清华大学历经10年,光刻机领域《自然》发文

在芯片制造业中,光刻机是必不可少的精密设备——每颗芯片诞生之初,都要经过光刻技术的锻造。也正因为此,与之相关的突破性研究成果备受关注。 2月25日,清华大学的一项科研成果刊登在《自然》上,引起了国内外学术界及产业界的高度关注。《自然》评阅人认为其“展示了一种新的方法论”,“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。 这篇题为《稳态微聚束原理的实验演示》的论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB)的首个原理验证实验。由清华大学工程物理系唐传祥教授研究组和亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心、德国联邦物理技术研究院合作完成。SSMB原理验证实验示意图(图片来源:《自然》) 《自然》相关评论文章写到“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV(极紫外光源)光刻和角分辨光电子能谱学等领域。” ......阅读全文

工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

 一、光刻机冷却系统冷水机的使用注意事项:  1)光刻机冷却系统冷水机组的正常开、停机须严格按照光刻机冷却系统冷水机厂家提供的操作说明书的步聚进行操作。  2)机组在运行过程中,应及时、正确地做好参数的记录工作,如出现报警停机,应及时通知相关人员对机组进行检查,如无法排除故障,可以直接与光刻机冷却系

光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

 光刻机用低温冷水机组操作者可对设备运行过程中的相关故障以及解决办法做一定的了解,以便更好的使用光刻机用低温冷水机组,那么其故障原因是怎么样的呢?  1、制冷剂泄漏:  系统中制冷剂泄漏后制冷量不足,吸、排气压力低,蒸发器不挂霜或挂角少量的浮霜,若调大膨胀阀孔,吸气压力仍无大变化,停机后系统内平衡压

光刻机是干什么用的,工作原理是什么

一、用途光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。二、工

新型光刻机加紧研制,未来芯片技术或将迎来变革

据悉,全球最先进的光刻机厂商ASML正在开发一款新版本的EUV光刻机,研制成功后它将是世界上最先进的芯片制造设备。该光刻机名为High NA,目前第一台机器正在研发之中,预计摇到2023年才会提供先行体验,可以让芯片制造商更快地学习如何使用。客户可以在 2024 年和 2025 年将以此进行自己的研

光刻机是干什么用的,工作原理是什么

一、用途光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。二、工

清华大学成立量子信息班

5月24日,清华大学量子信息班正式成立,由图灵奖得主、中国科学院院士姚期智担任首席教授。这是该校首个量子信息方向的本科人才培养项目,也是继计算机科学实验班、人工智能班之后,姚期智创办的第三个拔尖创新人才培养项目。 在致辞中姚期智表示,成立量子信息班的目的一方面是由于量子信息科技的发展到全新阶段,

院士领衔!清华大学再出大动作

5月24日,清华大学量子信息班正式成立,图灵奖得主、中国科学院院士姚期智担任首席教授。据悉,这是清华大学首个量子信息方向的本科人才培养项目,也是继计算机科学实验班、人工智能班之后,姚期智在清华创办的第三个拔尖创新人才培养项目。量子信息班将于2021年启动招生,首批计划招收20人,主要面向2021年参

曙光再获捷报-中标清华大学项目

  近日,在国内高等学府清华大学医学部的高性能计算系统项目招标中,中国国产服务器第一品牌曙光公司再传捷报,经过用户的测试比较,曙光解决方案在spider(扫描电镜后处理软件)上面运行的成绩明显优于竞争对手,届时曙光5000高性能计算系统平台将全面运用于清华大学医学部。   据了解,扫描电镜是生命科

清华大学生科院PNAS文章

  来自清华大学生命科学学院,中科院上海药物研究所等处的研究人员首次报道了一种具有阴离子选择性的机械敏感性离子通道的晶体结构,对其功能特性和离子选择机制进行了研究。   文章的通讯作者是清华大学生科院杨茂君研究员,以及上海药物研究所李扬研究员。其中杨茂君研究员早年毕业于吉林大学生命科学院,2001

清华大学启动逆向创新工程

  12月13日,清华大学举行了“转型中国,升级中国”逆向创新发布会。会上该校正式启动了逆向创新工程,希望凭借逆向创新这一学生创业新模式,引领全国双创进入务实的新阶段。  据介绍,传统的创业项目和团队,将科研成果转化的通常方式是通过技术找市场,创业项目不容易落地。而逆向创新则是通过市场找技术,从产业

清华大学Nature发表首发性成果

  2015年7月29日,清华大学高宁研究组和香港科技大学戴碧瓘教授研究组共同在《自然》(Nature)杂志上以长文形式在线发表了题为《真核生物DNA复制解旋酶MCM复合物的3.8埃分辨率结构》(Structure of the Eukaryotic Minichromosome Main

清华大学,成立“集成电路学院”!

  4月22日,清华大学集成电路学院正式成立。这是清华大学面向国家重大战略需求,聚焦国家关键领域,推动清华大学集成电路学科发展,加快培养集成电路紧缺高层次人才的重要举措。  清华大学集成电路学院将由原微电子与纳电子学系与电子工程系共建,发挥清华大学多学科优势,探索“1+N”联合机制,与相关院系成立交

清华大学发表Nature-Immunology新文章

  来自清华大学、北京大学等机构的研究人员证实,转录抑制因子Hes1通过调控转录延伸减轻了炎症。这一重要的研究成果发布在6月20日的《自然免疫学》(Nature Immunology)杂志上。  清华大学的胡小玉(Xiaoyu Hu)研究员是这篇论文的通讯作者。胡小玉博士是国家第十批“青年千人计划”

清华大学最新Cell子刊文章

  来自清华大学,美国冷泉港实验室等处的研究人员揭示出一种α/β核心神经元能作为一道“门”维持长时程记忆形成,而任何能开启这一门控的经历都能有助于形成长时程记忆,这为解析如何形成长期记忆具有重要意义。相关成果公布在Current Biology杂志上。   文章的通讯作者是清华大学生命科学学院

清华大学李千Nature封面文章

  近日,由清华大学材料学院李千助理教授和美国阿贡国家实验室Haidan Wen博士等人组成的研究团队首次实验观测到铁电极化涡旋在亚太赫兹频段的多个集体晶格振荡模式,并发现一种具有大应变与电场调谐性的涡旋软模(vortexon)。该研究工作是近年来基础铁电物理学的一个重大突破,其发现的涡旋畴的动态性

不鸣则已、一鸣惊人,国产先进光刻机问世只是时间问题

  半导体产业可以说是一个国家工业的战略高地,而光刻机又是半导体产业的基础核心,所以美国、荷兰、日本等国均对光刻机的出口进行了严格限制,要想不被“卡脖子”,只能走自主研发、自主可控的道路,对此本文将着重探讨三个方面的问题,一是光刻机产业的现状?二是当前国产光刻机技术究竟发展到了什么程度?三是国产光刻

邱勇任清华大学党委书记-王希勤任清华大学校长

2月25日,中共中央组织部在清华大学宣布了中共中央的任免决定,邱勇由清华大学校长转任党委书记,王希勤任清华大学校长(副部长级),陈旭不再担任清华大学党委书记职务。中共中央组织部副部长李小新,教育部党组成员、副部长田学军,北京市委常委、组织部部长孙梅君出席大会并讲话。

细说接触式光刻机的使用原理及性能指标

大家也许还不是非常的清楚,刻录机的种类有非常的多,其中的技术原理也不尽相同,下面就由我来给大家简单介绍一下有关接触式光刻机的使用原理及性能指标。  接触式光刻机的使用原理:  其实在我国对于接触式光刻机,曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上,其主要优点是可以使用价格较低的设备制造出较小的特征尺寸。  我

清华大学与深圳共建国际校区

   本报广州11月4日电 (记者赵婀娜)清华大学与深圳市人民政府今日在广州签署协议,在清华大学深圳研究生院、清华—伯克利深圳学院的办学基础上,进一步深化合作,共建清华大学深圳国际校区。  据了解,该校区是清华大学目前建立的第一个异地办学的校区,以培养全日制研究生为主,面向全球延揽优秀学生,用5到1

“清华大学碳中和技术论坛”启动

4月18日,由清华大学碳中和研究院主办、清华大学电机工程与应用电子技术系协办的“清华大学碳中和技术论坛”启动仪式暨第一期论坛“新型电力系统与碳中和”顺利召开。启动仪式现场 清华大学供图启动仪式上,中国工程院院士、国家电网有限公司一级顾问郭剑波以“新型电力系统构建与创新思考”为题作主旨报告。中国科学院

清华大学团队连发重要研究成果

  在分子生物学的中心法则中,遗传信息从DNA、RNA最后流向蛋白。RNA的成熟需要经过复杂的转录后加工,其质量控制在多种细胞过程中发挥着重要的作用。真核细胞具有大量识别和调控RNA降解的生物大分子,比如exosome复合体。  Exosome复合体通过外切酶方式从3′端对RNA进行水解。人们发现,

胡锦涛考察清华大学-会见杨振宁等教授

  春暖花开时节,坐落在北京海淀区的清华大学迎来了建校100周年。清华园里,一幢幢庄重典雅的老校舍诉说着历史,一座座富有创意的新校舍闪动着希望,赶回母校的年长校友、正在就读的年轻学子用一阵阵欢声笑语把校庆气氛烘托得格外浓郁……  4月20日上午,中共中央总书记、国家主席、中央军委主席胡锦涛

清华大学今年招生打破文理分科界限

  清华大学招生办公室6月10日向媒体表示,今年(2009年),被清华大学录取的本科新生将不受文理分科以及其所报考专业的限制,在录取过程中可以依据自己的兴趣自由选择专业。也就是说:文科考生可以直接进入自己喜爱的理工科专业就读,而理科考生也可以被自己心仪的人文社会科学专业录取。   清华大学招生办公

清华大学PNAS发布全新基因编辑系统

  11月4日,清华大学医学院倪建泉教授研究组在《美国科学院院刊》(PNAS)发表题为《高效及可遗传性果蝇基因组Cas9编辑技术》(Optimized gene editing technology for Drosophila melanogaster using germline-speci

联合最高法!清华大学,发力文科!

1月19日,清华大学互联网司法研究院正式成立。最高人民法院党组书记、院长周强与清华大学党委书记陈旭共同为研究院揭牌。研究院在最高人民法院支持下,依托清华大学计算机科学与技术系,联合清华大学法学院、网络科学与网络空间研究院共同建立,致力于对互联网司法领域战略性、关键性、前瞻性问题开展跨学科交叉研究,推

清华大学一化学实验室起火

网友消息现场图  据网友微博消息,清华大学何添楼化学实验室发生火灾。消息称紧急通知:清华何添楼化学实验室着火,有爆炸的可能,同学们呆在宿舍楼关好门窗,不要前往围观。如有事必须出门,请走附中正门。据现场人员消息,着火层疑为有机实验室。该楼内存有化学品,目前正在救援中。

清华大学牵头!成立重要大学联盟!

  4月23日,亚洲大学联盟2022年校长论坛在线举行。教育部党组书记、部长怀进鹏发表视频致辞。  怀进鹏首先对亚洲大学联盟成立五周年表示祝贺。他指出,来自不同国家和地区的高水平大学成立亚洲大学联盟,体现了亚洲高等教育共同发展、合作共赢的大势。联盟成立5年来,在共商共建共享理念的引领下,成员高校不断

清华大学:-优化人才服务-激发创新活力

  每月召开高层次人才工作会议,定期汇集信息,建立跟踪机制,认真做好高层次人才工作条件支持清单;大幅提高科研启动经费支持,鼓励支持有条件的青年教师牵头组建团队、申请国家重点课题;深入推进有组织科研,推动学科交叉,打造课题攻坚团队,发挥人才协同效应……  习近平总书记指出,做好人才工作必须坚持正确政治

清华大学Nature新文章挑战前论

  来自清华大学生命科学学院、北京大学的研究人员,在新研究中解析了腺苷酸活化蛋白激酶(AMPK)保守调控元件的结构,相关论文“Conserved regulatory elements in AMPK”发表6月12日的《自然》(Nature)杂志上。   论文的通讯作者是清华大学生命科学学院的

清华大学第一单位完成Nature论文

  来自清华大学生科院,科罗拉多大学等处的研究人员发表了题为“Cysteine protease cathepsin B mediates radiation-induced bystander effects”的文章,利用秀丽线虫作为研究放射旁观者效应RIBE的模型,发现了第一个RIBE作用因子: