微电子所垂直纳米环栅器件研究获进展
与目前主流的FinFET器件相比，纳米环栅器件（GAA）在可微缩性、高性能和低功耗方面更具优势，被认为是下一代集成电路关键核心技术。其中，垂直纳米环栅器件（VGAA）由于在垂直方向上具有更多的集成自由度，可增加栅极和源漏的设计空间，减少器件所占面积，更易实现多层器件间的垂直堆叠并通过全新的布线方式进一步增加集成密度，因此，成为2纳米及以下CMOS和高密度DRAM等逻辑及存储芯片制造技术方面具有潜力的基础器件。 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员朱慧珑团队于2016年提出，并于2019年首次研发出自对准金属栅的垂直环栅纳米晶体管，相关成果发表在IEEE Electron Device Letters上（DOI: 10.1109/LED.2019.2954537）。此后，团队对原子层选择性刻蚀、阈值电压调节、沟道锗组分、硅化物工艺、可靠性和热预算等重要工艺进行持续研发和优化，获得了兼容主流CMOS工艺的器件集......阅读全文
朱慧珑团队在铁电垂直环栅纳米器件研究获进展
铁电晶体管（FeFET）具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点，被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下，由于器件栅长（小于18纳米）和铁电薄膜厚度（大约10纳米）相近，基于FinFET和水平环栅晶体管（GAA
微电子所发明ZL荣获“中国ZL优秀奖”
近日，国家知识产权局印发《关于第十七届中国ZL奖授奖的决定》（国知发管字〔2015〕67号），中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员朱慧珑的中国发明ZL“半导体器件及其制造方法”（ZL号：ZL 200910235339.9）荣获“中国ZL优秀奖”。 “半导体器件及其制造方法”提
“工商科学家”的前瞻布局－－极大规模集成电路关键技术集体
22纳米高K介质/金属栅工程、14纳米FinFet器件、新型闪存器件、可制造性设计……这些关键技术的突破，标志着我国在集成电路这一高度全球化的高科技竞争领域前沿拥有了一席之地。 提出了“ZL指导下的研发战略”，并首次实现了向大型制造企业的许可转让……这些成果的取得，都离不开中科院微电子所“极
我国科学家在新型垂直纳米环栅器件研究中取得进展
垂直纳米环栅晶体管是集成电路2纳米及以下技术代的主要候选器件，但其在提高器件性能和可制造性等方面面临着众多挑战。在2018年底举办的国际集成电路会议IEDM上，来自IMEC的Ryckaert博士将垂直纳米器件的栅极长度及沟道与栅极相对位置的控制列为关键挑战之一。 中国科学院微电子研究所先导中心
朱慧兰：对光线过敏，该如何防治？
“为何都在阳光下走，别人只是晒黑了，我的皮肤却又红又痒又肿？”在日常的门诊中，广州市皮肤病医院教授朱慧兰经常遇到患者提出这样的问题，尤其在夏季。“这其实是光敏性皮肤病，简单地说就是对紫外线、可见光等过敏，皮肤发生变化。”朱慧兰（受访者供图）一年四季可发病目前，学术界认为光敏性皮肤病的病因较复杂，但最
微电子所垂直纳米环栅器件研究获进展
与目前主流的FinFET器件相比，纳米环栅器件（GAA）在可微缩性、高性能和低功耗方面更具优势，被认为是下一代集成电路关键核心技术。其中，垂直纳米环栅器件（VGAA）由于在垂直方向上具有更多的集成自由度，可增加栅极和源漏的设计空间，减少器件所占面积，更易实现多层器件间的垂直堆叠并通过全新的布线方
微电子所在铁电垂直环栅纳米器件研究方面取得进展
铁电晶体管（FeFET）具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点，被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下，由于器件栅长（小于18纳米）和铁电薄膜厚度（大约10纳米）相近，基于FinFET和水平环栅晶体管（GAAFE
中科院微电子研究所采购6700万元仪器设备
自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，价值过亿。 2011年1月19日，中国政府采购网再次公布了中国科学院微电子研究所十一批和十三批的部分仪器采购结果，这两批仪器价值6777万元。具体内容如下： 采购人名称：中国
微电子所在铁电垂直环栅纳米器件研究方面取得进展
铁电晶体管（FeFET）具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点，被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下，由于器件栅长（小于18纳米）和铁电薄膜厚度（大约10纳米）相近，基于FinFET和水平环栅晶体管（GAA
中国22纳米技术获重大突破赶上英特尔
中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心(以下简称先导工艺研发中心)通过4年的艰苦攻关，在22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设上，实现了重要突破，在国内首次采用后高K工艺成功研制出包含先进高K/金属栅模块的22纳米栅长MOSFETs，器件性能良好。 据《中国科学报》报道，由于这一工
中科大与微电子所联合成立微纳电子系统集成研究中心
9月18日，中国科学技术大学与中科院微电子研究所联合成立“微纳电子系统集成研究中心”揭牌。中国科大校长侯建国，该研究中心主任、微电子所所长叶甜春以及20多个国内外著名芯片代工厂、高校与IC企业的60多名高管、领导、专家、教授等出席了揭牌仪式。 在揭牌仪式上，该研究中心执行主任、中国科大“千人计
基金委地球科学部公布一批评审组名单
根据相关规定，现将地球科学部2022年度原创探索计划项目预申请审查会和评审会名单公布如下： 曾令森，常进，车慧正，单新建，樊军辉，费建芳，冯珑珑，付永硕，高原，黄清华，李新，林隽，刘财，刘良云，缪驰远，潘永信，秦礼萍，宋述光，王林，王小萍，肖伏良，徐义贤，杨振宇，叶为民，袁运斌，张拴宏，张瑶，张
微纳电子系统集成研究中心揭牌
9月18日，中国科学技术大学与中科院微电子研究所联合成立“微纳电子系统集成研究中心”揭牌。中国科大校长侯建国，该研究中心主任、微电子所所长叶甜春以及20多个国内外著名芯片代工厂、高校与IC企业的60多名高管、领导、专家、教授等出席了揭牌仪式。 在揭牌仪式上，该研究中心执行主任
饶毅评朱易事件：朱易先回国，朱父后回国
【一位年轻人被冰刀严重刺伤而顽强坚持，却换来莫须有罪名的心灵创伤。不能要求人人都善良，但是，人能够没有恻隐之心吗？ 朱易不是自己争取回国的。因为中国冰雪运动较弱，中国体育总局想方设法物色海外有华人血统的运动员，请了多位回国，朱易是第一位。 当时体育部门根本不知道其父亲的重要性，家庭对朱易回国
慧差的概念和特点
慧差是由于轴外点宽光束的主光线与球面对称轴不重合，而由折射球面的球差引起的。如果将入瞳设置在球面的球心处，则通过入瞳的主光线与辅助光轴重合，此时轴外点同轴上点一样，入射的上下光线对将对称于该辅助光轴，出射光线也一定对称于辅轴，球面将不产生慧差。入瞳偏离球心越远，失对称的现象越严重，慧差也就越大。
慧差的概念和特点
位于光轴以外的物点，由于偏离了共轴球面系统的对称轴位置，成像后的光束聚焦情况比轴上点要复杂得多。子午面是系统的对称面，也是光束的对称面，该平面内的光束经系统成像后仍位于该平面内。因此，可以用平面图形表示出子午光束的结构。轴外物点B发出充满入瞳的一束光，这束光以通过入瞳中心的主光线为对称中心。考察主光
朱清时：南科大没有朱清时要照样运行
3月2日，北京会议中心，南科大校长朱清时接受记者采访。 毫无疑问，朱清时是去年风头最劲、也最难的大学校长。 宣称要在中国打造一所“教授治校”的大学，这位卸任的中科大校长先是以63岁高龄出任正在筹办的南方科技大学校长，而后又在教育部未批复的情况下，擅自拍板：自主招生、自授文凭。
安科慧生参展美国Pittcon－2025
一年一度的美国匹斯堡展会2025年3月3日-5日在波士顿召开，Pittcon旨在展示分析研究和科学仪器的最新进展，同时提供继续教育和科学交流的机会。2025年有接近500家仪器和部件厂商参展，来自中国的仪器和零部件、消耗品厂商有50多家参展。北京安科慧生已是第三次参展美国Pittcon，本此安科慧生
微电子所与中兴微电子技术有限公司签署战略合作协议
4月28日，中国科学院微电子研究所与深圳市中兴微电子技术有限公司在北京举行战略合作协议签字仪式。微电子所所长叶甜春、深圳市中兴微电子技术有限公司总经理王晓明代表双方签署战略合作协议。 仪式上，叶甜春代表微电子所对王晓明一行的到来表示欢迎。所长助理王文武介绍了研究所的战略定位、组织结构和相关科研
微电子所与中兴微电子技术有限公司签署战略合作协议
4月28日，中国科学院微电子研究所与深圳市中兴微电子技术有限公司在北京举行战略合作协议签字仪式。微电子所所长叶甜春、深圳市中兴微电子技术有限公司总经理王晓明代表双方签署战略合作协议。 仪式上，叶甜春代表微电子所对王晓明一行的到来表示欢迎。所长助理王文武介绍了研究所的战略定位、组织结构和相关科研
北京微电子国际研讨会举行
7月19日，由北京市经信局、北京经济技术开发区联合主办的2023北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会新闻发布会在北京经开区举行，现场发布2023北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会将于9月25日至27日在北京经开区举办。 2023北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会将以“凝芯
微电子自旋共振波谱仪
微电子自旋共振波谱仪是一种用于化学、自然科学相关工程与技术、材料科学、环境科学技术及资源科学技术领域的分析仪器，于2018年7月11日启用。 技术指标 灵敏度：8*1013 spin/T；分辨率 0.006mT；最大磁场强度0.7T；扫描宽度10-4-0.65T；波段范围：X波段；微波功率：
阴和俊调研微电子所
7月6日，中科院副院长阴和俊调研中国科学院微电子研究所。 微电子所所长叶甜春、党委书记李培金、副所长周玉梅、副所长周也方及所属各部门负责人、千人计划学者、百人计划学者和部分科研骨干80余人参加了座谈会。叶甜春所长首先从微电子所概况、未来科研发展重点、产业化发展重点、新方向拓展
微电子工艺实习实践教学研究
1 开展微电子专业实习实践的必要性实践教学对于大多数工科课程都具有十分重要的作用，微电子学是基于半导体工艺的工程技术学科，直到21世纪前10年，半导体器件发展基本遵循摩尔定律，加工技术突飞猛进。尤其是集成电路课程相对于其他学科更加偏重于对微米甚至纳米级物理效应的研究，知识体系复杂，学生理解和掌握的难
20岁傅园慧启示：她推动进步！
一、的一个变化 我对一直有个小意见 可能是北京发行了最大的报纸，但我对她有个小意见~对体育的报道太少……对体育版面甚为“小气”。 今天8月9日，大变脸：头版、A03版、A19版、A2版和A23版，即有5个版面都
“慧”系列智能知识服务产品发布
中国科学院张涛副院长讲话。中科院文献情报中心供图 12月27日，中国科学院文献情报中心在北京首次公开发布了“慧”系列智能知识服务产品，将面向全中科院提供科技大数据精准知识服务，进而全面推动文献情报服务向智能、精准、及时、主动、开放的科技知识服务转型。 中科院副院长张涛出席会议并致辞。张涛指出，
“慧”系列智能知识服务产品发布
近日，中国科学院文献情报中心在京首次发布“慧”系列智能知识服务产品，将向中科院全面提供科技大数据精准知识服务，进而全面推动文献情报服务向智能、精准、及时、主动、开放的科技知识服务转型。 中科院副院长张涛出席会议时指出，随着信息时代的到来，数据信息爆炸式增长，数据密集型科研范式成为重要的科研范式
宋慧献：要ZL还是要救命
有亲戚患恶性肿瘤。医生提示，化疗并无效果，只有一种药对症，“格列卫”。不过，价格惊人，按剂量，每月至少2.5万元人民币。以该患者及其家属的条件，病人恐怕只能望药兴叹！ 正当山穷水尽之时，忽然柳暗花明，一个新的发现让患者家属燃起新的希望。 在万能的互联网上搜寻，很多人在兜售一种价格低廉（比较而言）的“
中科慧拓发布愚公矿山大模型
6月2日，中国自动化学会新质生产力和智能产业工作委员会（筹）筹备会议在北京召开。会上，中国科学院自动化研究所、中国矿业大学（北京）、中科慧拓联合发布愚公矿山大模型。中科慧拓首席执行官陈龙介绍了愚公矿山大模型以及首批产品：矿山AI助手“矿宝”是一款面向矿山从业人员的AI助手，可以轻松理解自然语言指令，
土壤“厨师”朱永官
春天，江南地区蚕豆花开。作为土壤学家，中国科学院院士、中国科学院生态环境研究中心研究员朱永官眼里的蚕豆是典型的固氮植物，可以通过根瘤菌直接利用空气中的氮气，对培肥土壤很有用处。 他还等待着蚕豆努力结出肥硕的豆荚，到夏天就可以吃了。雪菜炒新蚕豆、干炒蚕豆、油盐豆、脚皮豆、芽出豆……都是伴随他成长的