10毫米大口径压电MEMS快反镜问世
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队，开发了一种高性能的10毫米大口径压电MEMS（微机电系统）快反镜，能够实现更精确的激光光束闭环控制，可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求，为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。相关研究近日发表于《微系统与纳米工程》。 快反镜在卫星激光通信中承担着光束指向、捕获和跟踪等重要作用，需要具备高指向精度、高工作带宽和高光学质量等一系列极限性能指标。然而，传统机械快反镜存在体积大、功耗高、有迟滞等挑战，同时原有MEMS快反镜镜面小、带宽低、无集成角度传感器等问题也亟待解决。 在前期研究基础上，研究团队开发了一种10毫米大口径压电驱动MEMS快反镜。该设计采用双层异构集成技术以及晶圆级键合工艺，器件具备高线性度超高角度分辨率、快速阶跃响应以及高重复定位精度。在结构设计方面，研究团队创新性引入力学定向结构形成应力集中区域，显著优化了光束控制的精确性......阅读全文
压电MEMS超声波换能器设计（一）
本文为OnScale与Mentor合作推出，由行业专家撰写，文章详细介绍了压电MEMS超声波换能器产品的设计过程，包括传感器的仿真、设计以及它与整个系统的集成。了解系统我们正在开发一种槽罐液位监测系统。该系统可以安装在啤酒厂、酿酒厂和其他饮料厂的物联网边缘设备中，用以收集液位的状态，并可主动通知技术
太赫兹相干反斯托克斯拉曼散射显微镜
太赫兹(THz)振动模式被认为存在于生物大分子中，在阐明其相应的生物功能方面具有重要的意义。然而，要观察这些生物大分子的低频振动模式是有挑战性的，尤其是在生物组织中。在THz区域缺乏一种可靠的高分辨率振动成像方法。所以，振动光谱成像在生物医学研究中具有重要的应用价值。然而，振动成像在太赫兹区域(
芯片级FTIR光谱仪
芯片级FT-IR光谱仪开启智能应用新时代近红外光谱已经广泛应用于科研、工业、农业、制药以及食品安全等领域的定性及定量物质分析。然而近红外光谱仪一直以来都因为体积大、价格高等问题限制了其在消费级产品中的应用。如今随着MEMS和ASIC技术的发展，Si-Ware公司推出了世界上最小的芯片级傅里叶红外光谱
固态激光雷达工作原理
固态激光雷达主要是依靠波的反射或接收来探测目标的特性，大多源自三维图像传感器的研究，实际源自红外焦平面成像仪，焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列，从无限远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上，探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持，通过输出缓冲和多路传输
MEMS振荡器技术及其应用研究
随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。由于MEMS谐振器的动态阻抗和Q值对MEMS振荡器的设计与性能有着重要的影响,本文以得到低动态阻抗和高Q值ME
MEMS技术在海洋观测中的应用（一）
微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1
物联网与MEMS应用论坛在上海召开
第四届微米纳米技术创新与产业化国际研讨展览会暨物联网与MEMS应用论坛在上海召开 11月23至24日，由国家发展和改革委员会、科技部、高技术研究发展项目（863项目）、国家自然科学基金委、中国仪器仪表学会暨微纳器件与系统技术分会、上海物联网中心共同主办, 中国科学院上海微系统与信息
MEMS技术在海洋观测中的应用（四）
⒊ 基于MEMS的惯性传感器惯性（加速度）传感器是一种技术比较成熟，应用比较广泛的MEMS传感器，主要应用于波浪观测。目前国内外波浪测量浮标通常采用传统的加速度传感器，这些传感器体积大、重量重、价格昂贵，从而使浮标的制作成本增加。近年来，随着基于MEMS的惯性传感器的技术逐渐成熟，MEMS惯
20点直播︱遇见MEMS领域大牛Mark教授
直播时间：11月11日（周四）20:00直播地址：科学网新浪微博直播间 扫码进入科学网新浪微博直播间观看直播 科学网微信视频号将同步直播 2021年11月11日（周四）晚8点（北京时间），大家期待已久的iCANX Story第23期即将重磅来袭，本期做客《大师故事》的嘉宾是微机电系统ME
MEMS气体传感器的设计与工艺
目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS
MEMS技术在海洋观测中的应用（二）
二、MEMS现状基于各种原因，许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功，其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动结构陀螺仪，是一款新的相当便宜的设备，目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪，以及将这些功能
后疫情时代，中国MEMS企业如何破局？
后疫情时代，中国MEMS企业如何破局？且看中国MEMS制造大会！ 2022年，珠三角、长三角、京津冀地区半导体产业接连受新冠疫情影响，带来汽车电子、消费电子类芯片产能极度紧缺，可谓“一芯难求”，同时也给国内半导体、MEMS领域中小企业的生存带来极大的挑战。既是挑战，亦是机遇，如何在后疫情
MEMS技术在海洋观测中的应用（三）
三、MEMS的应用领域MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点， 在很多领域得到广泛的应用。⒈ 信息业信息技术的发展，对设备提出了更高的要求，功能更加强大的同时体积缩小。从多媒体人机界面（HI）看，使用微麦克风的
胃食道反流的抗反流手术治疗
抗反流手术是不同术式的胃底折叠术，目的是阻止胃内容物反流入食管。抗反流术指征为： ①严格内科治疗无效； ②虽经内科治疗有效但患者不能忍受沉淀服药； ③经扩张治疗后仍反复发作的食管狭窄，特别是年轻人； ④确证由反流引起的严重呼吸道疾病。除第4项为绝对指征外，近年由于PII的使用，其余均已成
慢性反流性肾病反流的诊断方法
到目前为止排尿性膀胱尿路造影(MCU)仍为VUR检测及分级的金标准即通过导尿管注入76%泛影葡胺100ml加生理盐水500ml，在X线透视监测下，令病人排尿，观察膀胱尿液有否向上反流。反流分为5级。1级：尿液反流只达到输尿管下1/3段；2级：尿液反流达到输尿管、肾盂及肾盏但无扩张，肾盂穹窿正常；
蔡司发布超快扫描电子显微镜的升级版本
分析测试百科网讯 2015年10月17-21日，在芝加哥举行的年度神经科学大会上，蔡司将目前世界上速度最快之一的扫描电子显微镜进行了升级，推出了一款新产品：ZEISS MultiSEM 506。该仪器拥有91束并行工作能力，并通过三个因素增加了ZEISS MultiSEM 5
各荧光检测方法简介（流式、荧光显微镜、共聚焦、全内反...
很多细胞实验都要检测荧光，为方便大家选择合适的方法，在此简单说一下各种荧光检测方法的特点。不足的地方，欢迎大家补充：1、流式，优点是速度快，非常适合做大数量统计，且样品只被检测一次，完全不用担心荧光淬灭的问题。缺点是只能检测荧光的有无、强度大小，无法提供空间定位信息，无法做荧光定位变化的实验；由于样
老年人胃食管反流病的内镜与活组织检查介绍
内镜检查是诊断反流性食管炎最准确的方法，能直接察见黏膜病变，可判定反流性食管炎的严重程度和有无并发症。结合活组织检查可与其他原因引起的食管炎相鉴别，有利于明确病变的良恶性质。由于正常食管末端2.5cm范围黏膜的组织学发现可呈轻度炎症，故须在胃食管交界上方5～10cm处采取黏膜标本。内镜下见到有反
超高纯度反玉米素与反玉米素核苷
在植物组织培养科研与产业应用中，有一类细胞分裂素非常重要！今天的主角是反玉米素（反式玉米素，trans-Zeatin）和其衍生物-反玉米素核苷（反式玉米素核苷，trans-Zeatin Riboside），但故事得从玉米素讲起： ※ 玉米素（Zeatin，ZT）： 是一种天然植物细胞分裂素（cyt
江门打造食品药品快筛快检体系
2015年8月以来，江门市食品药品监管局“重拳”出击，开始建设快筛快检体系，力争通过科学检测，提高日常监管的靶向率，守护好群众“舌尖上的安全”。 该局全面构建市、县、镇三级监管机构和大型食品药品经营、农副产品批发市场、超级市场快筛快检立体检测体系，实现三区四市全覆盖。目前已建成1个市级中心，
2024MEMS传感器展会|2024上海国际MEMS传感器应用技术展览会「官网」
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
重庆研发出全球顶级MEMS传感器芯片
近日，记者从两江新区获悉，重庆企业研发出全球顶级MEMS(微机电系统)传感器芯片，这种芯片将用于监测桥梁、隧道等市政设施，监测精度比传统监测方式提升10倍。 据介绍，重庆德尔森传感器技术有限公司是落户两江新区的一家科技企业，2015年，该公司开发出MD系列MEMS传感器芯片。该芯片采用了多项创
研究人员制备成功RF－MEMS振荡器
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。 基于微纳谐振器的MEMS振荡器，具有高频、高品质因子(>103)，可与IC电路在同一芯片集成，实现系统小型化，在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。
MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有1
环境监测：MEMS传感器发展新趋势
物联网的崛起，使传感器进入了一个新的发展趋势。而消费者逐步对周边环境品质要求上升时，也带动了环境传感器的需求上涨。 在智慧型手机以及穿戴式装置应用中，陀螺仪、加速度传感器和磁力计等动作传感器已发展成熟。制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一
尺寸/成本优势兼具，MEMS光谱传感器亮相
微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫
基于MEMS磁传感器设计及制作（一）
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年 木秀于林惹风摧，华发渐生美人追。沙场追逐国战忙，残躯扬威我辈当。中国制造赴疆场，美中不足一身伤。暴风雨过连天阔，中华有为震四方。 前段时间，美总统及政府宣布了一系列针对华为的制裁措施，包括签下行政令禁止美国企业购买“外国对手”提供的电信设备和服务，将华为公司
MEMS传感器：无人机的核心（一）
无人机的市场规模和范围持续蓬勃发展，新应用程序不断涌现。无人机的应用也越来越普遍，无论是运送邮件还是包裹、为儿童和老年人提供娱乐、安全监控、农业或工业管理，或开辟航空摄影的新视野。最初，大多数无人机都是相对简单的玩具。然而最近，其飞行能力显著提高，使其更安全、更稳定、更易于控制，从而能够用于更广泛的
MEMS传感器：无人机的核心（二）
磁力计磁力计如同一部指南针，可以根据地球的磁场实现无人机的航向。Bosch Sensortec的BMM150就是一个例子，这是一部三轴数字地磁传感器。BMM150与BMI088型IMU结合使用，可提供九自由度（DoF）解决方案，用于航向估算和导航。在宽泛温度范围内的稳定性能、16位分辨率和抗强磁场的