光刻法的功能介绍

如彩色滤光膜制作时颜料分散法和染色法采用的光刻法。它是将颜料或染料分散在感光胶中,通过掩膜曝光,被曝光部分感光胶聚合,变成非水溶性胶膜在显影时留下,其余部分被冲洗掉,如此重复3次,形成三色彩色滤光膜。......阅读全文

光刻法的功能介绍

如彩色滤光膜制作时颜料分散法和染色法采用的光刻法。它是将颜料或染料分散在感光胶中,通过掩膜曝光,被曝光部分感光胶聚合,变成非水溶性胶膜在显影时留下,其余部分被冲洗掉,如此重复3次,形成三色彩色滤光膜。

激光刻划的功能介绍

中文名称激光刻划英文名称laser grooving and scribing定  义利用聚焦后高能量密度的激光束,对被加工表面刻槽或划线的方法。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光应用(三级学科)

光刻技术与纳米光刻简介

  距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中,他曾问到:“我们怎么样写小?”在今天的科学技术研究中,仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来,科研技术已经大大进步,半导体行业中使用的线宽已经大幅度下

光刻技术与纳米光刻简介

  距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中,他曾问到:“我们怎么样写小?”在今天的科学技术研究中,仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来,科研技术已经大大进步,半导体行业中使用的线宽已经大幅度下

光刻技术与纳米光刻简介

距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中,他曾问到:“我们怎么样写小?”在今天的科学技术研究中,仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来,科研技术已经大大进步,半导体行业中使用的线宽已经大幅度下

电子束光刻相关介绍

  电子束曝光(electron beam lithography)指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的延伸应用。  光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短,光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论,电子是一种波长极短的波。这样,电子束曝光的精度可以达到纳

液相色谱法的功能介绍

液相色谱不能由色谱图直接给出未知物的定性结果,而必须由已知标准作对照定性。当无纯物质对照时,定性鉴定就很困难,这时需借助质谱、红外和化学法等配合。另外大多数金属盐类和热稳定性差的物质还不能分析。此缺点可高效液相色谱法来克服。

DNA酶足迹法的功能介绍

DNA酶足迹法是一种用来测定DNA-蛋白质专一性结合的方法。用于检测与特定蛋白质结合 的DNA序列的部位,可展示蛋白质因子同特定DNA片段之间的结合区域。

极紫外线光刻机和简介和功能

  极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。  2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,预计将于2019年初交货。  功能  光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备

激光刻划的定义

中文名称激光刻划英文名称laser grooving and scribing定  义利用聚焦后高能量密度的激光束,对被加工表面刻槽或划线的方法。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光应用(三级学科)

光刻机的种类

  a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。  1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;  2.硬接

光刻机的概述

  光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大

光刻机的分类

  光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动  A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;  B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;  C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循

光刻机原理

光刻机原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到晶圆上,最后形成芯片。就好像原本一个空空如也的大脑,通过光刻技术把指令放进去,那这个大脑才可以运作,而电路图和其他电子元件就是芯片设计人员设计的指令。光刻机就是把芯片制作所

光刻机原理

光刻机原理: 是利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件。光刻是集成电路最重要的

关于酶法多肽载体功能介绍

  肽具有载体功能,它可以把人们平常所摄取的维生素、微量元素,如铁、锌、硒、镁、铜、锰等载在自己本体上,与其结合或吸附在一起。由于小分子肽不需要消化直接被人体吸收,而且是以完整的形式吸收,因此载在肽本体上的各种营养物质同肽本身一起被人体全部吸收和利用,市面上有很多微量元素与肽整合在一起的产品,如蛋白

光刻机的曝光度

a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;2.硬接触 是将基片

光刻机是什么

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电

光刻机是什么

1、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。3、Photolithogra

什么是光刻机

光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全

光刻机是什么

  光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。  光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补

光刻机工作原理

1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。6

光刻机工作原理

1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。6

光刻胶软烘

软烘的目的是去掉光刻胶中的溶剂、增强光刻胶的粘附性、释放旋转涂胶产生的内应力、改善线宽控制、防止光刻胶粘附到其他器件上。软烘在真空热板上进行,软烘设备工作原理如图2.17所示,硅片放在真空热板上,热量从硅片背面通过热传导方式加热光刻胶。一般软烘温度为85~120℃,时间为30~60S。软烘后将硅片转

光刻机怎么制作

第一步:制作光刻掩膜版(Mask Reticle)芯片设计师将CPU的功能、结构设计图绘制完毕之后,就可将这张包含了CPU功能模块、电路系统等物理结构的“地图”绘制在“印刷母板”上,供批量生产了。这一步骤就是制作光刻掩膜版。光刻掩膜版:(又称光罩,简称掩膜版),是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图

覆膜法溶氧电极功能介绍

恒电位三极式测试原理与普通的二极测试电极不同,TriOxmatic™系列溶氧电极采用恒电位三极式测试原理,整个电化学测试系统包括一个金阴极(工作电极A)和两个银电极,其中一个银电极为计数阳极G,另一个为参考电极R,参考电极没有电流流过,这样参考电极上的电位非常稳定,增强了电极感测结果的稳定性,提高了

电位分析法功能和应用介绍

电位分析法(potentiometric analysis)是以测量原电池的电动势为基础,根据电动势与溶液中某种离子的活度(或浓度)之间的定量关系(Nernst 方程式)来测定待测物质活度或浓度的一种电化学分析法。它是以待测试液作为化学电池的电解质溶液,于其中插入两支电极,一支是电极电位随试液中待测

电子束光刻的特点

  电子束曝光是用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂,经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。  这种曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工艺容限大,而且生产效率高,但由于电子束在光刻胶膜内的散射,使得图案的曝光剂量会受到临近图案曝光剂量的影响(即临近效应),造成的结果是,显影后,线宽有所变化或图

光刻机的三大种类

  a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。  1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;  2.硬接

光刻机的对准系统

  制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺,这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一,许多美国德国品牌光刻机具有特殊ZL的机械工艺设计。例如Mycro N&Q光刻机采用的全气动轴承设计ZL技术,有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。  对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜