聚焦前沿技术共探半导体痕量成分检测新路径
2025年7月17日，“质析毫微・谱绘万象”半导体痕量成分检测技术交流会在中国科学院上海应用物理研究所学术交流中心隆重举行。本次会议由中国物理学会质谱分会、北京雪迪龙科技股份有限公司联合主办，中国科学院上海应用物理研究所、分析测试百科网、中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组协办，吸引了众多科研院所、高校专家学者，半导体产业链企业技术负责人，检测仪器研发精英等齐聚一堂，共同探讨半导体检测技术的前沿动态与国产化发展之路。半导体痕量成分检测技术交流会参会人员合影半导体痕量成分检测技术交流会 会议伊始，分析测试百科网总经理卞利萍女士作为本次盛会的主持人，用饱满的热情迎接各位与会嘉宾。随后，中国物理学会质谱分会理事长方向、上海市科委科技基础设施与平台建设处处长张露璐、北京雪迪龙科技股份有限公司董事长敖小强以及中国科学院上海应用物理研究所所务委员黄鹤飞依次上台发表精彩致辞，为本次会议拉开帷幕。中国物理学会质谱分会理事长 方向 ......阅读全文
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备
质谱质谱联用为什么可以直接检测混合有机物
质谱连用是因为先有色谱分离，然后经过质谱才可以从混合物中检测有机物的。质谱对不同分子量的化合物本身具有选择性。质谱的原理是根据质核比来判断分子离子或碎片离子的相对质量,质量数不同的有机物一级质谱不同、质量数相同的不同有机物二级质谱不同,所以MS-MS联用可直接检测混合有机物。质谱分析是一种测量离子质
质谱常用离子源
无信号/荧光强度弱 不正确的信号补偿:检查流式细胞仪阳性单一颜色对照是否正确，通道和补偿设置是否能正确地捕获所有粒子；没有足够的抗体来检测:增加抗体的量/浓度；无法接近细胞内目标:检查目标蛋白是否在细胞内。 对于胞内染色，确保有足够的通透性。为防止细胞表面蛋白质的内化，该过程应用冰冷的试剂，
离子阱质谱的优势
离子阱强大的定性能力，在现场分析中仍待进一步挖掘。由于离子阱质谱具备储存离子的能力，故其可以将目标离子存储，碰撞，并再次检测，这就使得了单一的离子阱具有等同于三重四级杆的定性能力。由于目前还没有便携式的三重四级杆气质联用仪，故离子阱在定性方面的优势可谓是一枝独秀。如果能将离子阱质谱的这一优势充分
质谱常用离子源
最常用的离子源五种离子源为电子轰击源（EI）、化学电离源（CI）、电喷雾电离源（ESI）、大气压化学电离源（APCI）和基质辅助激光解吸电离源（MALDI）。目前我们所测试中心配备的主要是电子轰击源（EI）、电喷雾电离源（ESI）和大气压化学电离源（APCI）。那么我们配备的离子源的离子化原理及
离子阱质谱的功能
离子阱分析器它是由环行电极和上、下两个端盖电极构成的三维四极场。原理：将离子储存在阱里，然后改变电场按不同质荷比将离子推出阱外进行检测。 功能强大 离子阱有全扫描和选择离子扫描功能，同时具有离子储存技术，可以选择任一质量离子进行碰撞解离，实现二级或多级MSn分析功能。但离子阱的全扫描和选择离
质谱中的各种离子
1). 分子离子(molecular ion)分子被电子束轰击失去一个电子形成的离子称为分子离子。分子离子用M+•表示。分子离子是一个游离基离子。在质谱图上，分子离子对应的峰为分子离子峰。分子离子峰的应用：分子离子峰的质荷比就是化合物的相对分子质量，所以，用质谱法可测分子量。2). 同位素离子(is
离子阱质谱的应用
利用离子阱作为分析器的质谱仪称为离子阱质谱仪。使用最多的是由高频率电场进行离子封闭的保罗阱。由一个双曲面截面的环形电极和上下一对端电极构成。封闭在真空池内的离子，通过高频电压扫描，将离子按m/z从池中引出进行检测。 离子阱质谱仪是一种低分辨时间可以进行msn的测定。而且价格比其它类型的串联质谱
离子阱质谱相关简介
离子阱质谱（ITMS）是利用高电场使质谱进样端的毛细管柱流出的液滴带电，在氮气气流的作用下，液滴溶剂蒸发，表面积缩小，表面电荷密度不断增加，直至产生的库仑力与液滴表面张力达到雷利极限，液滴爆裂为带电的子液滴，这一过程不断重复使最终的液滴非常细小呈喷雾状，这时液滴表面的电场非常强大，使分析物离子化
质谱
不同质荷比的离子经质量分析器分离，而后被检测并记录下来的谱图叫作质谱图。简称质谱。质谱图的横坐标是质荷比(m/z) ，纵坐标是离子强度；质谱法(Mass Spectrometry) 即质谱分析法， 一般亦简称为质谱；质谱计(Mass Spectrometer): 采用顺次记录各种质荷比离子的强度的方
二次离子质谱原理是什么？应用哪些方面？
二次离子质谱（ Secondary Ion Mass Spectrometry ，SIMS）是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。 在传统的SIMS实验中，高能一次离子束
硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析
硅中氧、碳的二次离子质谱（SIMS）分析何友琴马农农王东雪（电子材料研究所 天津 300192）摘 要 本文采用相对灵敏度因子法，对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法，氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3。关
飞行时间二次离子质谱（TOFSIMS）研究
一、二次离子峰位归属煤及烃源岩中的有机组分的二次离子谱非常复杂，再加上目前对SIMS裂分机理掌握不够，因此，对煤及源岩有机质的SIMS谱图解释存在很多问题。目前对TOF-SIMS常见碎片离子峰认识程度综合于表7-7。本节研究重点是根据对现有峰位的认识，建立与13CNMR,Mirco-FT·IR可以类
质谱检测器的技术特点
1）与紫外，激光诱导荧光和电化学检测器相比，更是一种通用型检测器；2）由于质谱的选择性和专一性，弥补了样品迁移时间变化的不足；3）质谱检测的灵敏度优于紫外分光光度法；4）质谱在检出峰的同时还能给出分子量和结构信息；5）某些质谱技术可以给出多电荷离子，对分析大分子如糖，蛋白质等与CE联用更有利。
质谱检测器的技术特点
质谱检测器有如下特点：1）与紫外，激光诱导荧光和电化学检测器相比，更是一种通用型检测器；2）由于质谱的选择性和专一性，弥补了样品迁移时间变化的不足；3）质谱检测的灵敏度优于紫外分光光度法；4）质谱在检出峰的同时还能给出分子量和结构信息；5）某些质谱技术可以给出多电荷离子，对分析大分子如糖，蛋白质等与
质谱检测技术在中国临床应用
由广州医科大学金域检验学院与金域医学联合主办的“2017质谱技术临床应用实训班”于11月19日结业。据悉，这是全国首个由第三方医学检验机构主办的质谱技术培训班，致力于推动质谱技术在中国临床应用的发展。有专家表示，与国外相比，质谱技术在中国临床实验室中的应用起步较晚，发展较为缓慢，目前还处于起步
动态解析质谱检测全过程
质谱分析是先将物质离子化，按离子的质荷比分离，然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的的一种分析方法。 质谱分析原理：分子在真空中被电子轰击，形成离子，通过电磁场按不同m/e分离； 谱图的表示方法：以棒图形式表示离子的相对峰度随m/e的变化； 提供的信息：分子离子及碎片离子的质量数
质谱检测器的技术特点
1）与紫外，激光诱导荧光和电化学检测器相比，更是一种通用型检测器；2）由于质谱的选择性和专一性，弥补了样品迁移时间变化的不足；3）质谱检测的灵敏度优于紫外分光光度法；4）质谱在检出峰的同时还能给出分子量和结构信息；5）某些质谱技术可以给出多电荷离子，对分析大分子如糖，蛋白质等与CE联用更有利。
什么是质谱及质谱图
质谱（又叫质谱法）是一种与光谱并列的谱学方法，通常意义上是指广泛应用于各个学科领域中通过制备、分离、检测气相离子来鉴定化合物的一种专门技术。质谱法在一次分析中可提供丰富的结构信息，将分离技术与质谱法相结合是分离科学方法中的一项突破性进展。在众多的分析测试方法中，质谱学方法被认为是一种同时具备高特异性
博为氦质谱检漏仪在电子半导体密封性检测中的检漏应用
一、前言 半导体电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低使用性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同，应对产品提出不同的密封要求，国家则出具了统一的密封标准。 近年来由于电子行业的发展以及空
液质联用中的质谱——离子传输篇
在离子源离子化后，离子经过离子传输部分（习惯上称为Q0区）进入后续的质量分析器。最早的ESI在采样锥后使用了传输毛细管，可以进一步离子化，后面再经过六极杆或八极杆进行离子聚焦和传输。后来的商品化设计融入了各家的专利设计，比如有的采用加大孔径的毛细管，有的采用一组加了电压的锥板。在离子聚焦和传输部
离子探针质量显微分析仪
离子探针质量显微分析仪ion microprobe mass analyzer以聚焦很细(1～2微米)的高能(10～20千电子伏)一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，简称离子探针。简史 应用离子照射样品产生二
打质谱打质谱！你知道质谱究竟为何物吗？
随着质谱技术的日新月异的进步，作为研究科研的有利工具，也越来越受到大家的亲睐和欢迎，其中在各类组学中的广泛应用也会各类质谱仪器的选择密不可分，那对于组学中常用的仪器你了解多少，对于其区别和优势有是否清楚，今天我们就主要讲一讲质谱哪些事儿。 那我们先吊一下书袋子， 什么叫质谱？质谱（又叫质谱法）
打质谱打质谱！你知道质谱究竟为何物吗？
随着质谱技术的日新月异的进步，作为研究科研的有利工具，也越来越受到大家的亲睐和欢迎，其中在各类组学中的广泛应用也会各类质谱仪器的选择密不可分，那对于组学中常用的仪器你了解多少，对于其区别和优势有是否清楚，今天我们就主要讲一讲质谱哪些事儿。 那我们先吊一下书袋子， 什么叫质谱
质谱离子源的作用
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是 一种流强大产额高的离子源各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。 气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅
质谱离子源的分类
1 电感耦合等离子体，离子化效率高，且能电离几乎所有离子2 热电离 （通过高温电热丝离子化），稳定，但效率低。3 二次离子 （使用一次离子束轰击样品，从而激发离子），对样品损伤小，效率低
质谱中离子峰的确定
是指的分子离子峰吧?如果是, 应该说明白质谱是指的什么源的质谱仪器?不同的离子源有不同确定方法.如果是气质EI源, 一般来说,最大的m/z就是. 当然前提是样品是纯品. 也会出现失去水峰为最大的m/z峰的可能.如果是气质CI源, 一般来说,最大的m/z就是[M+反应气]. 前提同上.液质就比较复杂了
质谱中离子峰的确定
是指的分子离子峰吧?如果是, 应该说明白质谱是指的什么源的质谱仪器?不同的离子源有不同确定方法.如果是气质EI源, 一般来说,最大的m/z就是. 当然前提是样品是纯品. 也会出现失去水峰为最大的m/z峰的可能.如果是气质CI源, 一般来说,最大的m/z就是[M+反应气]. 前提同上.液质就比较复杂了
质谱离子源的作用
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是 一种流强大产额高的离子源各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。 气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅