MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有10%的论文能够荣幸获得演讲机会。 该研讨会是窥视未来商业化产品的窗口。例如，早期的研讨会上出现了许多关于MEMS加速度计和陀螺仪的论文，不久这些产品就逐渐在市场上占据主导地位。固态传感器、执行器及微系统研讨会中硅基器件演讲论文的比例 麦姆斯咨询报道，在近些年的固态传感器、执行器及微系统研讨会上，出现了令硅材料从业者感到不安的趋势——关于硅材料技术的论文数量逐渐降低。在2016年6月的研讨会上，仅有53%的演讲论文是关于硅材料器件的（只要器件中包含了硅材料，无论是作为被动基底还是活性材料）。 从过去12年来的演讲主题可以清晰的看出......阅读全文
MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有1
MEMS气体传感器的设计与工艺
目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS
汽车传感器的发展趋势
未来的汽车传感器技术的发展趋势是微型化、多功能化、集成化和智能化。 20世纪末期，设计技术、材料技术，特别是Mems （微电子机械系统）技术的发展使微型传感器提高到了一个新的水平，利用微电子机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在同一芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠性
MEMS技术在海洋观测中的应用（四）
⒊ 基于MEMS的惯性传感器惯性（加速度）传感器是一种技术比较成熟，应用比较广泛的MEMS传感器，主要应用于波浪观测。目前国内外波浪测量浮标通常采用传统的加速度传感器，这些传感器体积大、重量重、价格昂贵，从而使浮标的制作成本增加。近年来，随着基于MEMS的惯性传感器的技术逐渐成熟，MEMS惯
MEMS技术在海洋观测中的应用（一）
微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1
传感器的常见类型有哪些
2020年最xin的传感器，包括用于物联网和可穿戴设备的传感器，它们将很快改变电子行业。不论是检测病人蛋白质水平的无声心脏病检测器，还是警告纠正乘员坐姿错误的椅子，这两种创新方案都是近期发明的。而传感器在电子设备中起着至关重要的作用。事实上，随着科学技术的进步，传感器的应用也在不断扩展。
基于MEMS磁传感器设计及制作（一）
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（
密度传感器特点分清楚
传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。 ●采用一体化结构，无活动
密度传感器特点分清楚
传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。 ●采用一体化结构，无活动部件维护
电容式压力传感器的特点
电容压力传感器是以硅材料为基础，采用电容原理，即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化，由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特点如下： 适合批量生产，成本低 硅电容压力传感器利用MEMS工艺制作，芯片尺寸为3mm×3mm，一个4寸硅片可制作几百个元件。产品的工艺性好，性能一致，适合批
固态激光雷达工作原理
固态激光雷达主要是依靠波的反射或接收来探测目标的特性，大多源自三维图像传感器的研究，实际源自红外焦平面成像仪，焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列，从无限远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上，探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持，通过输出缓冲和多路传输
大气压力传感器的设计与制造
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般为机械式，体积比较大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技术不仅可以解决上述缺点，还能极大地降低成本，而性能更为优异。如今基于MEMS技术得到广泛应用的压力传感器主要有压阻式和电容式两
硅基MEMS制造技术检测方法国际提案介绍
1. 提案背景MEMS是指用微电子技术和微加工技术相结合的工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。MEMS已经步入我们生活的很多方面，包括汽车电子、消费电子以及医疗等领域。例如，在消费电子领域，苹果公司颇有想象力地使用MEMS加速度计来支持iPhone显示
可控硅器件的概念
晶闸管又叫可控硅(Silicon Controlled Rectifier, SCR)。自从20世纪50年代问世以来已经发展成了一个大的家族，它的主要成员有单向晶闸管、双向晶闸管、光控晶闸管、逆导晶闸管、可关断晶闸管、快速晶闸管，等等。 可控硅器件是一种非常重要的功率器件，可用来做高电压和高电
固态电子器件的历史发展
固态电子器件是20世纪40年代发展起来的一类器件，但就其研究工作来说，可追溯到19世纪。1833年，M.法拉第最早发现硫化银的电导率随温度升高而上升，这和一般的金属导体的性质正好相反。1833年，W.史密斯发现在光照下硒的电导率会改变，这是第一次发现半导体的光电导效应。一年以后，K.F.布劳恩发
固态电子器件的未来展望
固态电子器件的理论基础是固体物理，技术基础是材料科学。30年代固体电子论的进展和40～50年代锗、硅材料工艺的进展，奠定了后半个世纪固态电子器件飞速发展的基础。Ⅲ、Ⅴ族化合物半导体材料，尤其是砷化镓材料工艺日趋成熟，新的固态电子器件随着材料质量的提高和对材料物理的深入研究而不断出现。在微波晶体管
分析仪器和传感器朝向智能化方向发展
我国分析仪器和传感器产品，已经加大力度朝向智能化、信息化、网络化方向发展，以实现更灵敏、更准确、更快速、更可靠地实时检测。 分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础，无论在工业过程控制、设施农业、生物医学、环境控制、食品安全乃至航空航天、国防工程等领域，均迫切需要各类新型传感器作为信息摄取
激光雷达的行业趋势
市场需求：L3级以上无人驾驶的必备传感器激光雷达是高精度的传感器，但是有与过于昂贵，无人驾驶业界对激光雷达的存废之争一直没有停止过。非激光雷达阵营主要是以特斯拉为代表的的传统车企，他们倾向于渐进式路线，从ADAS辅助驾驶逐渐升级过度到自动驾驶，以端到端的深度学习砍掉传统的激光雷＝雷达，激光雷大阵营主
固态激光雷达原理和工作优劣
固态激光雷达原理和工作优劣，说到雷达就是一个信息传送的装置，但是固态激光雷达就是现代可以关键的传感技术，在现在5G时代,无人机，无人驾驶的车和智慧城市都需要推动着作用，因为传感器就是他们的眼睛了，在5G的大时代一定是前途光明!小编就带大家一起了解固态激光雷达原理了。固态激光雷达是什么？固态激光雷达是
HYDAC传感器在各行业中的作用
人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官而单靠人们自身的感觉器官，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况，就需要传感器。因此可以说，传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使
高性能气敏器件宏量制作及其生化战剂检测应用获进展
近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所微纳技术与器件研究室的微纳气体传感器研究团队在高性能气敏器件的宏量制作及其生化战剂检测应用研究方面取得了新进展，相关研究成果已发表在国际期刊《化学通讯》和《科学报告》上 。 半导体氧化物电阻型薄膜气体传感器，由于其成本低廉、制作简单及使
国家863计划“6英寸SOI－MEMS标准加工技术及应用”验收
4月9日，中国电子科技集团公司第十三研究所承担的863计划先进制造技术领域项目“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。验收会由科技部高技术研究发展中心组织，来自东南大学、北京大学、北京理工大学、同济大学、中北大学、长春光机所的相关专家参加了
可穿戴汗液传感器－可进行运动中电解质离子实施监测
人体汗液中富含大量潜在的与健康和疾病相关的标志物，相比较常规的血液和尿液检测，其具有非侵入（Non-invasive）和实时连续监测等优势，因此可穿戴汗液传感器的研究成为可穿戴健康电子设备领域发展的重点之一。微型化、集成化的全固态离子选择性电极和全固态参比电极，是检测汗液中电解质离子浓度的核心传
人物专辑：葛文勋教授
2017年4月12日是葛文勋先生94岁生日（Prof. Wen H Ko），恰好4月北大张海霞教授去美国参加IEEE NEMS2017国际会议，再次拜访了葛先生夫妇，有幸看到2014年凯斯西储大学（Case Western ReserveUniversity，CWRU）校友会授予葛先生功勋奖时的
2021世界传感器大会|MEMS与智能传感器技术专场在郑召开！
11月1日，MEMS与智能传感器技术专场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了众多权威学者，他们针对智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，还有我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。会议现场照片 本次会议由中国科学技术协会、河南省人民政府作为主办单位，中国仪器仪表
显微镜下确定MEMS传感器的不精确的材料特性
不精确的材料特性 新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。 常见的检查方法/设备: 探针台（针
智能传感器技术特点及发展趋势
随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展，智能传感器的市场份额将以约36％的年均复合增长率（CAGR）增长，预计在2020年达到104.6亿美元。智能传感器由传感元件、信号调理电路、控制器（或处理器）组成，具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可提升传感器的精度，降 低 功耗和体积，实现
压电传感器原理及应用（二）
二、压电MEMS传感器1、压电MEMS喷墨打印头喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案，目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时，CAD和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。MEMS技术为之带来了“诱人”的解决方案：每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴
微型光照传感器
本产品是一款用于微弱光环境光线强度测量传感器，可安装在对传感器安装位置有限的地方，也可安装在环境湿度较大或水下测量光线强度。传感器内部采用了目前光照采集方面灵敏度最高的数字环境光强度传感器件，拥有灵敏度高，响应迅速等诸多优点。接近视觉灵敏度的光谱灵敏度特性，峰值灵敏度波长典型值:560nm，受红
2021年全球MEMS传感器市场规模将达396.9亿美元
MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。 MEMS 传感器历经四次商业化浪潮 MEMS 传感器的发展离不开MEMS 技术商业化的推动。1987 年，美国