映芯谐振完成数千万元天使+轮融资，投资方为元禾璞华
近日，上海映芯谐振机电科技有限公司（以下简称为映芯谐振）宣布完成数千万元天使+轮融资，投资方为元禾璞华。 据悉，本轮融资资金将主要用于加速公司全球首创的超大孔径MEMS微镜阵列芯片以及LBS投显模组的研发和商业化批量生产出货。 映芯谐振是一家MEMS微镜阵列芯片研发生产商，主要从事MEMS芯片、器件及组件、微电子器件及组件、传感器应用系统集成研究开发、设计生产及销售等业务。inSync全球首创了MEMS微镜阵列芯片的核心技术，是业内唯一既能实现数百平方毫米超大孔径，又能保留MEMS高集成度、低成本的优势，还能100%通过车规级AEC-Q100标准(1500G Shock Test)的扫描器技术。......阅读全文
MEMS振荡器技术及其应用研究
随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。由于MEMS谐振器的动态阻抗和Q值对MEMS振荡器的设计与性能有着重要的影响,本文以得到低动态阻抗和高Q值ME
研究人员制备成功RF－MEMS振荡器
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。 基于微纳谐振器的MEMS振荡器，具有高频、高品质因子(>103)，可与IC电路在同一芯片集成，实现系统小型化，在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。
显微镜下确定MEMS传感器的边墙形貌问题
边墙形貌（sidewall profile）不佳微结构的边墙对器件性能有很大程度上的影响。通过光学显微镜看结构，所看到的边墙不是很好。特别是，刻蚀不足和沟槽通常是看不见的。然而，这些几何形变会明显改变弹簧和柔性板的机械性能。常见的检查方法/设备:切割晶圆，通过扫描电子显微镜观察（破坏性的测试）基于探
地质地球所发明一种MEMS传感器的集成封装方法
目前，电子元器件芯片朝着越来越复杂的方向发展，而传统的IC集成器件封装和金属管壳封装都会带来困难。例如MEMS传感器，为了提高其性能，往往需要增加可动质量块的厚度，使用传统的IC集成器件封装技术和国内外标准的LCC（无引脚芯片载体）封装管壳的腔体深度往往不能满足MEMS厚度的要求，极大地造成了封
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会时间：2024年11月1-3日 地点：厦门国际会展中心XISE EXPO展会介绍：2024中国（厦门）国际传感器与应用技术展览会将于2024年11月1-3日在厦门国际会展中心举行，本届展会秉承着"创造客户价值与引领产业发展"的宗旨，强化以"采购
射频MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件，它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能力和灵敏度，以及系统的重量、体积和成本，因此研究宽带、低插损的移相器在军事上和民用卫星通信领域具有重要的意义。近年来，随着RF MEMS开关的研究不断取得进展，使MEMS开关替代
中国传感器之殇：本是国之重器，却陷入六大怪相
智能少不了传感器 传感器是数据采集的源头，它无处不在。智能最前端所需要的态势感知，基本都是要从传感器开始。无论是智能制造、智慧城市、智慧医疗等，还是智能设备和大数据分析，再庞大的智能系统，都要从传感器的针尖上开始。 医疗器械界的奇兵——达芬奇手术机器人有四百多个传感器；鼎鼎有名的波士顿机器人
流量传感器内部结构及检测原理
MEMS传感器即微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。欧姆龙MEMS流量传感器，采用其独chuang的高精度加工技术，将流量传感器核心
流量传感器内部结构及检测原理
MEMS传感器即微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。欧姆龙MEMS流量传感器，采用其独chuang的高精度加工技术，将流量传感器核心
MEMS技术在海洋观测中的应用（一）
微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1
芯片产业的重要配套，造芯超纯水成为行业热点
芯片产业最近被广泛关注，与此同时，作为芯片产业的重要配套，造芯超纯水成为行业热点。近日，博天环境拟以3.5亿元收购高频环境70%股权，进一步提升在集成电路产业水处理市场的核心竞争力，此消息也引得业内瞩目。超纯水行业现状如何，有什么发展趋势？为此，本报约请行业分析师撰文，以飨读者。 近年来，我
国产“芯”填补超高端医疗装备自研专用芯片空白
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/3/495203.shtm近日，国内医疗企业“联影医疗”召开新品发布会，正式发布了全新一代分子影像技术平台——uExcel Technology和业界首款全芯无极数字正电子发射断层-X线计算机断层组合系统（PE
光子人工智能芯片助“中国芯”换道超车
算力是传统电子人工智能芯片的1000倍，但功耗只有其百分之一，低延迟还抗电磁干扰，由清华、北大、北交大等高校博士生创业研发的光子人工智能芯片，在技术上实现不少突破，未来可广泛应用于手机、自动驾驶、智能机器人、无人机等领域。近日，该光子人工智能芯片项目落户顺义，将这项新技术推向了台前。 “芯片
TOKO压力传感器芯体材质都有哪些？
目前，TOKO压力传感器芯体材质品种繁多，下面简单介绍下几种芯体材质的性能 一、单晶硅 硅在集成电路和微电子器件生产中有着广泛的应用，主要是利用硅的电学特性；在MEMS微机械结构中，则是利用其机械特性，继而产生新一代的硅机电器件和装置。硅材料储量丰富，成本低。硅晶体生长容易，并存在超纯无杂的
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
使用Tanner在物联网边缘智能器件设计中融合CMOS－IC与MEMS
简介创建基于传感器的物联网（IoT）边缘器件会涉及多个设计领域，因此极具挑战性（图1）。但是，在同一硅片上创建一个既有采用传统CMOS IC流程制作的电子器件，又有MEMS传感器的边缘器件似乎不大现实。实际上，许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片，将电子器件与MEMS设计分开。Tan
串联谐振与并联谐振
上海沪怡电气是一家专业研发生产串联谐振的厂家，本公司生产的串联谐振设备在行业内都广受好评，以打造优良的“串联谐振“高压设备供应商而努力。 对于直流高压电源来说，抗打火能力是电源的一个很重要的指标。对于抗打火能力，除了保护功能强大及地线处理良好外，电源拓朴选择也至关重要。如果电源自身具有抗
串联谐振与并联谐振
上海沪怡电气是一家专业研发生产串联谐振的厂家，本公司生产的串联谐振设备在行业内都广受好评，以打造优良的“串联谐振“高压设备供应商而努力。 对于直流高压电源来说，抗打火能力是电源的一个很重要的指标。对于抗打火能力，除了保护功能强大及地线处理良好外，电源拓朴选择也至关重要。如果电源自身具有抗
显微镜下确定MEMS传感器的不精确的材料特性
不精确的材料特性新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。常见的检查方法/设备:探针台（针对电性能）X射
显微镜下确定MEMS传感器的失败的释放工艺
失败的释放工艺所谓释放工艺，通常是为了形成MEMS器件中可动的机械部分，通过对连接机械部分到基底的材料进行不完全刻蚀来实现。当释放失败时，重要的是找到大部分释放结构释放成功而锚点没有释放好的区域。常见的检查方法/设备：单芯片器件层或结构测试（破坏性测试）（Break-off device layer
上海微技术工业研究院携手IMT－推进MEMS传感器发展
上海微技术工业研究院（SITRI）日前与美国最大的MEMS技术和制造服务提供商IMT（Innovative Micro Technology）签订战略合作协议，双方携手面向物联网应用MEMS传感器技术创新，共同推进MEMS技术发展。 作为物联网实现的基础，MEMS传感器广泛应用于智能
助力核心芯片发展！集成微系统封装平台今日苏州揭牌
5月11日，由江苏省纳米技术产业创新中心与中科院苏州纳米所纳米加工平台共建的集成微系统封装平台（MSPC， Micro System and Packaging Centre）揭牌仪式在苏州国际博览中心举行，第四届MEMS创新技术应用对接会暨中国半导体行业协会MEMS分会市场年会与揭牌仪式同期召
中国第三代自主超导量子芯片“悟空芯”发布
1月7日，量子计算芯片安徽省重点实验室、安徽省量子计算工程研究中心联合发布我国最新的自主可控超导量子芯片——“悟空芯”夸父 KF C72-300。该量子芯片已在近期发布的中国第三代自主超导量子计算机“本源悟空”上运行，拥有72个超导量子比特，能够实现量子叠加和纠缠等特性。该量子芯片的发布标志中国
打破垄断－拿下“制芯”关键技术－加速自主芯片研制进度
“PM2.5，是大家很熟悉的微小颗粒物，直径小于或等于2.5微米。但我们研制这种制造芯片的关键材料，在过程中如果进入了哪怕PM1.0的粉尘，这个材料就是废品，就不能被应用到芯片当中。”图片来源于网络 唐一林简单一句话，道出了集“超纯净”与“超均匀”于一体的制芯新材料——“光刻胶用线性酚醛树脂
借物联网东风－中国微纳产业异军突起
王红自从8月份以来就没有休息过了，作为中国微纳国际创新园的总经理，她的时间用“争分夺秒”来形容最恰当不过了，这一切源于8月7日的一个重要声音。 来自无锡的声音 走在无锡，你会发现到处都在建设，尤其是菱湖大道两旁，这里规划的是中国微纳国创新园。从去年开始，创新园已作为国内首家以“微纳技
上海芯片展中国芯片展2024上海芯片产业展会及传感器配件展会
展会名称：2024中国（上海）国际半导体展览会英文名称：China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18-19日 展会地点：上海新国际
中科院西安光机所等单位推出全球最薄气压计
12月15日，中科院西安光机所与其参股公司丽恒光微电子科技有限公司共同宣布，联合推出全球最薄气压计PS2606。该气压计采用中科院西安光机所的薄膜材料技术和丽恒光微独创的单芯片集成传感器方案设计，整个传感器厚度仅为0.65毫米。该产品也是全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压
MEMS陀螺仪应用与原理介绍
一定的初始条件和一定的外在力矩作用下，陀螺会在不停自转的同时，还绕着另一个固定的转轴不停地旋转，这就是陀螺的旋进（precession），又称为回转效应（gyroscopic effect）。 陀螺仪的种类很多，按用途来分，它可以分为传感陀螺仪和指示陀螺仪。传感陀螺仪用于飞行体运动的自动控制系
2021年全球MEMS传感器市场规模将达396.9亿美元
MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。 MEMS 传感器历经四次商业化浪潮 MEMS 传感器的发展离不开MEMS 技术商业化的推动。1987 年，美国
传感器将获工信部重点关注－千亿产业盛宴待飨
近日，在工信部召开的“智能制造发展对策研究”重大软课题部长专题会上，工信部副部长辛国斌指出，下一步将重点关注传感器、工业软件、工控系统以及系统集成等智能制造发展的“短板”，系统推进智能制造工作。 传感器作为万物互联的基础，在工业制造、智能汽车、通信电子和消费电子等多个领域应用广泛。目前，我国