THERMCO氧化LPCVD共享应用
仪器名称:THERMCO 氧化LPCVD仪器编号:21014796产地:英国生产厂家:THERMCO型号:2660出厂日期:购置日期:2021-07-21所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:苏鑫(010-62781090,18511794134,sux@mail.tsinghua.edu.cn)包艳琳(010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn)曹秉军(010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn)窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)分类标签:微纳电子 半导体 集成电路 MEMS 氧化 LPCVD技术指标:设备工艺能最大承载75片晶圆,工艺片为25片; 同时设......阅读全文
THERMCO-氧化LPCVD
仪器名称:THERMCO 氧化LPCVD仪器编号:21014796产地:英国生产厂家:THERMCO型号:2660出厂日期:购置日期:2021-07-21所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:苏鑫(010-6278
THERMCO-氧化LPCVD共享应用
仪器名称:THERMCO 氧化LPCVD仪器编号:21014796产地:英国生产厂家:THERMCO型号:2660出厂日期:购置日期:2021-07-21所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:苏鑫(010-6278
薄膜沉积设备工艺升级-差异化布局加速国产化进程
本篇报告通过对逻辑、存储芯片的微观结构拆分展示了薄膜结构的种类多样性、工艺复杂性以及多款设备相互补充等特性,并从制程推进、多层趋势、工艺迭代等维度论述了薄膜沉积设备行业的成长性。薄膜沉积设备与光刻、刻蚀并列作为IC 前道制造三大主设备之一,全球市场空间超过200 亿美元,当前国产化率不足5%
微电子所在氮化镓界面态研究方面取得进展
近日,中国科学院微电子研究所高频高压中心研究员刘新宇团队等在GaN界面态研究领域取得进展,在LPCVD-SiNx/GaN界面获得原子级平整界面和国际先进水平的界面态特性,提出了适用于较宽能量范围的界面态U型分布函数,实现了离散能级与界面态的分离。 增强型氮化镓MIS-HEMT是目前尚未成功商用
微流控芯片加工的薄膜沉积的四种工艺
在加工微流控芯片的同时,需要在基片上沉积各种材料的薄膜。制造加工薄膜的四种方法:氧化氧化是将硅片在氧化环境中加热到900~1100℃的高温,在硅的表面上生长出的一层二氧化硅。根据所用氧化剂的不同,氧化又可分为水汽氧化:水汽氧化的氧化剂是水蒸气干氧氧化:干氧氧化的氧化剂是氧气湿氧氧化:湿氧氧化的氧化剂
什么是气相沉积法
化学气相沉积法,包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。 化学气相沉积主要是以末种化合物,为反应气体,在一定的保护气氛下反应生成单质原子并沉积在加热的衬底上,衬底材料一般选用次单质或其稳定化合物等。
氧化联合催化氧化技术介绍
氧化联合催化氧化技术UV光氧化-臭氧法是将臭氧与紫外光辐射相结合的一种高级氧化过程,始于1970年。臭氧-双氧水-UV光氧化法对处理难氧化物质比较有效,可使氧化速度提高10~10000倍。 UV光氧化-臭氧法中的氧化反应为自由基型,即液相臭氧在紫外光辐射下分解产生·OH自由基,由·OH自由基与水中
臭氧氧化技术及应用氧化机理
氧化机理臭氧具有的强氧化性是因为臭氧分子中氧原子具有强亲电子或亲质子性。臭氧分解后产生新生态氧原子,在水中可形成具有强氧化作用基团-羟基自由基,可快速除去废水中的有机污染物,而自身分解为氧,不会造成二次污染。 目前认为臭氧与有机物的反应有2种途径:(1) 臭氧以氧分子形式与水体中的有机物直接反应。
金属氧化物的氧化方法
在有机化学中,氧化是指:①脱氢,如CH─→CH=CH─→CH≡CH;②电负性大的元素(如氮、磷、氧、硫、氟)取代与碳结合的氢原子,如 CH─→CHOH─→CHO─→HCOOH─→CO,如果原料完全转化为二氧化碳和水,则称为完全氧化或深度氧化;如果反应在中途停止,则称为选择氧化或部分氧化;烃类(特别是
氧化淀粉
性状本品为白色至淡黄色粉末;无臭;有较强的引湿性。本品在水或乙醇中不溶鉴别(1)取本品约0.1g,加水5ml,加热至沸,用力振摇,滤过,滤液加2,4-二硝基苯肼试液0.5ml,加热,溶液发生浑浊,冷却后析出黄色结晶,溶于乙醇中。(2)取本品约10mg,加碱性酒石酸铜试液1ml,加热即发生氧化亚铜沉淀
关于生物氧化的氧化作用
糖代谢中的三羧酸循环和脂肪酸β-氧化是在线粒体内生成NADH(还原当量),可立即通过电子传递链进行氧化磷酸化。在细胞的胞浆中产生的NADH ,如糖酵解生成的NADH则要通过穿梭系统(shuttle system)使NADH的氢进入线粒体内膜氧化。 (一)α-磷酸甘油穿梭作用 这种作用主要存在
用氧化数表示氧化还原的状态
对于离子化合物的氧化还原反应来说,电子是完全失去或完全得到的。但是,对于共价化合物来说,在氧化还原反应中,有电子的偏移,但还没有完全的失去或得到,因此用氧化数来表示就更为合理。例如:H2+Cl2=2HCl这个反应的生成物是共价化合物,氢原子的电子没有完全失去,氯原子也没有完全得到电子,只是形成的电子
两步氧化法快速合成高氧化石墨烯氧化物
石墨烯、氧化石墨烯等石墨烯基材料因其具有高比表面积、高导电性、高导热性和高吸附容量等独特的物理化学性质而受到广泛的研究。氧化石墨烯作为生物传感器或药物载体广泛应用于生物领域。石墨烯基材料作为电化学电源、超级电容器、燃料电池或电池在现代电子领域发挥着重要作用。由于石墨烯氧化物具有高的吸附容量和无毒性,
脂肪酸氧化的β氧化前提的介绍
1>脂肪酸的活化 和葡萄糖一样,脂肪酸参加代谢前也先要活化。其活化形式是硫酯——脂肪酰CoA,催化脂肪酸活化的酶是脂酰CoA合成酶(acyl CoA synthetase)。 活化后生成的脂酰CoA极性增强,易溶于水;分子中有高能键、性质活泼;是酶的特异底物,与酶的亲和力大,因此更容易参加反
阳极氧化膜制备工艺之硫酸阳极氧化
目前国内外广泛使用的阳极氧化工艺就是硫酸阳极氧化。硫酸阳极氧化生成成本低、工艺简单、时间短、生产操作易掌握、膜透明度高、耐烛性和耐磨性好,与其他酸阳极氧化相比,在各方面具有明显优势。由于硫酸交流阳极氧化的电流密度低,得到的氧化膜质量差,因此目前国内外大多采用直流硫酸阳极氧化。硫酸阳极氧化的工艺流程为
阳极氧化膜制备工艺之草酸阳极氧化
草酸阳极氧化工艺早在1938年以前就为日本和德国广泛采用。因为草酸对铝及铝合金的溶解度较小,所以氧化膜的孔隙率较低,因此膜的耐蚀性、耐磨性和电绝缘性比硫酸膜好。但草酸阳极氧化成本高,一般为硫酸阳极氧化的3-5倍;而且草酸氧化膜的色泽易随工艺条件变化而变化,使产品产生色差,因此该工艺在应用方面受到一定
氧化扩散设备之氧化扩散炉的应用
扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂,即将元素磷、硼扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。 最新的低压磷扩散利用低压氛
脂肪酸氧化的β氧化过程的介绍
脂酰CoA在线粒体基质中进入β氧化要经过四步反应,即脱氢、加水、再脱氢和硫解,生成一分子乙酰CoA和一个少两个碳的新的脂酰CoA。 第一步脱氢(dehydrogenation)反应由脂酰CoA脱氢酶活化,辅基为FAD,脂酰CoA在α和β碳原子上各脱去一个氢原子生成具有反式双键的α,β-烯脂肪酰
氧化还原反应氧化还原性的强弱判定
物质的氧化性是指物质得电子的能力,还原性是指物质失电子的能力。物质氧化性、还原性的强弱取决于物质得失电子的能力(与得失电子的数量无关)。 从方程式与元素性质的角度,氧化性与还原性的有无与强弱可用以下几点判定: (1)从元素所处的价态考虑,可初步分析物质所具备的性质(无法分析其强弱)。最高价态
COD测试中氧化剂的氧化能力
氧化剂的氧化能力 由于氧化剂的氧化能力有限,对于不同水质的水体,其氧化程度不同,从而造成测量值与实际情况不尤其含有难降解有机物的水样,其测得的COD值符。与理论值相差较大。用国家标准方法测COD,直链脂肪族化合物可被完全氧化,但芳香烃如苯和甲苯氧化乙醚甚至不能被氧化。若这些难氧化有机率低,吡啶
生物氧化的氧化作用过程
糖代谢中的三羧酸循环和脂肪酸β-氧化是在线粒体内生成NADH(还原当量),可立即通过电子传递链进行氧化磷酸化。在细胞的胞浆中产生的NADH ,如糖酵解生成的NADH则要通过穿梭系统(shuttle system)使NADH的氢进入线粒体内膜氧化。(一)α-磷酸甘油穿梭作用这种作用主要存在于脑、骨骼肌
金属氧化物氧化催化剂选择
应具有如下功能:①为反应物提供的氧量足以形成产物,但又不致使其完全氧化;②能为反应物提供吸附(或配位)部位,使之变形,成为活化状态;③能在反应物之间传递电子。以上这些要求使选择氧化催化剂在使用上受到极大限制,催化剂的选择性对反应条件十分敏感,与催化剂本身以及载体和助催化剂的结构也很有关系。氨氧化催化
阳极氧化膜制备工艺之磷酸阳极氧化
磷酸阳极氧化时最早用于铝材电镀的一种预处理工艺。由于氧化膜在磷酸电解液中溶解比硫酸大,因此磷酸膜薄(厚度约3μm),同时孔径大。因磷酸膜有较强的防水性,可阻止胶黏剂因水合而老化使胶接剂的结合力比较好,所以主要用于印刷金属板的表面处理和铝工件胶接的预处理。
1.88亿-华中科技大学公布2025年4至11月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将华中科技大学2025年4至11月政府采购意向公开如下:序号项目名称数量采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期1显微多普勒激光测振仪1台点击查看3502025年4月2氧化物单层
什么是β氧化?
β氧化是指脂肪酸在一系列酶的作用下,在α碳原子和β碳原子之间断裂,生成乙酰辅酶A,和较原来少两个碳原子的脂肪酰辅酶A 。脂肪酸β氧化过程可概括为活化、转移、β氧化及最后经三羧酸循环被彻底氧化生成CO2和H₂O并释放能量等。
氧化还原电极
氧化还原电极可以使用于任何pH/mv测定计上。ORP计使用时无需标定,直接使用即可,只有对ORP电极的品质或测试结果有疑问时,可用ORP标准溶液检查电位是否在200-275mv之间,以判断ORP电极或仪器的好坏。ORP测量电极(铂或金),其表面应该是光亮的,粗糙的或受污染的表面会影响电极的电位(mv
什么是β氧化?
β氧化是指脂肪酸在一系列酶的作用下,在α碳原子和β碳原子之间断裂,生成乙酰辅酶A,和较原来少两个碳原子的脂肪酰辅酶A [2] 。脂肪酸β氧化过程可概括为活化、转移、β氧化及最后经三羧酸循环被彻底氧化生成CO2和H₂O并释放能量等。脂肪酸在一系列酶的作用下,在α碳原子和β碳原子之间断裂,生成乙酰辅
氧化锌
性状本品为白色至极微黄白色的无砂性细微粉末;无臭;在空气中能缓缓吸收二氧化碳。本品在水或乙醇中不溶;在稀酸中溶解。鉴别(1)取本品,加强热,即变成黄色;放冷,黄色即消失(2)本品的稀盐酸溶液显锌盐的鉴别反应(通则0301)。检查碱度取本品1.0g,加新沸的热水10ml,振摇分钟,放冷,滤过,滤液加酚
氧化镁
性状本品为白色粉末;无臭,无味;在空气中能缓缓吸收二氧化碳。本品在水中几乎不溶,在乙醇中不溶;在稀酸中溶解。鉴别本品的稀盐酸溶液显镁盐的鉴别反应(通则0301)检查碱度取本品1.0g,加水50ml,煮沸5分钟,趁热滤过,滤渣用水适量洗涤,洗液并入滤液中,加甲基红指示液数滴,再加硫酸滴定液(0.05m