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聚焦离子束的工作原理

液态金属离子源离子源是聚焦离子束系统的心脏,真正的聚焦离子束始于液态金属离子源的出现,液态金属离子源产生的离子具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点,使之成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金属在强电场作用下产生场致离子发射所形成的离子源[1、2]。液态金属离子源的基本结构如图1所示在源制造过程中,将直径0.5mm左右的钨丝经过电化学腐蚀成尖端直径只有5-10μm的钨针,然后将熔融的液态金属粘附在钨针尖上,在外加强电场后,液态金属在电场力作用下形成一个极小的尖端(泰勒锥),液态尖端的电场强度可高达1010V/m。在如此高的电场下,液态表面的金属离子以场蒸发的形式逸出表面,产生离子束流。由于液态金属离子源的发射面积极小,尽管只有几微安的离子电流,但电流密度约可达106A/cm2,亮度约为20μA/sr。聚焦离子束系统聚焦式离子束技术是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割技术,目前商用FIB系统的粒子......阅读全文

聚焦离子束系统知多少?

纳米科技是当今国际上的一个热点。纳米测量学在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用,纳米加工是纳米尺度制造业的核心,发展纳米测量学和纳米加工的一个重要方法就是电子束,离子束技术。近年来发展起来的聚焦离子束纳米加工系统用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,结合扫描电子显微镜实时观察,开辟了从

聚焦离子束(FIB)技术介绍

1.引言     随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束(FIB)技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显

聚焦离子束的工作原理

   液态金属离子源离子源是聚焦离子束系统的心脏,真正的聚焦离子束始于液态金属离子源的出现,液态金属离子源产生的离子具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点,使之成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金属在强电场作用下产生场致离子发射所形成的离子源[1、2]。液

2013年度北京电子显微学年会大会报告(一)

  2013年12月24日, 2013年度北京市电子显微学年会在北京天文馆隆重召开,会上,来自中科院、北京大学、北京工业大学、北京建筑大学、钢铁研究总院等多位专家学者带来了关于电镜在教学科研、纳米材料、生物医药、探伤等方面应用的精彩报告,科扬、FEI、蔡司、布鲁克、牛津

聚焦离子束加工中的主要缺陷

聚焦离子束(FIB)是一种微纳米加工技术,其基本原理与扫描电子显微镜(SEM)类似,采用离子源发射的离子束经过加速聚焦后作为入射束,高能量的离子与固体表面原子碰撞的过程中可以将固体原子溅射剥离,因此,FIB更多的是被用作直接加工微纳米结构的工具。结合气体注入系统(GIS),FIB可以辅助进行化学气相

一种新型二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统

  1 引 言   二次离子质谱(Secondary ion mass spectrometry, SIMS) 是目前灵敏度最高的表面化学分析的手段之一。它具有10-9量级的灵敏度, 能分析几乎所有的导体、半导体和绝缘体材料, 甚至还可以检测不易挥发的有机分子等[1~3]。通常, 

聚焦离子束显微镜FIB都有哪些功能?

聚焦离子束显微镜FIB主要用途: 芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。聚焦离子束显微镜FIB应用范围: 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析。在各类应用中,以线路修补和布局验证这一

原位电性能测试

 聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。目前商用系统的离子束为液相金属离子源,金属材质为镓(Ga),因为镓元素具有低熔点、低蒸气压及良好的抗氧化力;典型的离子束显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦

两台“特殊”质谱仪落户核工业北京地质研究院

  核工业北京地质研究院分析测试研究中心是以核能材料、放射性标准物质的制备、地质矿产和环境分析测试技术研究与服务为主的综合性检测实验室技术机构,也是核工业地质行业的仲裁分析测试实验室,是地质行业同位素分析、微束分析等领域的权威机构。  核工业北京地质研究院分析测试研究中心采购了两台特殊的质谱仪,今年

聚焦离子束显微镜(FIB)机台和测试方法简介

工作原理聚焦离子束显微镜(FIB)的利用镓(Ga)金属作为离子源,再加上负电场 (Extractor) 牵引尖端细小的镓原子,而导出镓离子束再以电透镜聚焦,经过一连串可变孔径光阑,决定离子束的大小,再经过二次聚焦以很小的束斑轰击样品表面,利用物理碰撞来进行特定图案的加工,一般单粒

聚焦离子束技术(FIB)技术应用

   聚焦离子束技术(Focused Ion beam,FIB)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近

一种原子力显微镜探针及其制备方法与流程

背景技术:传统的原子力显微镜探针是由微电子机械技术加工而成,其材料成分为硅或者氮化硅,其缺点是缺乏韧性,容易破损。本发明引入聚合物通过紫外固化、并引入金、镍纳米颗粒,使得探针既有一定硬度,亦有一定的韧性。技术实现要素:目的:为了克服现有技术的缺陷,本发明提供一种原子力显微镜探针及其制备方法,既可以增

聚焦离子束(FIB)直写技术研究

现代半导体制造业迅速发展,对产品的质量要求越来越高,对相关的微分析技术的要求也越来越高。除了IC 制造以外,纳米结构在新元件上应用越来越多,特别是纳米光子和纳米光学。聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)系统是在常规离子束和聚焦电子束系统研究的基础上发展起来的,除具有扫描电子显微镜具

TESCAN中国总经理冯骏:酒香也怕巷子深

  分析测试百科网讯 2017年10月10日~13日,北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2017)在北京国家会议中心举办,泰思肯贸易(上海)有限公司(以下简称“TESCAN”)携新品参加了此次展会。分析测试百科网有幸采访到TESCAN中国总经理冯骏,听他介绍了TESCAN中国公司发展情况以

“重大科学仪器设备开发”重点专项2020年度项目申报指南

  为切实提升我国科学仪器设备的自主创新能力和装备水平,促进产业升级发展,支撑创新驱动发展战略的实施,经国家科技计划战略咨询与综合评审特邀委员会、国家科技计划管理部际联席会审议,“重大科学仪器设备开发”重点专项已于2016 年度启动。根据本重点专项实施方案的部署,现发布2020 年度项目申报指南。 

从样品制备到实际操作,手把手教你拍出高质量TEM照片

透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)具有很高的分辨率和放大倍数高,广泛应用于材料科学、地球科学、医学和生命科学等领域。透射电子显微镜结合不同的附件(X射线能谱分析(EDS)、电子能量损失谱(EELS)),可以同时提供形貌、成分、结构信息,它可以揭

拉曼光谱-扫描电镜联用实现对碳材料的快检分析 (一)

简介:碳材料通常都具有一些特殊的性质,这些性质使得它们在许多工业领域内都具有广泛的应用。例如石墨烯、石墨、金刚石等就是几种由碳元素组成,互为同素异形体的碳材料。这些碳材料都具有强度高、轻量化、导电能力强、耐热性好等特点。并且它们都是由碳元素组成,彼此以碳-碳键连接。这种特点使得碳材料极其适合采用拉曼

氩离子抛光在石油地质中的应用

氩离子抛光是一种精细抛光制样技术,在材料科学、石油地质学等领域有着非常广泛的应用,尤其对于成分、软硬度不均匀的样品有着非常好的抛光效果,且具有加工速度快、可以选择我们需要观察的位置进行定点抛光等优点。获得的纳米级的抛光截面和平面样品以便进行电子显微学的观察和分析。本次讲座,展示了氩离子抛光技术在石油

物理所在三维纳米结构的加工与应用研究中取得进展

  三维纳米结构既可具有纳米材料与结构所赋予的量子效应、尺寸效应与表面效应等新奇物性,又可通过三维几何结构实现电声子输运与耦合、自旋极化、激子行为、波阵面调控等物性的协同调制,获得平面器件不具有的功能。目前,三维纳米结构的可控加工方法明显不足,阻碍了三维纳米器件的发展,并制约着高端纳米产业化技术的形

TESCAN(中国)与上海交大分析测试中心联合实验室揭牌

  ——暨TESCAN(中国)上海应用中心开幕  分析测试百科网讯 2017年5月18日,上海交通大学分析测试中心和TESCAN(中国)联合实验室揭牌仪式在上海交通大学闵行校区举办。上海交通大学分析测试中心主任张兆国、副主任金承钰、副研究员何琳,TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Kl

聚焦离子束法制备冷冻含水超薄切片

  低温电子断层成像三维重构(cryo-ET)技术是发展结构生物学和细胞生物学重要的研究手段。该技术可以得到更真实的接近天然状态的细胞内部高分辨率的三维结构以及蛋白质大分子定位及相互作用的信息,是蛋白质组学研究的重要辅助手段被成为“可视化蛋白质组学”(Visual Approach to Prote

日本电子发布截至3月31日的2020年财报:收入1172亿日元

分析测试百科网讯,日本电子(JEOL)发布截止到2020年3月31日的2020年财报,销售收入1172.43亿日元,相比去年1112.89亿日元增长5.4%。2019年毛利润448.65亿日元,毛利率为38.27%,运营利润7.03亿日元,相比去年增5.4%,净利润为5.389亿日元,净利润率为4.

芯片反向技术干货:FIB芯片电路修改(一)

  在各类应用中,以线路修补和布局验证这一类的工作具有最大经济效益,局部的线路修改可省略重作光罩和初次试作的研发成本,这样的运作模式对缩短研发到量产的时程绝对有效,同时节省大量研发费用。封装后的芯片,经测试需将两条线路连接进行功能测试,此时可利用聚焦离子束系统将器件上层的钝化层打开,露出需要

二次离子质谱SIMS应用:从半导体材料到生命科学

在2012年以前,汪福意研究员一直带领团队通过有机质谱,如电喷雾电离质谱(ESI-MS)、基质辅助激光解析电离质谱(MALDI-MS)等进行药物相互作用组学研究、抗肿瘤药物的研究和开发等工作。一次与生物学家偶然的讨论给汪福意带来了启发,他萌生了使用高空间分辨率的二次离子质谱成像进行化

碳材料的高效检测:拉曼光谱&扫描电镜的联动操作 (二)

5集拉曼光谱、扫描电镜及聚焦离子束于一体:图1:将共聚焦显微拉曼光谱仪安装到聚焦离子束扫描电镜上,两种分析之间的切换只需通过单击鼠标即可完成将共聚焦显微拉曼光谱仪安装到聚焦离子束扫描电镜上,由此产生的一种新型分析工具能够更加轻易、方便的对待分析区域进行扫描电镜分析或者拉曼光谱分析,两者之间的切换也更

泰斯肯中标吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统

  分析测试百科网讯 近日,吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统(JLU-ZC19100)招标采购项目评标工作已结束,功能扩展性要求投标产品可扩展安装飞行二次质谱仪(TOF-SIMS)或拉曼光谱单元(需提供证明文件及至少两名国内用户)。此次采购共计1套,中标品牌:TESCAN SOLARIS,中标

武汉大学预算1000万采购质谱仪

  近日,湖北省武汉大学发布一条采购计划,于2020年9月政府采购聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统项目所在采购意向:武汉大学2020年9月政府采购意向采购单位:武汉大学采购项目名称:聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统预算金额:1000.000000万

TESCAN董事会主席Jaroslav Klíma获终身成就奖

  TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Klíma成为今年捷克斯洛伐克显微学会的获奖者,他于5月14日在2019年度捷克和斯洛伐克显微学会会议上被授予终身成就奖。图:TESCAN CEO Jaroslav Klíma被授予终身成就奖  致力于“显微镜事业”的一生  Jaroslav K

LECO力可:极客型企业亦能兴盛百年

  ——访力可色谱质谱部总监张志杰  分析测试百科网讯 在现代科学仪器发展的100多年历史中,长存80年的企业不多,1936年创立的LECO力可公司即是其中一家。而近年来在多维色谱-质谱联用技术领域持续不断的耕耘,更使力可成为专业市场领先的“极客”型企业。近日,分析测试百科网采访到美国力可公司色谱质

二次离子质谱仪原理简介

二次离子质谱仪原理简介二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)又称离子探针(Ion Microprobe),是一种利用高能离子束轰击样品产生二次离子幵迚行质谱测定的仪器,可 以对固体或薄膜样品迚行高精度的微区原位元素和同位素分析。由于地学样品的复杂