沈阳科仪首台国产12吋PECVD样机出厂测试

10月21日,“国家02重大科技专项首台国产12吋PECVD样机出厂仪式”在中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司子公司——沈阳拓荆科技有限公司举行,沈阳市人大常委会主任赵长义、副市长王玲、杨亚洲,国家02重大专项专家组责任专家张卫,中芯国际资深经理康劲,以及辽宁省科技厅、发改委、外专局、沈阳市科技局、发改委、经信委、外专局、浑南新区的相关领导出席仪式。沈阳科仪、沈阳拓荆科技董事长雷震霖出席并致辞。 沈阳科仪于2007年引入半导体设备制造行业资深技术专家姜谦博士,并成立PECVD(等离子体增强化学气相沉积)事业部,以6吋PECVD国产化为切入点,攻关PECVD技术及装备。2008年,以沈阳科仪为项目责任单位的“90-65nm等离子体增强化学气相沉积设备研制与应用”项目被列为国家02重大科技专项首批启动的项目之一,也是目前为止辽宁省最大的02专项项目。为落实该项目《任务合同书》中明确的“改革机制体制,建立专业化企业进行产......阅读全文

沈阳科仪首台国产12吋PECVD样机出厂测试

  10月21日,“国家02重大科技专项首台国产12吋PECVD样机出厂仪式”在中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司子公司——沈阳拓荆科技有限公司举行,沈阳市人大常委会主任赵长义、副市长王玲、杨亚洲,国家02重大专项专家组责任专家张卫,中芯国际资深经理康劲,以及辽宁省科技厅、发改委、外专局、沈阳市

沈阳科仪首台国产12吋PECVD样机出厂测试

  10月21日,“国家02重大科技专项首台国产12吋PECVD样机出厂仪式”在中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司子公司——沈阳拓荆科技有限公司举行,沈阳市人大常委会主任赵长义、副市长王玲、杨亚洲,国家02重大专项专家组责任专家张卫,中芯国际资深经理康劲,以及辽宁省科技厅、发改委、外专局、沈阳市

沈阳市人大副主任率团视察沈阳科仪公司

  12月6日,沈阳市人大副主任徐璐率省、市人大代表视察团,在沈阳市副市长王玲、市政府副秘书长陈小平、浑南新区管委会副主任林海波、沈阳市科技局局长宋锡坤等领导的陪同下,一行40余人参观视察中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司。   来访领导了解了公司概况和产品情况,并参观了罗茨干泵、光

PECVD工作原理

PECVD--等离子体化学气相沉积法  为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).  实验机理:  辉光放电等离子体中:电子密度高(109~1012/cm3)  电子气温度比普通气体分子温度高出10-100倍  虽环

沈阳科仪公司召开转制十年庆典大会

庆典大会现场  2001年4月18日,中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司领取了新的企业法人工商营业执照,实现了由科研事业单位向有限责任公司的历史性转变。今年4月19日,沈阳科仪召开转制十年庆典大会。公司董事长雷震霖、党政班子、离退休代表和全体在职员工出席。  雷震霖在会上作了“回

PECVD等离子化学气象沉积原理

pecvd等离子体增强化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜.

磨样机-制样机-粉碎机

、简述: 密封式化验制样粉碎机,于粉碎研磨具有一定硬度的非金属矿物质,在2-6分钟内迅速将物料制成80-200目微粉状的试样,直接用于化验。该设备分A型机和B型机。A型机可选配电子定时器,B型机内置电子定时器并采用升级材料制造。    二、工作原理: 物料放入全密封的料钵内,料钵内有破碎锤和破碎环,

沈阳科仪获“国家火炬计划重点高新技术企业”称号

  近日,中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司获选“国家火炬计划重点高新技术企业”,并获科技部火炬高技术产业开发中心颁发的证书。   获得此项荣誉既是对沈阳科仪过去自主创新工作的认可,更是对公司进一步面向国家战略、面向行业、面向市场开拓创新的激励。   “国家火炬计划重点高新技术

氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用

  真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。  真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(

沈阳科仪公司召开2011年度计划工作暨战略复盘会

  2月19日至20日,沈阳科仪公司2011年度计划工作暨战略复盘会在沈阳棋盘山国际会议中心召开。公司雷震霖董事长、全体经营班子成员、党委成员、中层干部和各部门助理共同参会。   总经理李昌龙首先对2011年公司重点工作进行了部署,各部门负责人简要总结了2010年的工作,重点结合公司

北京半导体元老即将登陆科创板

12月7日,北京燕东微电子股份有限公司(简称“燕东微”)启动网上申购,即将叩开科创板的大门。深耕行业35年,燕东微称得上半导体行业里的“元老级”企业,此次IPO(即首次公开募股)拟募资40亿元。借力资本市场,老企业将驶入发展快车道。未来十年,中国半导体行业有望迎来进口替代与成长的黄金时期。老牌企业3

沈阳科仪“30MW平板式太阳能电池覆膜系统”通过验收

  12月20日,沈阳市浑南新区科技局在中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司组织召开了浑南新区科技计划项目——“30MW平板式太阳能电池覆膜系统”项目验收会。   验收组听取了沈阳科仪副总经理张振厚所作的项目工作总结报告,审阅了资金使用报告及有关资料,考察了项目现场。验收组高度肯定了沈阳科仪在自

沈阳芯源首发登陆科创板-中科院迎首家科创板上市公司

   日前,沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称沈阳芯源)在上海证券交易所科创板首发上市,成为中国科学院第一家登陆科创板的院所投资企业,也是辽宁省科创板第一股。  “如今,市场上最新款的手机芯片,都有我们沈阳芯源生产设备的贡献,包括前置摄像头、指纹识别器件等。这些产品背后是技术多年的积淀。”沈阳

什么是制样机

制样机广泛应用于塑料、有机玻璃、玻璃钢、碳纤维等非金属材料的各种试验用标准样条的制备。工作过程中,使用者可以根据生产要求,通过对制样机机口进行调整,生产符合需求的制样产品。

制样机的分类

  由于制样形状的不同一般有三种不同的设备:  1.哑铃形制样机适用于非金属拉伸试验中哑铃型试件的 制备,可制备各种尺寸的哑铃状试样。此机器制样效率高,所制出的试样尺寸准确,并配有切削碎屑吸收装置,有利于环境卫生。  2.万能制样机用于加工塑料、有机玻璃等非金属材料的冲击、拉伸、压缩及热性能等试验用

什么是熔样机

  熔样机是采用玻璃熔融法制备玻璃熔片,用AAS、ICP、X-荧光分析的样品制备仪器,基本消除了矿物效应和基体的增强吸收效应,测量的精密度高、准确度好;高温熔融所采用的加热方式有:燃气加热、电阻辐射加热和高频感应加热三种方式。  典型样品类型包括氧化物、硫化物、硅酸盐如采矿矿石、冶金矿石、精矿等。也

沈阳自动化所与中航能科公司签署合作协议

  9月15日,中国科学院沈阳自动化研究所与中航能科(上海)能源科技有限公司在上海签署了《关于联合研发、推广无人海洋系统及海底电缆与油气管线巡检双方合作协议》和《出口合作协议》。海洋信息技术装备中心主任郑荣代表研究所在协议上签字。  中航能科(上海)能源科技有限公司是中航集团的合资子公司,主要业务领

半导体参数仪

  半导体参数仪是一种用于物理学领域的科学仪器,于2015年9月17日启用。  4200-SCS/F半导体特性分析系统主机,2个高分辨率中功率SMU 最大电流100mA,最大电压200V,最大功率2W 4200-SMU高分辨率中功率SMU(源测量单元) 最大电流100mA;最大电压200V;最大功能

低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究

采用俄歇电子能谱 ( AES)和傅里叶红外光谱 ( FTIR)分析低温 PECVD法形成纳米级 Si Ox Ny 介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系 ,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。研究结果表明 :该介质膜中氮、氧等元素均匀分布 ,界面处元素含量变化激烈 ;高、低反应气压变化对膜内

氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用

    真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉), 掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。    半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备

纳米压痕仪的介绍

  纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,

纳米压痕仪仪器介绍

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,保护

瑞士CSM纳米划痕仪

纳米划痕测试仪(10uN - 1N) 可以测试薄膜和基底的临界附着力,划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化,以及用于纳米磨损测试。瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度,适用的薄膜厚度一般低于800纳

瑞士CSM纳米划痕仪

纳米划痕测试仪(10uN - 1N) 可以测试薄膜和基底的临界附着力,划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化,以及用于纳米磨损测试。瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度,适用的薄膜厚度一般低于800纳

熔样机的相关介绍

  熔样机是采用玻璃熔融法制备玻璃熔片,用AAS、ICP、X-荧光分析的样品制备仪器,基本消除了矿物效应和基体的增强吸收效应,测量的精密度高、准确度好;高温熔融所采用的加热方式有:燃气加热、电阻辐射加热和高频感应加热三种方式。  典型样品类型包括氧化物、硫化物、硅酸盐如采矿矿石、冶金矿石、精矿等。也

高频感应熔样机简介

  高频感应熔样机是x射线荧光光谱仪制样专用设备,采用高频感应加热,效率高、速度快、无需预热、即开即用,自动化程度高、操作简单、制样速度快、分析精度高、使用成本第,符合提倡的节能、降耗、减排的环保要求,是未来应提倡的一种加热方式,但由于设备本身造价较高,在中小企业应用受到限制。

SXRNA-哑铃制样机

SXRN-A 哑铃制样机厂家:绍兴市容纳测控技术有限公司一、产品介绍:  该机是用于冲载拉伸试片及非金材料软片薄膜试验用样条的,简易方便,可根据要求配用刀具,其工作原理是通过旋转手轮,使压头向下运动,压头压迫成型刀具(专用刀具),即可方便迅速精确地得到试验用样条。二、技术参数:1、压头行程:25mm

燃气熔样机的说明

  说明:  燃气熔样机是x射线荧光光谱仪制样专用设备,使用的高温可燃气体主要有天然气、丙烷、乙炔等,可加热温度高,但由于这些气体属易燃易爆危险品,存在燃、爆等安全隐患和更换、点燃等繁琐操作,燃气的内、外焰也存在着一定的温差,熔样的温度不易控制。  

EXFEL波荡器样机启运

EXFEL波荡器样机启运  2月16日上午9点,由中科院高能物理研究所承担研制的科技部“973”重点科研项目——EXFEL超长高性能U48波荡器样机运往德国启动仪式,在高能所高精度恒温恒湿磁测实验室举行。陈森玉院士、党委书记王焕玉、相关部门负责人及项目组人员出席了启运仪式。   EX

万能制样机

万能制样机主要用途主要用于塑料、有机玻璃、玻璃钢、碳纤维等非金属材料的各种试验用标准样条的制备。所制备的试验用试样完全符合GB/T1043、GB/T1040、GB/T1843、ISO8004.2等国家标准和国际标准。能自动进行铣哑铃型、铣缺口、铣曲线、切断和铣平面。