硅基MEMS制造技术检测方法国际提案介绍
1. 提案背景MEMS是指用微电子技术和微加工技术相结合的工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。MEMS已经步入我们生活的很多方面,包括汽车电子、消费电子以及医疗等领域。例如,在消费电子领域,苹果公司颇有想象力地使用MEMS加速度计来支持iPhone显示器横向与纵向画面的自动切换,取得了巨大的成功,从而刺激了智能手机用于探测运动的MEMS传感器应用的激增。我国在MEMS的设计和制造领域也取得了长足的发展。北京大学、清华大学、上海微系统所、中电13所、中电49所、中电55所、东南大学和上海交通大学等单位的研究在国内乃至国际均处于领先水平。本文所介绍的《硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法》正是基于北京大学的科研成果而提出的一项国际标准提案。2. 国际标准提案介绍2.1 概述MEMS研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面:(1) 理论基础在当前MEMS所能达到的尺度下,宏观......阅读全文
硅基MEMS制造技术检测方法国际提案介绍
1. 提案背景MEMS是指用微电子技术和微加工技术相结合的工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。MEMS已经步入我们生活的很多方面,包括汽车电子、消费电子以及医疗等领域。例如,在消费电子领域,苹果公司颇有想象力地使用MEMS加速度计来支持iPhone显示
“神奇材料”石墨烯“联姻”硅基技术
据物理学家组织网7月10日(北京时间)报道,奥地利、德国和俄罗斯的科学家们合作研发出一种新方法,可以很好地让“神奇材料”石墨烯同现有占主流的硅基技术“联姻”,制造出在半导体设备等领域广泛运用的石墨烯-硅化物。相关研究发表在英国自然集团旗下的《科学报告》杂志上。 石墨烯是从石墨材料中剥离出来
MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来,“固态传感器、执行器及微系统研讨会”(The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop)一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一,众多提交的参会文摘中,只有1
直播预告|中国科学院上海微系统所研究员李铁报告
直播时间:2024年8月9日(周五)20:00-21:30直播平台:科学网APPhttps://weibo.com/l/wblive/p/show/1022:2321325065465381912667(科学网微博直播间链接)科学网微博科学网视频号北京时间2024年8月9日晚八点,iCANX Tal
MEMS激光扫描投影技术
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术,一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能,而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年,微机电系统(MEM
助力核心芯片发展!集成微系统封装平台今日苏州揭牌
5月11日,由江苏省纳米技术产业创新中心与中科院苏州纳米所纳米加工平台共建的集成微系统封装平台(MSPC, Micro System and Packaging Centre)揭牌仪式在苏州国际博览中心举行,第四届MEMS创新技术应用对接会暨中国半导体行业协会MEMS分会市场年会与揭牌仪式同期召
MEMS气体传感器的设计与工艺
目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测,该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点,MEMS技术为解决MOS
坐标上海,事业编!“双一流”高校招聘近百人
上海大学微电子学院成立于2019年11月,坐落于上海大学嘉定校区,为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、集成电路全产业链创新企业共建,积极探索新机制,集聚社会优质资源,打造国际领先的集成电路泛摩尔人才培养高地。微电子学院前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业,历经60年发
硅基动感血糖仪日常检测血糖方便吗
方便啊,我是怀孕期间血糖偏高用的这款血糖仪,那段时间的控糖效果挺理想的。因为自己特别怕疼,使用指血血糖仪每天测量餐前、餐后血糖,真是扎怕了。后来听说硅基动感血糖仪不用扎手指就能测血糖߅赶紧体验了一下,没想到各个方面都很符合我的需求。把传感器戴在胳膊上,每五分钟生成的血糖数据就会传到手机上,还能分享给
什么是硅基负极材料?
更高的正极比容量、更高的负极比容量和更高的电池电压(以及更少的辅助组元),是高能量密度电池的理论实现路径。正极材料的比容量相对更低,性能提升对电池(单体)作用显著;负极比容量提升对于电池能量密度提升仍有相当程度作用。硅材料的理论比容量远高于(约10倍)已逼近性能极限的石墨,有望成为高能量密度锂电池的
2024MEMS传感器展会|2024上海国际MEMS传感器应用技术展览会「官网」
2024中国(上海)国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间:2024年11月18日-20日 地点:上海新国际博览中心联系人:李主任 手 机:136
硅基智能创始人司马华鹏:从碳基到硅基,文明交替的奇点已至
硅基智能创始人司马华鹏认为,随着AI技术的快速发展,我们正处在从碳基文明向硅基文明转变的关键时期。这一转变不仅标志着技术的迭代,更意味着生命深层的进化。在AI时代,算力、电力和财力成为了新的生产资料,而传统的食物、能源和土地已不再是关键。司马华鹏将“硅基”概念类比为漫威作品中的振金,认为它将在能源、
钛MEMS技术在药物输送和微流控领域的应用
据麦姆斯咨询报道,近年来,受益于MEMS技术,传感器和执行器小型化的同时,性能、功能和灵敏度也得到增强;加上低成本、个性化医疗应用潜力,MEMS器件在医疗和生物领域的应用快速增长。不过,由于硅等主要微机械材料固有的脆性特性,使得传统MEMS器件在临床医学中的实用性受到限制,因为它们会带来安全
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会时间:2024年11月1-3日 地点:厦门国际会展中心XISE EXPO展会介绍:2024中国(厦门)国际传感器与应用技术展览会将于2024年11月1-3日在厦门国际会展中心举行,本届展会秉承着"创造客户价值与引领产业发展"的宗旨,强化以"采购
硅基负极材料的性能特点
更高的正极比容量、更高的负极比容量和更高的电池电压(以及更少的辅助组元),是高能量密度电池的理论实现路径。正极材料的比容量相对更低,性能提升对电池(单体)作用显著;负极比容量提升对于电池能量密度提升仍有相当程度作用。硅材料的理论比容量远高于(约10倍)已逼近性能极限的石墨,有望成为高能量密度锂电池的
美国研究团队开发出硅基芯片上光通信技术
美国麻省理工学院发布消息称,该校一个研究团队开发出一种新材料,可集成在硅基芯片上进行光通信,从而比导线信号传输具有更高的速度和更低的能耗。该成果发布在最新出版的《自然·纳米技术》期刊上。 这种新材料为二碲化钼,是近年来引人关注的二维过渡金属硫化物的一种。这种超薄结构的半导体可以集成在硅基芯片
“掺硅补锂”电池技术介绍
从定义来说,此次智已汽车推出的“掺硅补锂”技术与蔚来固态电池所用的“无机预锂化碳硅负极”并无本质上的差异,其实质均为提高负极中硅的含量,同时增加锂的含量,来弥补因硅含量提升而导致的电池在充放电过程中锂损耗的提高。关于“掺硅”方面,实际上是在负极材料当中加入硅元素。原因在于,制约动力电池能量密度的已不
日本制造出超级硅薄膜
资料图片 日本北陆尖端科学技术大学院大学日前宣布,其研究小组开发出能制作大面积硅薄膜“silicene”的技术。这种只有一个原子厚的薄膜,具备半导体的性质,有望用于制造高速电子线路等。研究小组在2厘米长、1厘米宽的硅基板表面,覆盖上陶瓷薄膜,然后在特殊真空装置中将其加热到900摄
应用于射频的集成无源器件硅基转接板技术
摘要 展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和 TSV 等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS 、 MMIC 及 MEMS 多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在 40 GH
国内权威!第十届中国国际MEMS技术及应用展10月苏州举办
2018第十届中国国际MEMS技术及应用展(CHINA MEMS 2018)将于10月24-26日在苏州工业园区与第九届中国纳博会同期举办。作为国内最权威、最专业、知名度最高的MEMS展览会,即将走过十年之路的CHINA MEMS 2018成为本届纳博会备受关注的亮点。 据了解,CHINA M
ISO首次通过中国玩具增塑剂国际标准提案
2010年1月,ISO国际标准化组织玩具标准技术委员会(ISO/TC181)正式批准通过技术中心玩具室提出的玩具增塑剂国际标准提案,并设立第五工作组(WG5)-玩具增塑剂工作组,由中国担任组长单位、负责指派组长并牵头以中国标准为草案制定相应国际标准。这在ISO历史上是首次由中国提案并负责起草的重
上海无线通信研究中心技术提案被国际电联(ITU)接受
上海无线通信研究中心派代表参加了5月9日至5月21日于瑞士日内瓦举行的ITU-R SG5 WP5A第五工作组会议,做为中国代表团的主要技术发言人之一,上海无线通信研究中心代表积极推进认知无线电方面的技术提案,为争取我国在2012年即将召开的世界无线电大会(WRC’12)上处于有利态
首支硅衬底氮化镓基激光器问世可大幅降低器件制造成本
中科院苏州纳米技术与纳米仿生所研究员杨辉团队在硅上研制出第三代半导体氮化镓基激光器,这也是世界上第一支可以在室温下连续工作的硅衬底氮化镓基激光器。相关研究成果近日刊登在《自然—光子学》。 随着半导体科技的高速发展,科技工作者发现基于传统技术路线来进行芯片与系统之间的数据通信越来越难以满足更快的
从原子水平检测硅材料的技术出炉
有望研发出新型硅结构材料 据美国物理学家组织网报道,美北卡罗莱纳州立大学科学家们研究出一种先进的方法,能从原子尺度分析出硅材料里的组合成分。这种技术增进了人们对原子结合形式的理解和控制,有望改善硅材料的结构性能,开发高效微晶片和新型设备。相关研究发表在美国《国家科学院院刊》(PNAS)网
我国实木地板国际标准提案可望通过国际标准立项
8月2日在京召开的国际标准化组织(ISO)木材技术委员会第六届木材标准化科学与实践国际会议,就最新的国际木材标准化科学与实践工作进行交流。同时召开的ISO木材技术委员会第九届年会,提出国际标准立项建议和确定相关国际标准立项,并讨论已立项的国际标准内容。其中,已被ISO木材技术委员会批准
怎样检测硅铁的硅含量
检测硅铁的硅含量最简单的方法是:重量法测定硅铁中硅含量。在重量法测定硅含量中,又具体分为三种方法,即:1、 高氯酸脱水重量法测定硅量;2、 盐酸脱水重量法测定硅量;3、 挥硅减量重量法。硅铁的硅含量的测定方法有多种。用以测定硅铁合金中硅测定的化学分析方法主要有重量法和氟硅酸钾容量法。现代仪器分析中,
传感器的常见类型有哪些
2020年最xin的传感器,包括用于物联网和可穿戴设备的传感器,它们将很快改变电子行业。不论是检测病人蛋白质水平的无声心脏病检测器,还是警告纠正乘员坐姿错误的椅子,这两种创新方案都是近期发明的。而传感器在电子设备中起着至关重要的作用。事实上,随着科学技术的进步,传感器的应用也在不断扩展。
新款晶圆问世|硅基化合物光电集成技术大突破
据中国光谷消息,全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆,单片集成光电收发功能,为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。近年来,由于5G通信、大数据、人工智能等行业的强力驱动,光子集成技术得到极大关注。公开资料显示,光子集成的概念类可
硅基电池技术突破:电动汽车续航1000公里不再梦想
【前沿科技观察】目前,电动汽车的单次充电续航里程已经达到约700公里,科研人员的追求目标是将电池的续航里程提高至1000公里。为实现这一目标,研究人员正在研究将高储能容量的硅应用于电动汽车锂离子电池的阳极材料。尽管硅具备巨大潜力,但科研人员仍在努力解决将其应用于实际情境的难题。在这方面,浦项科技大学
MEMS振荡器的介绍
MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器。中文名 MEMS振荡器 外文名 MEMS oscillator介绍MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器,属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代,防震效果是前者的25倍,具有不受振动影响