先进半导体制造的新基准。要理解这一点，需要先看清污染物从哪里来。在先进半导体生产中，即使极小的颗粒也能造成缺陷。这些缺陷会直接影响器件性能与良率。因此，监测的重点集中在几个最关键的位置。一是晶圆厂的环境空气。二是工艺设备内部。三是超纯水系统。四是高纯度工艺化学品。其中，液体是风险最高的一类。原因在于，工艺液体是被有意施加到晶圆表面的。在清洗、刻蚀、漂洗等关键步骤中引入的污染物，会直接作用于器件结构。相比之下，空气传播的污染物虽然同样重要，但其路径往往更容易被过滤系统拦截。因此，半导体制造商把很大精力放在整条液体输送链的污染控制上。......阅读全文
半导体制程污染控制，门槛为何降到－20－纳米
随着半导体器件的尺寸不断缩小，污染控制变得比以往任何时候都更关键。过去被认为无关紧要的颗粒，如今可能影响器件性能、工艺稳定性乃至制造良率。在污染物真正到达晶圆之前就把它检测出来，正成为维持质量与减少昂贵停产的必要条件。这也是为什么颗粒监测的门槛正在向更小的尺度推进。在这一背景下，二十纳米颗粒监测逐渐
聚光科技全面布局半导体精密检测－－－ICPMS新进展
聚光科技ICP-MS（等离子体质谱分析仪）自2020年全力推进半导体领域，近期，部分产品（科学仪器）实现集成电路制造头部企业测试，目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，
高产高纯制备半导体性单壁碳纳米管实现突破
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/4/498331.shtm具有特定导电属性的单壁碳纳米管（SWCNTs）可控制备，是未来纳米电子器件应用的迫切需求。然而，要实现半导体性单壁碳纳米管（s-SWCNTs）纯度和产率的同时提高，仍然是一个挑战。日前
完善超纯水系统，提高IC制造良率
在电子工业中，集成电路特征尺寸不断缩小，使得生产过程中超纯水的水质要求也愈来愈高。电子工厂洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一，各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同。 IC制造应关注超纯水水质 电子产品生产中纯水系统应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求，结合系统规模、材料及设备
SEMICON－China－|－谱育科技全新发布EXPEC－7350S－PLUS，助力助力半导体检测国产化
2026年3月25日，SEMICON China 2026在上海新国际博览中心开幕。本届展会以“跨界全球，心芯相连”为主题，汇集全球半导体制造领域主要设备与材料厂商，是产业链上下游技术交流与合作的重要平台之一。 展会期间，谱育科技发布了新款三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）——E
研修班第三日：直面半导体良率难题，探析检测与表征新技术路径
2026年7月20-24日，作为人力资源和社会保障部专业技术人才知识更新工程2026年高级研修项目之一的“半导体材料与器件超精密分析技术”高级研修班在上海正式开班。本次高级研修班由中国科学院人才与人事局专项资助、中国科学院上海硅酸盐研究所承办。 7月23日，研修班进入第三天。中国科学院微电子研
高纯锗(HPGe)半导体探测器的相关介绍
简介 随着锗半导体材料提纯技术的进展，已可直接用超纯锗材料制备辐射探测器。它具有工艺简单、制造周期短和可在室温下保存等优点。用超纯锗材料还便于制成X、γ射线探测器,既可做成很大灵敏体积，又有很薄的死层,可同时用来探测X和γ射线。高纯锗探测器发展很快，有逐渐取代锗。 工作原理 采用高纯度的
Sievers分析仪如何应用于微电子行业？
超纯水（UPW）生产的一致性对微电子制造至关重要，并且有助于保护产品质量。除基本的超纯水监测以外，在如何对偏离趋势的结果迅速做出反应，并进行有效的故障排查和过程控制方面，微电子工厂也面临着挑战。其他关注领域包括，确保化学品纯度以改善工艺性能和批量生产，以及监测废水和回用水。 微电子制造商在生产
RO反渗透处理过的水都是超纯水吗能饮用吗？
超纯水机就是利用多种纯化技术和终端修饰等制取得到纯度很高的水的一种仪器设备。超纯水机会利用到过滤截留、过滤吸附、反渗透技术、离子交换技术、超滤吸附、紫外氧化、TOC消解、微滤、终端修饰等，在源水水质浊度大情况下还要额外配置大容量的过滤截留器，若源水硬度大的情况下，还要加配软化和除盐器等。
实时AMC分析将改变整个半导体制造行业
导语：在先进半导体的晶圆厂中，一枚晶圆的良率可能毁于肉眼不可见的气态分子污染物。而实时AMC（气态分子污染物）分析技术的出现，正在改写整个行业对污染管控的方式。前开式统一晶圆盒（FOUP）用于在半导体各工艺步骤间传送与储存晶圆。即便严加控制，这些微环境仍会因前道工艺暴露、材料放气，以及与厂务空气的交
海普瑞完成B+轮融资，国产半导体超纯管阀领军企业
近日，常州海普瑞完成B+轮融资，此轮融资得到京东方、合肥产投、超越摩尔及某一体化存储器制造公司的大力支持。 海普瑞上一轮即B轮融资于2024年6月完成，投资方包括：晶合集成、汇成股份、盛美上海、先导集团、高信资本、武岳峰科创、新潮集团、彬复资本、全德学资本、常金控和老股东诺华资本。 海普瑞为
芯片良率守护者：半导体检测量测设备概述
一、质量控制把关良率，多种设备各司其职（一）芯片制造过程中会产生缺陷，质量控制设备把关良品率芯片制造过程中会产生颗粒、互联、静电损伤等工艺缺陷。以芯片前道制程为例， 其具体缺陷包括：空气中的分子污染或由环境引起的有机物或无机物颗粒；工艺过 程引起的划痕、裂纹和颗粒、覆盖层缺陷和应力；在从掩模到晶片的
平潭海域触礁化学品船污染得以控制
福建省海洋与渔业厅5日宣布，1日发生在平潭海坛海峡水域化学品船触礁搁浅没有出现大面积的海域污染，福建已上市水产品无安全隐忧，完全可放心食用。 1日5时10分，舟山籍化学品船“云翔58”轮于江苏泰兴驶往泉州石井途中，在平潭海坛海峡船浪礁水域触礁搁浅，船上载有丙烯酸丁酯化学品750吨。
半导体材料与器件量测和检测技术培训班：聚焦检测技术前沿与应用突破
在半导体产业蓬勃发展的当下，检测技术作为保障半导体材料与器件质量的关键环节，正不断向高精度、高灵敏度方向迈进。2025年10月27日，第二届“半导体材料与器件量测和检测技术”培训班在中国科学院上海硅酸盐研究所顺利举办。本次培训班由中国科学院上海硅酸盐研究所汪正研究员团队带领组织，吸引了近百位行业专家
新显微成像法分辨率可达20纳米
研究人员发明了膨胀显微成像技术。这是他们利用这种新技术创建的大脑海马体神经元图像。图片来源：美国麻省理工学院科技日报北京10月11日电（记者张佳欣）如果想看到高分辨率物体，例如细胞中的纳米级结构，就必须使用高功率且昂贵的超分辨率显微镜。试想，如果让物体膨胀变大，那观察可能就会变得更容易。据最新一期《
有机高纯气体
烷烃类： 甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、环丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、环氧乙烷（C2H4O）、砷烷
无机高纯气体
1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、氦气（He）、氖气（Ne）、氪气（Kr）、氙气（Xe）等； 2、氨气（NH3）、氯气（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亚氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化
四方光电尘埃粒子计数器精准监测微粒污染，助力显示面板制程良率提升
受益于下游电视、电脑、手机等消费类电子产品以及商显、车载、医疗等专显产品需求的推动，近年来中国显示面板市场规模整体呈增长态势，由2016年的2984亿元增长至2023的5694亿元，但整体增速逐步趋缓，市场竞争进一步加剧。中大尺寸市场仍由LCD技术主导，但竞争格局较为固定，需要进一步提升产品良率
助力中国芯——溶解氮在半导体机能水中的应用
高科技的殿堂里，半导体芯片无疑是那颗璀璨的明珠。然而，这颗明珠的诞生并非一蹴而就，其背后隐藏着无数精细且严苛的工艺流程。而在这众多环节中，对于水的纯净度要求更是达到了近乎苛刻的程度。因此，超纯水在半导体芯片的生产过程中扮演着至关重要的角色。为何要控制机能水中的溶解氮？超纯水是微电子行业的工艺用水，半
HORIBA全资收购MANTA－拓宽颗粒表征仪器技术
分析测试百科网讯 近日，株式会社堀场制作所 (HORIBA, Ltd.)宣布，集团旗下美国子公司HORIBA Instruments Incorporated(总部位于美国Irvine；以下称“HORIBA Instruments”)于1月24日，以全部股份收购的形式完成对MANTA Instr
超纯水机的应用行业
超纯水机应用范围涉及医院、高校科研、质检单位、化工厂、制药厂、水质监测中心、畜牧行业、自来水厂、疾控中心、种子监测站、电瓶厂、液晶屏厂、精密电路厂、无尘品生产等等。 石油化工行业：如化工反响冷却、化学药剂、化肥及精密化工、化装品制造过程用工艺纯水超纯水设备工业超纯水设备。 电子、半导
超纯水器的优点介绍
超纯水初是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。 超纯水器采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、
超纯水器的优点
超纯水最初是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。 超纯水器采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质
新型高光谱成像技术可高通量监测单纳米颗粒电化学反应
近日，南方科技大学材料科学与工程系副教授钟锦辉团队发展出一种傅里叶变换宽场电化学高光谱成像技术（FT-WEHI），并实现了对数百个单纳米颗粒电化学反应过程的原位、高通量、同步监测。两项研究成果分别发表于《高端科学仪器》和《美国化学会—纳米》杂志。电化学界面广泛存在于电催化、锂离子电池、传感等关键能源
高纯试剂的用途
高纯试剂通常应用于，例如针对色谱使用的 色谱纯试剂、针对光谱使用的 光谱纯试剂。此外，电路、液晶等领域都有各自行业标准的高纯试剂。 但是高纯试剂通常不使用在 分析纯试剂使用的领域，如配制标准溶液、滴定剂等，高纯的单质例外。
什么是高纯试剂
高纯试剂是反映化学试剂纯度高低的一个类别概念 它表示，该试剂中起干扰作用离子的相对量很少； 该试剂可以被用于一般的定量分析实验。 比如，色谱用的乙腈，是一种高纯试剂
高纯气体的概述
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高
高纯试剂的用途
高纯试剂通常应用于，例如针对色谱使用的 色谱纯试剂、针对光谱使用的 光谱纯试剂。此外，电路、液晶等领域都有各自行业标准的高纯试剂。 但是高纯试剂通常不使用在 分析纯试剂使用的领域，如配制标准溶液、滴定剂等，高纯的单质例外。
高导性碳纳米管可转换为半导体
据英国皇家化学学会网站18日报道，美国科学家开发出一种简单、可行的碳纳米管混合物的净化方式。其可借助紫外线和空气中的氧生成净化的半导性纳米管，这对发展下一代计算机芯片具有非凡价值。相关文章发表于近期的《纳米快报》网络版。 由于碳纳米管具有独特的形状和电子性能，极有希望成为未来电子元件制造的
Anatel超纯水颗粒计数器可增加高纯水传送系统效率和产量
超纯水(UPW)设施以及水清洗系统的颗粒监视和控制, 对越来越多类型的制造工业愈来愈重要. 例如,诸如平板显示器(FPD)和硬盘驱动器(HDD)部件的精密制造技术的改进要求能测出过程液体中小到0.1μm的污染物颗粒。Ana的Ultrapure-100超纯水颗粒计数器提供去离子水应用中0.1μm颗粒监