电工所科技前沿论坛“微光刻与电子束光刻技术”开讲
从1958年世界第一块平面集成电路到2012年04月24日英特尔在北京天文馆正式发布核心代号为Ivy Bridge的第三代酷睿处理器—英特尔首款22纳米工艺处理器，短短五十多年，微电子技术一直遵循着摩尔定律，发展势头迅猛。 针对微光刻与电子束光刻技术发展图谱，7月6日，中科院微电子所陈宝钦研究员做客电工所《科技前沿论坛》学术报告会，与电工所科研人员分享了一堂精彩的交流课。 作为全国半导体设备与材料标准化技术委员会副主任、微光刻分委会主任，全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组副秘书长，北京半导体专业委员会副主任、制版分会主任，陈宝钦研究员多年来一直从事光掩模与先进掩模制造技术、电子束光刻技术、微光刻与微纳米加工技术的研究和开发工作。 本次报告，陈宝钦研究员主要讲解了从1958年世界上出现第一块平面集成电路到20世纪80年代世界上集成电路制造进入自动化大生产，再到2012年英特尔首款22纳米工艺处......阅读全文
电子束光刻投影电子束扫描系统
扫描式电子束曝光系统可以得到极高的分辨率，但其生产率较低，不能满足大规模生产的需要。成形束系统生产率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，难以制作纳米级图形。近年来研发的投影电子束来曝光系统，既能使曝光分辨率达到纳米量级，又能大大提高生产率，且不需要邻近效应校正。在研制中的投影式电子束曝
电子束加热
电子束加热是相变处理时，电子束使金属材料表面很快上升到奥氏体相变退度(低于熔化温度)，持续一段时间后电子束停止轰击.热t很快向冷的荃体金属扩散，使加热表面自行淬火，其组织转变为马氏体，表面硬度显著提离。电子束加热(electron beam furnace)或译电子束炉或简称EB炉(EB furna
电子束光刻成型电子束扫描系统
成形电子束曝光系统按束斑性质可分成固定和可变成形束系统。固定成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸始终不变；可变成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸可不断变化。按扫描方式，成形电子束曝光系统又可分为矢量扫描型和光栅扫描型。一种尺寸可变的矩形束斑的形成原理是电子束经上方光阑后形成一束方形电子束，再照射到下方
电子束加热历史
电子束熔炼电子束熔炼的概念是M.V.皮拉尼(M.VonPirani)于1905年提出的，但直到50年代中期美国成功地开发电子束熔炼炉后才在熔炼难熔金属钨、钼、钽等的冶金领域获得工业应用。1959年民主德国LEW公司开发了功率为45kw的电子束熔炼炉，60年代又先后研制出200kw和1200kw的电子
电工所科技前沿论坛“微光刻与电子束光刻技术”开讲
从1958年世界第一块平面集成电路到2012年04月24日英特尔在北京天文馆正式发布核心代号为Ivy Bridge的第三代酷睿处理器—英特尔首款22纳米工艺处理器，短短五十多年，微电子技术一直遵循着摩尔定律，发展势头迅猛。 针对微光刻与电子束光刻技术发展图谱，7月6日，中科院微电子所陈
电子束曝光共享应用
仪器名称：电子束曝光仪器编号：22012325产地：中国生产厂家：卡尔蔡司公司型号：Sigma 300出厂日期：购置日期：2022-07-14所属单位：物理系>电子曝光间放置地点：蒙民伟科技大楼S407固定电话：010-62797291固定手机：17356219197固定email：wangj22@
电子束ct的简介
电子束CT亦称超快速CT。它是利用电子束穿透人体及快速的床面移动来完成扫描的。其最快扫描速度为50ms/层。从总体上评价，它优于螺旋CT扫描 。主要是单位时间内扫描范围比螺旋CT大，移动产生的伪影比螺旋扫描少。
集成电路制造展会|2024上海集成电路应用展览会「上海集成电路展」
展会概况展会名称：2024中国（上海）集成电路产业与应用博览会展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18日-19日展会地点：上海新国际博览中心展会规模：50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众 中国集成电路将顺势而为，逆势崛起 “十四五”期间，我国半导体
集成电路制造展会|2024上海集成电路制造展览会「上海集成电路展」
展会概况展会名称：2024中国（上海）集成电路产业与应用博览会展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18日-19日展会地点：上海新国际博览中心展会规模：50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众 中国集成电路将顺势而为，逆势崛起 “十四五”期间，我国半导体
电子束蒸发的优点
电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质 量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。电子束蒸发的特点是不会或很少覆盖在目标三维结构的两侧，通常只会沉积在目标表面。这是电子束蒸发和溅射的区别。
电子束光刻的特点
电子束曝光是用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂，经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。 这种曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工艺容限大，而且生产效率高，但由于电子束在光刻胶膜内的散射，使得图案的曝光剂量会受到临近图案曝光剂量的影响（即临近效应），造成的结果是，显影后，线宽有所变化或图
电子束CT正常值
为了定量衡量组织对于X光的吸收率，Hounsfield定义了一个新的标度“CT值”。不同组织的CT值各异，各自在一定范围内波动。骨骼的CT值最高，为1000HU，软组织的CT值为20-70HU，水的CT值为0(�10)HU，脂肪的CT值为-50--100以下，空气的CT值为-1000HU。
电子束蒸发的优点
电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质 量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。电子束蒸发的特点是不会或很少覆盖在目标三维结构的两侧，通常只会沉积在目标表面。这是电子束蒸发和溅射的区别。
电子束CT注意事项
检查前：患者须携带有关检查资料，包括以前检查的CT，MRI和常规X线检查的资料，以及其它临床检查资料。检查时：听从技术人员的指导，保持体位不动，配合检查进行平静呼吸、屏气等。不适宜人群：严重的肝肾功能损害，重症甲状腺患者，急性胰腺炎；急性血栓性静脉炎；多发性骨髓瘤等异质蛋白血症，严重的恶病质。
电子束光刻相关介绍
电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。 光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳
电子束蒸发的优点
电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质 量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。电子束蒸发的特点是不会或很少覆盖在目标三维结构的两侧，通常只会沉积在目标表面。这是电子束蒸发和溅射的区别。
电子束炉的相关介绍
用高速电子轰击物料使之加热熔化的电炉（图4电子束炉示意）。在真空炉壳内，用通低压电的灯丝加热阴极，使之发射电子，电子束受加速阳极的高压电场的作用而加速运动，轰击位于阳极的金属物料，使电能转变成热能。因为电子束可经电磁聚焦装置高度密集，所以可在物料受轰击的部位产生很高的温度。电子束炉用于熔炼特殊钢
电子束ct的相关疾病
获得性免疫缺陷综合征的心血管损害，老年人先天性心血管疾病，小儿皮肤黏膜淋巴结综合征，输卵管炎，蝶骨嵴脑膜瘤眼部病变，蜂窝肺综合征
电子束曝光系统
电子束曝光是利用电子束在涂有感光胶的晶片上直接描画或投影复印图形的技术，它的特点是分辨率高（极限分辨率可达到3～8μm）、图形产生与修改容易、制作周期短。它可分为扫描曝光和投影曝光两大类，其中扫描曝光系统是电子束在工件面上扫描直接产生图形，分辨率高，生产率低。投影曝光系统实为电子束图形复印系统，
电子束蒸发的应用
常见于半导体科研工业领域。利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾。最终沉积到目标上。
集成电路制造展会|2024上海模拟集成电路展览会「上海集成电路展」
展会概况展会名称：2024中国（上海）集成电路产业与应用博览会展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18日-19日展会地点：上海新国际博览中心展会规模：50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众 中国集成电路将顺势而为，逆势崛起 “十四五”期间，我国半导体
集成电路制造展会|2024上海数/模混合集成电路展览会「上海集成电路展」
展会概况展会名称：2024中国（上海）集成电路产业与应用博览会展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18日-19日展会地点：上海新国际博览中心展会规模：50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众 中国集成电路将顺势而为，逆势崛起 “十四五”期间，我国半导体
电子束ct的注意事项
检查前：患者须携带有关检查资料，包括以前检查的CT，MRI和常规X线检查的资料，以及其它临床检查资料。 检查时：听从技术人员的指导，保持体位不动，配合检查进行平静呼吸、屏气等。 不适宜人群：严重的肝肾功能损害，重症甲状腺患者，急性胰腺炎；急性血栓性静脉炎；多发性骨髓瘤等异质蛋白血症，严重的恶
电子束偏振测量精度破纪录
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2024/3/518218.shtm
电子束实验仪实验内容
[仪器特点]1、本仪器结构简单，原理直观，无需另配其它设备，只用一套实验仪器就可以做一系列内容由浅入深、系统性很强的基础实验，所得实验数据结果的精度也很高。做完这一系列实验之后，学生对有关物理现象的理论基础能有比较深刻的印象。2、整个实验仪器安装在一只铝合金机箱内，各个单元构成模块化结构，根据不同实
电子束ct的检查过程
(1) 做好病人的准备工作：按不同部位检查的要求，做好病人的准备。对需要做增强的病人必须做好碘过敏试验。向病人做好解释工作，消除恐惧心理，使病人配合检查。 (2) 扫描条件的选择：包括体位、层厚和层距、扫描参数及扫描方式的选择。
电子束CT的临床意义
临床意义CT检查有广泛的适用范围和优点，但仍有其限度，最主要的是对病变检测的敏感性高而特异性仍不很高；对胸部检查虽可发现普通X线片不能检出的隐匿性病变，但对肺的良性，恶性病变的区别仍十分困难；腹部病变的定性也存在不少问题。特别是CT检查费用高，难以对早期肿瘤筛选，当前一般认为CT、B超、常规X线、核
电子束ct的正常值
为了定量衡量组织对于X光的吸收率，Hounsfield定义了一个新的标度“CT值”。不同组织的CT值各异，各自在一定范围内波动。骨骼的CT值最高，为1000HU，软组织的CT值为20-70HU，水的CT值为0(±10)HU，脂肪的CT值为-50--100以下，空气的CT值为-1000HU。
电子束ct的临床意义
CT检查有广泛的适用范围和优点，但仍有其限度，最主要的是对病变检测的敏感性高而特异性仍不很高；对胸部检查虽可发现普通X线片不能检出的隐匿性病变，但对肺的良性，恶性病变的区别仍十分困难；腹部病变的定性也存在不少问题。特别是CT检查费用高，难以对早期肿瘤筛选，当前一般认为CT、B超、常规X线、核素扫
关于电子束检测的优势介绍
相较于探针式(Probe)电性量测，电子束检测具有两个显著优势，能在制作电子元件的过程中，快速反应制程问题： (一)即时性。能够线上(in line)检测缺陷状况。 (二)预判性。无须制作电极(electrode pad)即可检出。 进一步说明，元件的良率及电性表现必须在整体元件制程完成后