离子注入机的结构组成

离子注入机由5部分组成:离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。 1、离子源 离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子,使之电离。待注入的杂质源如果是气态,便可以直接引入到离子源的电场中,如果是固态,则还需加热蒸发,变为气相后引入到这个电场中。气相的杂质源在电场中被电离后变成为离子(即带电的原子或分子)。 2、离子引出和质量分析器 所有带正电的离子被离子源阳极的正压排斥从一个狭缝中被引出,此时等离子体中的电子被阴极排斥而被阻止,由此形成了正离子组成的离子束。热电子轰击杂质源气体分子会产生多种离子,比如三氟化硼气体源,在离子源中会形成 、 、 、 和 等多种离子,每种离子的质荷比不同,在通过质量分析器的分析磁铁时,离子的运动轨道会不同,离子注入机的质量分析器可以将所需要的杂质离子从混合的离子束中分离出来。 3、加速管 要使离子能够获得更大的能量,正离子从质量分析器出来后还要通......阅读全文

离子注入机的结构组成

  离子注入机由5部分组成:离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。  1、离子源  离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子,使之电离。待注入的杂质源如果是气态,便可以直接引入到离子源的电场中,如果是固态,则还需加热蒸发,变为气相后引入到这个电场中。气相的杂

离子注入机的应用

  离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备,离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制,克服了常规工艺的限制,提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命,降低了

离子注入机的原理

  离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过

离子注入机概述

  离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。   中文名:离子注入机      外文名:Ion implanter        属   性

DCS的结构组成

从结构上划分,DCS包括过程级、操作级和管理级。过程级主要由过程控制站、I/O单元和现场仪表组成,是系统控制功能的主要实施部分。操作级包括:操作员站和工程师站,完成系统的操作和组态。管理级主要是指工厂管理信息系统(MIS系统),作为DCS更高层次的应用,目前国内纸行业应用到这一层的系统较少。  DC

轻粉的结构组成

  不溶于水与酸,放在铁片上加热,则逐渐变为黄色,最后化为青烟,不留痕迹。加氢氧化钾液,析出黑色氧化亚汞,加氨水振摇之,则变为黑色。  轻粉主要含氯化亚汞(Mercurous chloride, Hg2Cl2).天然产者, 名角汞矿(Hornquic -ksilver), 但平常都用人工制备.化学又

尿苷酸的结构组成

中文名称尿苷酸英文名称uridylic acid定  义尿苷的磷酸酯。视连接部位不同,有尿苷2′-磷酸(2′-尿苷酸)、尿苷3′-磷酸(3′-尿苷酸)和尿苷5′-磷酸(5′-尿苷酸)三种。在体内通常是5′-磷酸酯。应用学科生物化学与分子生物学(一级学科),核酸与基因(二级学科)

DCS的结构组成

DCS是分布式控制系统的英文缩写(Distributed Control System),在国内自控行业又称之为集散控制系统。  它是一个由过程控制级和过程监控级组成的以通信网络为纽带的多级计算机系统,综合了计算机(Computer)、通讯(Communication)、显示(CRT)和控制(Con

端粒的结构组成

端粒DNA是由简单的DNA高度重复序列组成的,染色体末端沿着5'到3' 方向的链富含 GT。在酵母和人体中,端粒序列分别为C1-3A/TG1-3和TTAGGG/CCCTAA,并有许多蛋白与端粒DNA结合。端粒DNA主要功能有:第一,保护染色体不被核酸酶降解;第二,防止染色体相互融合;

酶标仪的组成结构

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石墨的结构组成

石墨是原子晶体、金属晶体和分子晶体之间的一种过渡型晶体。在晶体中同层碳原子间以sp2杂化形成共价键,每个碳原子与另外三个碳原子相联,六个碳原子在同一平面上形成正六边形的环,伸展形成片层结构。在同一平面的碳原子还各剩下一个p轨道,它们互相重叠,形成离域π键电子在晶格中能自由移动,可以被激发,所以石墨有

酶标仪的组成结构

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呼吸链的组成结构

呼吸链包含15种以上组分,主要由4种酶复合体和2种可移动电子载体构成。其中复合体Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、辅酶Q和细胞色素C的数量比为1:2:3:7:63:9。复合体Ⅰ即NADH,辅酶Q氧化还原酶复合体,由NADH脱氢酶(一种以FMN为辅基的黄素蛋白)和一系列铁硫蛋白(铁—硫中心)组成。它从NADH得到两个电

核仁RNA的结构组成

中文名称核仁RNA英文名称nucleolar RNA定  义核仁中的RNA。包括核糖体核糖核酸(rRNA)前体、核仁小RNA等。应用学科生物化学与分子生物学(一级学科),核酸与基因(二级学科)

中胚层的结构组成

中胚层(mesoderm)指在三胚层动物的胚胎发育过程中,(原肠胚末期)处在外胚层和内胚层之间的细胞层。包括轴中胚层(脊索);脊索旁中胚层(肌节;生骨节,生肌节,生皮节);间介中胚层(泌尿系统、生殖系统);侧中胚层(壁层,脏层)。中胚层发育为躯体的真皮、肌肉、骨骼及其他结缔组织和循环系统,包括心脏、

遥感器的结构组成

遥感器的组成 无论哪一种传感器,它们基本是由收集系统、探测系统,信息转化系统和记录系统四部分组成。 收集系统遥感应用技术是建立在地物的电微波谱特性基础之上的,要收集地物的电磁波必须要有一种收集系统,该系统的功能在于把接收到的电磁波进行聚集,然后关往探测系统。不同的遥感器使用的收集元件不同,最基本的收

肽聚糖的组成结构

  1. G-M 双糖单位;  2. 四肽尾  组成:革兰氏阳性菌(如葡萄球菌)为 L-Ala + D-Glu + L-Lys + D-Ala ,革兰氏阴性菌(如大肠埃希菌)为 L-Ala + D-Glu + m-DAP + D-Ala ;  连接方式:四肽中N端的L-Ala上α-NH2与M中乳酸的

假尿苷酸的结构组成

英文名称:pseudouridylic acid定义:视磷酸的连接部位不同,有2′-假尿苷酸、3′-假尿苷酸和5′-假尿苷酸三种。

线粒体DNA的组成结构

研究人员发明了转换卵细胞基因材料的方法,用拥有健康线粒体的卵细胞取代携带错误线粒体DNA的卵细胞。结果是,胚胎会携带来自母亲和父亲的核DNA,以及卵细胞捐献者的线粒体DNA。mtDNA虽能合成蛋白质,但其种类十分有限。迄今已知,mtDNA编码的RNA和多肽有:线粒体核糖体中2种rRNA(12S及16

卵黄囊的组成结构

卵黄囊(yolk sac) 胚胎发生体褶后,原肠则明显地分成胚内的原肠和胚外的卵黄囊,内包有大量的卵黄,卵黄囊的壁由胚外内胚层和胚外中胚层形成。

肌酸的组成结构

肌酸(Creatine)是由精氨酸(arginine)、甘氨酸(glycine)及甲硫氨酸(methionine)三种氨基酸所合成的物质。可以由人体自行合成,也可以由食物中摄取。肌酸,是人体内自然产生的一种氨基酸衍生物,它可以快速增加肌肉力量,加速疲劳恢复,提高爆发力。肌酸在人体内储存越多,力量及运

影像仪的结构组成

  影像测量仪是一种由高解析度CCD彩色摄像器、连续变倍物镜、彩色显示器、视频十字线发生器、精密光学尺、多功能数据处理器、2D数据测量软件与高精密工作台结构组成的高精度光学影像测量仪器。

酶的组成与结构

酶的化学本质是蛋白质,蛋白质分子是由氨基酸组成。酶的结构分为四级:一级结构:氨基酸残基严格地按一定顺序线性排列称为蛋白质一级结构,一个蛋白质分子可能由一条肽链构成、也可能由几条肽链构成。二级结构:由于肽链上的一个肽键上的氢原子与另一个肽键上的氧原子有可能能形成氢键,所以,肽链可以出现α-螺旋和β-折