钛MEMS技术在药物输送和微流控领域的应用
据麦姆斯咨询报道，近年来，受益于MEMS技术，传感器和执行器小型化的同时，性能、功能和灵敏度也得到增强；加上低成本、个性化医疗应用潜力，MEMS器件在医疗和生物领域的应用快速增长。不过，由于硅等主要微机械材料固有的脆性特性，使得传统MEMS器件在临床医学中的实用性受到限制，因为它们会带来安全性和可靠性的担忧，并有可能引发灾难性的医疗事故。钛（Titanium，Ti）金属的生物相容性和高断裂韧性已经得到证实，因而钛微加工技术的最新进展，为打造安全性和性能增强的MEMS器件创造了可能。据麦姆斯咨询报道，在此背景下，UNIVERSITY OF CALIFORNIA RIVERSIDE（加州大学河滨分校）的研究人员探索了两种方式推进钛MEMS技术在药物输送和微流控领域的应用：（1）通过开发钛基微针（MN），探寻更安全、更简单、更有效的眼部药物输送方式；（2）通过钛阳极键合工艺的改进，用于实现未来光催化应用的坚固的微流控器......阅读全文
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
压电MEMS超声波换能器设计（二）
当微控制器设置SR锁存器时，飞行时间（ToF）功能启动，SR锁存器开始在采样保持积分器上累积电荷。同时，微控制器按PMUT设计的谐振频率产生一系列脉冲（122kHz）。因为核心电源电压为2.5V，而根据PMUT的要求必须升高至32V，所以使用电荷泵DC-DC转换器和数字电平转换器将脉冲放大至
流量传感器的应用领域有哪些
方向和流体流速传感器对于不同的工业，医疗和环境应用至关重要。流量传感器可在诸如密度测量，粘度测量，流型确定和壁切应力确定等应用中量化气体和液体流动的方向和速率。除了流量参数对方向，温度，速度和速率等感应范围的重要要求外，要检测的各种目标液体或气体的特性也构成了设计精que，低功耗和廉价传感器的障
新技术实现大面积制备钙钛矿LED
中国科学技术大学教授肖正国研究组近期使用基于气刀辅助的刮涂法，制备出大面积、高效率的钙钛矿LED，向商业应用迈出重要一步。相关成果日前发表于《自然—通讯》。 作为新一代LED器件，金属卤化物钙钛矿LED具有色域广、易于制备等优势。2014年，学界首次报道了室温下发光的钙钛矿LED，其外量子效率（
空气环境中制备钙钛矿电池技术获突破
记者2月28日从中国科学技术大学获悉，该校徐集贤团队揭示了空气环境中制备钙钛矿的退化机理和全过程稳定剂设计原则，实现了常规空气环境中（25℃至30℃，相对湿度30%-50%）一步法制备高效p-i-n反式钙钛矿电池的突破。相关成果2月26日发表于学术期刊《自然-能源》。 此前，徐集贤团队率先创造
钛酸锂电池的技术优势和缺点
优点采用电动车辆取代燃油车辆是解决城市环境污染的最佳选择，其中锂离子动力电池引起了研究者的广泛关注.为了满足电动车辆对车载型离子动力电池的要求，研制安全性高、倍率性能好且长寿命的负极材料是其热点和难点。商业化的锂离子电池负极主要采用碳材料，但以碳做负极的锂电池在应用上仍存在一些弊端：1、过充电时易析
钛酸锂电池负极材料的技术优势
1、钛酸锂电池负极材料具有体积小、重量轻、能量密度高、密封性能好、无泄露、无记忆效应、自放电率低、充放电迅速、循环寿命超长、工作环境温度范围宽、安全稳定绿色环保等特点，所以在通信电源领域具有非常广泛的应用前景。2、钛酸锂电池在高温、低温环境中均可以达到安全使用，银隆钛酸锂电池材料寿命可达30年，与汽
柔性钙钛矿太阳能电池技术介绍
关于理想的光伏器件，其应当具有光电转换效率高、制造成本低、质量轻、寿命长等特点。以有机铅卤化物钙钛矿作为光吸收材料的太阳能电池，虽然具有较高的能量转换效率（约20%），且可以通过低成本、操作简单的溶液法制备获得，但由于其在自然环境下的持续工作稳定性较差，使其距离大规模商业化生产尚有一定距离。此外，随
“钛白清洁生产技术与示范”项目通过验收和技术鉴定
1月16日，由中国科学院过程工程研究所、山东东佳集团股份有限公司合作完成的“钛白清洁生产技术与示范”项目，通过了中国科学院组织的院知识创新工程重要方向项目验收和工艺鉴定。验收/鉴定委员会由北京有色金属研究院张国成院士任组长，北京矿业研究总院邱定蕃院士任副组长，其他人员分别由来自国家自然
物联网与MEMS应用论坛在上海召开
第四届微米纳米技术创新与产业化国际研讨展览会暨物联网与MEMS应用论坛在上海召开 11月23至24日，由国家发展和改革委员会、科技部、高技术研究发展项目（863项目）、国家自然科学基金委、中国仪器仪表学会暨微纳器件与系统技术分会、上海物联网中心共同主办, 中国科学院上海微系统与信息
后疫情时代，中国MEMS企业如何破局？
后疫情时代，中国MEMS企业如何破局？且看中国MEMS制造大会！ 2022年，珠三角、长三角、京津冀地区半导体产业接连受新冠疫情影响，带来汽车电子、消费电子类芯片产能极度紧缺，可谓“一芯难求”，同时也给国内半导体、MEMS领域中小企业的生存带来极大的挑战。既是挑战，亦是机遇，如何在后疫情
20点直播︱遇见MEMS领域大牛Mark教授
直播时间：11月11日（周四）20:00直播地址：科学网新浪微博直播间 扫码进入科学网新浪微博直播间观看直播 科学网微信视频号将同步直播 2021年11月11日（周四）晚8点（北京时间），大家期待已久的iCANX Story第23期即将重磅来袭，本期做客《大师故事》的嘉宾是微机电系统ME
MEMS气体传感器的设计与工艺
目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS
微谱科技WESPEC－——聚焦工业MEMS质谱技术，开启国产质谱2.0时代
2025年5月16日，微谱科技WESPEC TECH.开业盛典暨新品发布会璀璨启幕，各界嘉宾欢聚一堂共同见证了微谱科技万里长征上迈出的第一步。 微谱科技（湖州）有限公司WESPEC TECHNOLOGIES CO., LTD.是中国乃至全球第一家依托MEMS质谱技术发展各类质谱仪器的工业质谱制
钛铁中钛元素ICPAES分析方法
研究应用ICP-AES 分析技术测定钛铁中钛元素的方法。考察了铁基体及共存元素对被测元素分析谱线干扰情况，考察了基体及共存元素对被测元素的影响，确定了分析谱线，并对ICP 工作参数进行了优化选择，精密度和准确度实验表明，方法的相对标准偏差小于5%，回收率为99%～102%之间。采用本方法对标准样品进
“钛白清洁生产技术与示范”项目通过现场考核
8月26日，中科院高技术局组织专家在山东省淄博市对中国科学院知识创新工程重要方向项目“钛白清洁生产技术与示范”进行了现场考核，该项目由过程工程研究所齐涛研究员负责。专家组由北京科技大学郭占成教授、中国无机盐工业协会曾亚嫔副秘书长和攀枝花钢铁研究院胡鸿飞副院长组成，郭占成教授担任专家
我国学者攻克纯红光钙钛矿LED技术难题
2月20日，《自然》（Nature）在线发表南开大学化学学院教授袁明鉴、中国科学院院士陈军、研究员章炜领衔的科研团队在新型钙钛矿超高清显示技术领域的最新研究进展。该项研究中，研究团队针对新型钙钛矿超高清显示技术中纯红光三碘化铅铯（CsPbI?）钙钛矿量子点材料相稳定性差这一世界难题，率先提出“外延异
青岛成立首个钙钛矿光伏技术创新中心
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2024/1/516987.shtm1月27日，山东省首个钙钛矿光伏技术创新中心在中国科学院青岛生物能源与过程研究所成立。该中心定位于聚焦钙钛矿太阳能电池关键材料、技术、装备、工艺等产业化瓶颈问题，建设钙钛矿太阳能通用技
研究人员制备成功RF－MEMS振荡器
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。 基于微纳谐振器的MEMS振荡器，具有高频、高品质因子(>103)，可与IC电路在同一芯片集成，实现系统小型化，在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。
MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有1
重庆研发出全球顶级MEMS传感器芯片
近日，记者从两江新区获悉，重庆企业研发出全球顶级MEMS(微机电系统)传感器芯片，这种芯片将用于监测桥梁、隧道等市政设施，监测精度比传统监测方式提升10倍。 据介绍，重庆德尔森传感器技术有限公司是落户两江新区的一家科技企业，2015年，该公司开发出MD系列MEMS传感器芯片。该芯片采用了多项创
MEMS传感器：无人机的核心（一）
无人机的市场规模和范围持续蓬勃发展，新应用程序不断涌现。无人机的应用也越来越普遍，无论是运送邮件还是包裹、为儿童和老年人提供娱乐、安全监控、农业或工业管理，或开辟航空摄影的新视野。最初，大多数无人机都是相对简单的玩具。然而最近，其飞行能力显著提高，使其更安全、更稳定、更易于控制，从而能够用于更广泛的
基于MEMS磁传感器设计及制作（一）
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（
MEMS加速度传感器的工作原理
什么是MEMS加速度计？加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。MEMS（MICro EleCTRo Mechanical Systems）加速度计就是使用MEMS技术制造的加
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年 木秀于林惹风摧，华发渐生美人追。沙场追逐国战忙，残躯扬威我辈当。中国制造赴疆场，美中不足一身伤。暴风雨过连天阔，中华有为震四方。 前段时间，美总统及政府宣布了一系列针对华为的制裁措施，包括签下行政令禁止美国企业购买“外国对手”提供的电信设备和服务，将华为公司
尺寸/成本优势兼具，MEMS光谱传感器亮相
微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫
环境监测：MEMS传感器发展新趋势
物联网的崛起，使传感器进入了一个新的发展趋势。而消费者逐步对周边环境品质要求上升时，也带动了环境传感器的需求上涨。 在智慧型手机以及穿戴式装置应用中，陀螺仪、加速度传感器和磁力计等动作传感器已发展成熟。制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一
基于MEMS磁传感器设计及制作（二）
Langfelder等制备了具有电容读出的MEMS磁场传感器，该传感器可检测与谐振结构表面垂直方向（z轴） 的磁场。它由一组固定定子和两根细梁悬挂的梭子组成，形成2个差分平行板敏感电容器C1和C2，见图4。具有传感器共振频率的梁，在通有电流时与磁场相互作用，从而使2个细梁受到洛伦兹力作用。这个力