离子束的离子源的主要参数

①离子掺杂与离子束改性。从20世纪60年代开始,人们将一定能量的硼、磷或其他元素的离子注入到半导体材料中,形成掺杂。掺杂的深度可用改变离子的能量来控制;掺杂的浓度可通过积分离子流强度来控制。离子注入方法的重复性、可靠性比扩散法好。离子注入掺杂在半导体大规模集成电路的生产中已成为重要环节,用离子注入法取代旧的扩散等工艺在有些器件中已成为必然趋势。离子注入在金属材料的改性中获得的结果十分引人注目。在常用金属的离子注入改性中,可以提高金属的硬度、抗腐蚀性能和抗疲劳强度,降低金属的磨损率。某些绝缘材料如陶器、玻璃、有机材料经离子束照射以后,性质发生重要的变化,获得新的用途。离子束照射和掺杂的过程是非热平衡过程,因此用这种方法可以获得用一般冶金和化工方法无法得到的新材料。能量较低(50~400keV)的专门用于离子注入的小型加速器“离子注入机”,已成为一种专门设备,体积相当于一台电子显微镜或高压示波器,使用维护都很方便(见彩图[通用的20......阅读全文

重离子诱变植物新种质创制通过可行性论证

“重离子诱变植物新种质创制及机理研究”通过可行性论证论证会现场  中科院近代物理研究所依托兰州重离子加速器大科学工程,联合中科院相关研究所共同提出的中科院知识创新工程重要方向性项目“重离子诱变植物新种质创制及机理研究”,11月15日通过了中科院基础科学局主持的可行性论证。  来自兰州

近物所重离子深层治疗终端实现主动点扫描技术

  近日,中国科学院近代物理研究所科研人员利用兰州重离子研究装置(HIRFL)提供的高能碳离子束,在该装置的深部肿瘤重离子治疗终端对实现适形调强重离子治疗的主动式点扫描束流配送技术进行了测试,取得了重要进展。  测试中,利用兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)提供的80-

氩离子抛光仪在抛光页岩中是否需要冷冻

徕卡的氩离子束抛光仪通常是不需要进行冷冻的,主要是因为它的三离子束效率比较高,在抛光的时候样品台可以不摆动以保证有效的热传导;还有就是自动控制设置里面可以进行高低高压交替抛光,减少受热变形。当然,如果需要,徕卡的氩离子抛光设备也是可以配备冷冻台的,-150℃下工作更好。

SECRALII超导离子源为重离子加速器稳定供束超过1000小时

  2018年12月11日至2019年1月24日,中国科学院近代物理研究所新投入运行的全超导ECR离子源SECRAL-II(图1)为兰州重离子加速器HIRFL-CSR上核物理实验提供了高流强高电荷态86Kr25+离子束,SECRAL-II本次供束不间断连续稳定运行时间超过1000小时(图2),展示了

碳材料的高效检测:拉曼光谱扫描电镜的联动操作-(二)

5集拉曼光谱、扫描电镜及聚焦离子束于一体:图1:将共聚焦显微拉曼光谱仪安装到聚焦离子束扫描电镜上,两种分析之间的切换只需通过单击鼠标即可完成将共聚焦显微拉曼光谱仪安装到聚焦离子束扫描电镜上,由此产生的一种新型分析工具能够更加轻易、方便的对待分析区域进行扫描电镜分析或者拉曼光谱分析,两者之间的切换也更

二次离子质谱原理是什么?应用哪些方面?

  二次离子质谱( Secondary Ion Mass Spectrometry ,SIMS)是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。  在传统的SIMS实验中,高能一次离子束

国际首台低能量强流高电荷态重离子研究装置通过验收

  12月7日至9日,国际首台低能量强流高电荷态重离子研究装置在中国科学院近代物理研究所(以下简称“近代物理所”)成功通过国家自然科学基金委员会组织的专家验收。该装置由45吉赫兹超导高电荷态电子回旋共振(ECR)离子源、高压平台、强流多电荷态束流分析和制备系统等多个子系统组成,旨在为核天体物理、原子

物理所在三维纳米结构的加工与应用研究中取得进展

  三维纳米结构既可具有纳米材料与结构所赋予的量子效应、尺寸效应与表面效应等新奇物性,又可通过三维几何结构实现电声子输运与耦合、自旋极化、激子行为、波阵面调控等物性的协同调制,获得平面器件不具有的功能。目前,三维纳米结构的可控加工方法明显不足,阻碍了三维纳米器件的发展,并制约着高端纳米产业化技术的形

质谱离子源的作用

离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是 一种流强大产额高的离子源各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。   气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅

质谱离子源的作用

离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是 一种流强大产额高的离子源各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。   气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅

关于二次离子质谱仪操作模式的介绍

  SIMS大致可以分为“动态二次离子质谱”(D-SIMS)"和“静态二次离子质谱“(S-SIMS)两大类。虽然工作原理上它们并无本质差别,但是两种模式的应用特点却有所不同。一次离子束流密度大小是划分两种模式的主要标准。一般在S-SIMS模式下,一次离子束流被控制在1013离子/cm2,常用飞行时间

清华大学仪器共享平台WESTBOND-键合机

仪器名称:键合机仪器编号:19019277产地:生产厂家:WESTBOND, INC型号:7476D出厂日期:购置日期:2019-10-29所属单位:物理系>离子束刻蚀实验室放置地点:理科楼 C-207固定电话:010-62772764固定手机:13552113513固定email:jianglin

1180万元|北师大珠海校区采购这家冷冻电镜

近日,北京师范大学珠海校区发布“北京师范大学珠海校区理工实验平台场发射透射电子显微镜(生物电镜)、等离子体聚焦离子束扫描电镜采购(包二)”中标,花费1180万元采购赛默飞冷冻聚焦离子束主机和Santek不间断电源。详细信息如下:  一、项目编号:XHTC-HW-2022-1769(招标文件编号:XH

离子探针方法

离子探针方法是将质谱测定技术与离子发射显微镜技术相结合的现代仪器分析方法。能提供一般质谱分析所不能提供的试样微区质谱。由于它能对固体物质作微区、微量及深度成分分析,在某些条件下检测灵敏度可达ppb数量级,因此被广泛地应用于半导体、冶金、地质和生物研究等部门。其原理是利用聚焦的高能一次离子束轰击试样表

集成电路失效分析步骤

1、开封前检查,外观检查,X光检查,扫描声学显微镜检查。2、开封显微镜检查。3、电性能分析,缺陷定位技术、电路分析及微探针分析。4、物理分析,剥层、聚焦离子束(FIB),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(SEM)、VC定位技术。一、无损失效分析技术1、外观检查,主要凭借肉眼检查是否有明显缺陷

离子注入机的结构组成

  离子注入机由5部分组成:离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。  1、离子源  离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子,使之电离。待注入的杂质源如果是气态,便可以直接引入到离子源的电场中,如果是固态,则还需加热蒸发,变为气相后引入到这个电场中。气相的杂

核物理与核技术国家重点实验室建成超小型激光加速器

  加速器作为核科学中的核心仪器设备,对人类的生存发展和国家的地位与安全具有重要影响,成为衡量综合国力的一项重要标志。与常规加速器相比,激光加速器的尺寸、成本可以显著降低,同时其产生的离子束具有能量高、脉冲短(皮秒量级)、尺寸小(微米)、方向性好、时间和空间分辨率高等优点。   核物理与核技术国家重

什么是离子源?

  离子源(英文名称:Ion source)是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。  气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使

1910万!国家地质实验测试中心冷冻聚焦氙离子束飞行时间二次离子质谱系统公开招标公告

  项目概况 国家地质实验测试中心冷冻聚焦氙离子束-飞行时间二次离子质谱系统 招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区西三环北路21号久凌大厦南楼15层获取招标文件,并于2025年06月19日 13点30分(北京时间)前递交投标文件。  一、项目基本情况  项目编号:0773-2541GNJTHWGK1

质谱仪的用法

  分离和检测不同同位素的仪器。仪器的主要装置放在真空中。将物质气化、电离成离子束,经电压加速和聚焦,然后通过磁场电场区,不同质量的离子受到磁场电场的偏转不同,聚焦在不同的位置,从而获得不同同位素的质量谱。质谱方法最早于1913年由J.J.汤姆孙确定,以后经 F.W.阿斯顿等人改进完善。现代质谱仪经

串联质谱法的原理

使试样中各组分电离生成不同荷质比的离子,经加速电场的作用,形成离子束,进入质量分析器,利用电场和磁场使发生相反的速度色散——离子束中速度较慢的离子通过电场后偏转大,速度快的偏转小。在磁场中离子发生角速度矢量相反的偏转,即速度慢的离子依然偏转大,速度快的偏转小;当两个场的偏转作用彼此补偿时,它们的轨道

如何确定质谱定量分析选择依据

  使试样中各组分电离生成不同荷质比的离子,经加速电场的作用,形成离子束,进入质量分专析器,利用电场和磁场使属发生相反的速度色散——离子束中速度较慢的离子通过电场后偏转大,速度快的偏转小;在磁场中离子发生角速度矢量相反的偏转,即速度慢的离子依然偏转大,速度快的偏转小;当两个场的偏转作用彼此补偿时,它

质谱仪的起源

分离和检测不同同位素的仪器。仪器的主要装置放在真空中。将物质气化、电离成离子束,经电压加速和聚焦,然后通过磁场电场区,不同质量的离子受到磁场电场的偏转不同,聚焦在不同的位置,从而获得不同同位素的质量谱。质谱方法最早于1913年由J.J.汤姆孙确定,以后经 F.W.阿斯顿等人改进完善。现代质谱仪经过不

质谱法的原理

使试样中各组分电离生成不同荷质比的离子,经加速电场的作用,形成离子束,进入质量分析器,利用电场和磁场使发生相反的速度色散——离子束中速度较慢的离子通过电场后偏转大,速度快的偏转小;在磁场中离子发生角速度矢量相反的偏转,即速度慢的离子依然偏转大,速度快的偏转小;当两个场的偏转作用彼此补偿时,它们的轨道

关于俄歇电子能谱仪离子枪的相关介绍

  它由离子源和束聚焦透镜等部分组成,有如下功能:①清洁试样表面 用于分析的样品要求十分清洁,在分析前常用 溅射离子枪对样品进行表面清洗,以除去附着在样品表面的污物;②逐层刻蚀试样表面,进行试样组成的深度剖面分析。一般采用差分式氩离子枪,即利用差压抽气使离子枪中气体压强比分析室高103倍左右。这样当

离子源如何清洗

离子源的清洗方法为:对金属的清洗和非金属部件的清洗。对金属部件来说,首先用棉签湿水后沾上专门的氧化铝粉(菲林跟有配)来摩擦金属部件。注意不要让氧化铝粉干燥!氧化铝粉洗完后,用水浸泡金属部件,然后超声15分钟,然后把水倒掉,用丙酮浸泡,再超声15分钟,烘干就可。对于非金属部件,就免掉吵声这一步骤。离子

串联质谱法的原理

使试样中各组分电离生成不同荷质比的离子,经加速电场的作用,形成离子束,进入质量分析器,利用电场和磁场使发生相反的速度色散——离子束中速度较慢的离子通过电场后偏转大,速度快的偏转小。在磁场中离子发生角速度矢量相反的偏转,即速度慢的离子依然偏转大,速度快的偏转小;当两个场的偏转作用彼此补偿时,它们的轨道

武汉大学预算1000万采购质谱仪

  近日,湖北省武汉大学发布一条采购计划,于2020年9月政府采购聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统项目所在采购意向:武汉大学2020年9月政府采购意向采购单位:武汉大学采购项目名称:聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统预算金额:1000.000000万

近代物理所与甜高粱相关的3项科技成果通过鉴定

  8月28日,由中国科学院近代物理研究所承担的与甜高粱循环经济产业链相关的3项科技成果,通过了中国科学院组织的成果鉴定。  鉴定委员会专家们分别听取了“重离子改良面包酵母菌种及甜高粱汁液生产酵母葡聚糖的研究”、“重离子束辐照优良青贮微生物菌株选育及甜高粱青贮微生物菌剂中试应用技术研究”、“甜高粱品

电子材料的制备方法,实例观察和应用分析

简要分析了电子材料的特点;电子材料和器件多为复合材料,软硬材质结合较多,比如碳化硅基底的柔性材料,材料结构复杂,制样前处理方法多样,或者大范围包埋或者小区域局部包埋再进行磨抛处理。根据材料特性介绍电镜观察的注意事项以及对材料制备的要求。电子材料多有粘结剂,填充料等存在,此种材料多为不导电的高分子或无