2018年全球MEMS传感器竞争格局及发展趋势
区域竞争：产业向亚太转移，美、日、德依旧为领先国家 纵观全球MEMS传感器市场，美、日、德一直占据着主导地位。然而近年来，亚太地区（含日本）受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响，增长速度较快，2017年MEMS市场占比达到46.8%，反超美国、欧洲等区域。 尽管全球MEMS传感器产业向亚洲转移，但具体到国家来看，美国、日本和德国作为全球MEMS产业、技术和产品的发达国家，其行业发展水平依旧世界领先。 以美国为例，经过长期的发展，美国已发展为集官、产、学、研、金融等为一体的较为完整的MEMS产业体系。其用来进行MEMS产品生产的晶圆尺寸目前基本与IC同步，呈现大口径化、智能化，与人体神经元和大脑信息互通互联，与IC芯片、计算机软件、数据采集和处理技术等多位一体化发展的趋势。同时，应用领域也不断向军事、医疗、生物、仿生学、航空航天等领域全方位快速渗透和发展。 ......阅读全文
20点直播︱遇见MEMS领域大牛Mark教授
直播时间：11月11日（周四）20:00直播地址：科学网新浪微博直播间 扫码进入科学网新浪微博直播间观看直播 科学网微信视频号将同步直播 2021年11月11日（周四）晚8点（北京时间），大家期待已久的iCANX Story第23期即将重磅来袭，本期做客《大师故事》的嘉宾是微机电系统ME
MEMS技术在海洋观测中的应用（三）
三、MEMS的应用领域MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点， 在很多领域得到广泛的应用。⒈ 信息业信息技术的发展，对设备提出了更高的要求，功能更加强大的同时体积缩小。从多媒体人机界面（HI）看，使用微麦克风的
MEMS振荡器技术及其应用研究
随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。由于MEMS谐振器的动态阻抗和Q值对MEMS振荡器的设计与性能有着重要的影响,本文以得到低动态阻抗和高Q值ME
MEMS技术在海洋观测中的应用（一）
微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1
物联网与MEMS应用论坛在上海召开
第四届微米纳米技术创新与产业化国际研讨展览会暨物联网与MEMS应用论坛在上海召开 11月23至24日，由国家发展和改革委员会、科技部、高技术研究发展项目（863项目）、国家自然科学基金委、中国仪器仪表学会暨微纳器件与系统技术分会、上海物联网中心共同主办, 中国科学院上海微系统与信息
无人机/VR－无处不在的MEMS如何应用？（一）
虽然大部分人对MEMS（Microelectromechanicalsystems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了ME
国家863计划“6英寸SOI－MEMS标准加工技术及应用”验收
4月9日，中国电子科技集团公司第十三研究所承担的863计划先进制造技术领域项目“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。验收会由科技部高技术研究发展中心组织，来自东南大学、北京大学、北京理工大学、同济大学、中北大学、长春光机所的相关专家参加了
汽车传感器的发展趋势
未来的汽车传感器技术的发展趋势是微型化、多功能化、集成化和智能化。 20世纪末期，设计技术、材料技术，特别是Mems （微电子机械系统）技术的发展使微型传感器提高到了一个新的水平，利用微电子机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在同一芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠性
邹旭东：于微细处见神奇－MEMS技术引领新变革
微机电系统（MEMS）是融合了微电子、机械、材料领域技术发展的产物，它使用与集成电路加工技术相类似的制造工艺，制备出各种性能各异、价格低廉、微型化的传感器、执行器和微系统。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，它们具有很多传统器件无法比拟的优点，在国防安全、航空航天、信息工程、医疗卫
研究人员制备成功RF－MEMS振荡器
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。 基于微纳谐振器的MEMS振荡器，具有高频、高品质因子(>103)，可与IC电路在同一芯片集成，实现系统小型化，在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。
MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料
自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有1
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年
美国制裁下，中国MEMS的挑战与机遇元年 木秀于林惹风摧，华发渐生美人追。沙场追逐国战忙，残躯扬威我辈当。中国制造赴疆场，美中不足一身伤。暴风雨过连天阔，中华有为震四方。 前段时间，美总统及政府宣布了一系列针对华为的制裁措施，包括签下行政令禁止美国企业购买“外国对手”提供的电信设备和服务，将华为公司
压电传感器原理及应用（二）
二、压电MEMS传感器1、压电MEMS喷墨打印头喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案，目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时，CAD和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。MEMS技术为之带来了“诱人”的解决方案：每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴
MEMS全产业链资源将齐聚十月中国纳博会
“如果关注中国的MEMS产业，您就一定不要错过10月28日的第六届中国纳博会。本届大会将举办MEMS领域的国际研讨会、企业对接会、行业协会年会三大顶级盛会，将为关注MEMS产业的同行提供全产业链资源。”第六届中国纳博会组委会负责人蔡勇自豪地告诉记者。 据了解，中国纳博会是中国战略性新兴产业领域
2025年4月深圳国际微纳制造与传感器展邀请函
2025深圳国际微纳制造与传感器展览会“2025中国微纳制造技术应用峰会”时间：2025年4月9～11日 地点：深圳会展中心 微纳制造与传感器行业风向标----相约深圳，共襄盛举！组织单位 支持单位：中国半导体行业协会、深圳市微纳制造产业促进会主办单位：兰森展览（上海）有限公司承办单位：
流量传感器内部结构及检测原理
MEMS传感器即微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。欧姆龙MEMS流量传感器，采用其独chuang的高精度加工技术，将流量传感器核心
流量传感器内部结构及检测原理
MEMS传感器即微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。欧姆龙MEMS流量传感器，采用其独chuang的高精度加工技术，将流量传感器核心
国内传感器产品向高端市场迈进
在物联网快速发展的时代下，传感器行业也迎来了前所未有的市场。传感器受到了国内外厂商的高度重视，而国内传感器厂商其产品开始向高端市场迈进，以获得更好的发展。 高端传感器市场蓬勃发展 随着物联网在各行业的落地，传感器市场面临高速增长。据IHS2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动M
使用Tanner在物联网边缘智能器件设计中融合CMOS－IC与MEMS
简介创建基于传感器的物联网（IoT）边缘器件会涉及多个设计领域，因此极具挑战性（图1）。但是，在同一硅片上创建一个既有采用传统CMOS IC流程制作的电子器件，又有MEMS传感器的边缘器件似乎不大现实。实际上，许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片，将电子器件与MEMS设计分开。Tan
传感器的常见类型有哪些
2020年最xin的传感器，包括用于物联网和可穿戴设备的传感器，它们将很快改变电子行业。不论是检测病人蛋白质水平的无声心脏病检测器，还是警告纠正乘员坐姿错误的椅子，这两种创新方案都是近期发明的。而传感器在电子设备中起着至关重要的作用。事实上，随着科学技术的进步，传感器的应用也在不断扩展。
863计划“水陆交通安全传感器及系统”课题通过验收
近期，科技部组织召开了863计划“水陆交通安全传感器及系统”课题验收会。验收专家听取了课题汇报，审查了相关资料，进行了现场考察并观看了成果演示，一致同意该课题通过验收。 “水陆交通安全传感器及系统”课题针对水路交通和公路交通安全需求，基于MEMS矢量水听器开展了水路交通安全避障系统研究，解
硅基MEMS制造技术检测方法国际提案介绍
1. 提案背景MEMS是指用微电子技术和微加工技术相结合的工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。MEMS已经步入我们生活的很多方面，包括汽车电子、消费电子以及医疗等领域。例如，在消费电子领域，苹果公司颇有想象力地使用MEMS加速度计来支持iPhone显示
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
MEMS振荡器与传统石英晶振的区别
Sitime全硅MEMS振荡器的实现原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服现有石英晶振的很多先天劣势。Sitime全硅MEMS振荡器与传统石英晶振的比较，有哪些优势呢？采用全硅MEMS技术所带来的优势：1、体积优势石英晶振的振荡频率受石英晶体的体积所限，而要切割微小体积的石英晶体非常困难，且石
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
智能传感器技术特点及发展趋势
随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展，智能传感器的市场份额将以约36％的年均复合增长率（CAGR）增长，预计在2020年达到104.6亿美元。智能传感器由传感元件、信号调理电路、控制器（或处理器）组成，具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可提升传感器的精度，降 低 功耗和体积，实现
角加速度计的未来发展
对角加速度传感器的研究目前朝两个方向发展。一个发展方向是采用MEMS技术对传感器进行微型化，MEMS角加速度计能够将传感部件与检测控制电路集成在一起，从而它的体积小、重量轻、性能可靠。这种角加速度计已经成功应用于硬盘防冲击、防振动前向反馈控制系统中，并且在汽车驾驶安全控制、卫星姿态控制、飞弹运动
地震信号检测网络的基础知识（四）
根据地震检波器的机械规格可以创建等效电气模型。图4显示了使用SM－6 4．5 Hz地震检波器的机械参数的电气模型。17图4．使用产品数据表中的机械参数得出的SM－6 4．5 Hz地震检波器的等效电气模型17为了扩展带宽以覆盖适用于地震检测的较低频率，可以使用周期扩展器。低频响应扩展的三种最常见方法是
半导体所MEMS器件低成本圆片级低温键合方法研究获进展
基于Au-Sn二元系中富Sn区域的圆片级局域加热键合及其中间层相组成 封装是微纳机电系统（MEMS/NEMS）产业化前最后的但决定器件成败的最关键的一步加工技术，最近几年已经引起了越来越多的关注。当前国际上MEMS/NEMS较为成熟的封装工艺为键合工艺，几个发展比较成熟的键
国内权威！第十届中国国际MEMS技术及应用展10月苏州举办
2018第十届中国国际MEMS技术及应用展（CHINA MEMS 2018）将于10月24-26日在苏州工业园区与第九届中国纳博会同期举办。作为国内最权威、最专业、知名度最高的MEMS展览会，即将走过十年之路的CHINA MEMS 2018成为本届纳博会备受关注的亮点。 据了解，CHINA M