离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖
记者29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。 电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障中国“芯”的生产制造。 据了解，作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业，电科装备已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，产品涵盖逻辑、存储、功率器件、传感器等工艺器件，百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片量超2000万片，有力提升我国产业链供应链韧性和安全水平。......阅读全文
离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖
记者29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。 电科装备连
28纳米光刻机如何生产5纳米芯片
28纳米光刻机作为先进半导体芯片制造中的重要设备之一，其本身的生产工艺无法支持5纳米的芯片生产。但是，通过使用一系列先进的制造技术和调整设备参数等手段，可以将28纳米光刻机用于5纳米芯片生产。主要方法包括以下几个方面：1. 使用多重曝光技术：将同一影像进行多次叠加曝光，在不同的位置形成复杂图形，在提
“皖电东送”核心装备启运
3月19日中午，“皖电东送”核心装备――重达397吨、国内电网领域重量最大、容量最大的变压器，在500吨级钢制桅杆起重机的提升下，被吊放到了30多米长的重型平板运输车上。经过2个多小时的调整装车后，重型平板运输车拉着这一巨型变压器缓缓驶离湖州韦山码头，前往安吉梅溪1000千伏浙北变电站
我国碳化硅器件制造关键装备研发取得重大进展
以碳化硅（SiC）为代表的第三代半导体产业是全球战略竞争新的制高点。SiC器件具有极高的耐压水平和能量密度，可有效降低能量转化损耗和装置的体积重量，满足电力传输、机车索引、新能源汽车、现代国防武器装备等重大战略领域对高性能、大功率电力电子器件的迫切需求，被誉为带动“新能源革命”的“绿色能源”器
离子注入机概述
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。 中文名：离子注入机 外文名:Ion implanter 属 性
科电涂镀层测厚仪特点
科电MC系列涂镀层测厚仪特点科电涂镀层测厚仪在国内涂层测量领域内一直保持领跑的地位。科电仪器的涂（镀）层测厚仪主要特点如下：1、全量程的应用范围:0~10000um全量程覆盖。 2、覆盖全面的仪器种类: 手持、分体、磁性、非磁性、内防腐应有尽有。3、厚度自适应和锁相环技术打破了国外技术垄断！4、专
离子注入机的原理
离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过
离子注入机的应用
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了
测试装备分会走访广东科鉴检测
2023年11月20日，中国检验检测学会测试装备分会一行到访广东科鉴检测工程技术有限公司（以下简称“科鉴检测”）进行调研。本次走访由中国检验检测学会副会长兼秘书长夏扬、中国检验检测学会测试装备分会秘书长清华大学邢志教授带队，与科鉴检测总经理高军、副总经理文武展开座谈，就公司在测试装备可靠性检测等领域
离子注入机的结构组成
离子注入机由5部分组成：离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。 1、离子源 离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离。待注入的杂质源如果是气态，便可以直接引入到离子源的电场中，如果是固态，则还需加热蒸发，变为气相后引入到这个电场中。气相的杂
离子注入机有哪些类型
常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机，如下表所示：离子注入机类型离子注入机类型能量范围注入剂量范围工艺中的主要应用低能大束流离子注入机0.2keV~100keV超浅结、源漏注入、多晶硅栅极注入等高能离子注入机~MEV深埋层等 低能大束流离子注入机：大
中关村28家企业获首台（套）重大技术装备试验、示范项目
碧水源、北京新联铁集团股份有限公司、智造未来（北京）机器人系统技术有限公司、北京天智航公司……今天下午，中关村28家企业的32个获评为2017年中关村首台（套）项目被授予认定证书，这些项目涵盖先进制造、电子设备、新能源、高效节能、大型环保及资源综合利用设备等多个领域，其中多个首台（套）项目在关键技术
“科创中国”专家走进江西助力装备制造产业
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/11/511828.shtm
聚焦科教创新－－第12届华中科教装备展28日在汉落幕
阳春三月，春暖花开。3月26日上午，主题为“科教创新 赋能产业”的第十二届华中科教仪器与技术装备展览会（以下简称：华中科教装备展）在武汉·中国光谷科技会展中心开幕。湖北省高等学校实验室工作研究会、湖北省预防医学会、湖北省科技进步促进会、湖北省教育信息化专委会、湖北省科技信息研究会、武汉市贸促会、武汉
碳纳米管电探针阵列获ZL
据美国物理学家组织网6月21日报道，美国新泽西理工学院两位科学家改进了制造纳米电探针的方法，制造出一种碳纳米管探针阵列，这项于21日被授予ZL（美国ZL号7,964,143）的技术改良了现有的诊断工具，使纳米电探针能探测到细胞内部电活动的空间变化。 两位ZL人、新泽西理工学
山东电科院研发－机器人“检修工”
山东电力科学研究院自主研发成功一种能附着在线路绝缘子串上开展作业的机器人，开创了全国利用机器人开展660kV特高压电网绝缘子检测作业的先例。图为机器人正附着在40多米高空作业。
中联重科投资成立智能物流装备公司－含AI业务
企查查APP显示，近日，中联重科（安徽）智能物流装备有限公司成立，法定代表人为任会礼，注册资本5亿元，经营范围含智能机器人的研发、人工智能应用软件开发、人工智能通用应用系统、特种设备检验检测等。企查查股权穿透显示，该公司由中联重科旗下湖南中联重科智能高空作业机械有限公司全资持股。
2024.8月28号杭州电商博览会，在杭州国博举办
2024杭州电商新渠道博览会暨集脉电商节时间：2024年08月28-30日地点：杭州国际博览中心（G20）主办单位：浙江集脉展览有限公司、杭州华维展览有限公司承办单位：浙江集脉展览有限公司报名参展：15068083558 吴文煜(微信同号)100000+观众 1500+优质品牌方 1800+电商新渠
德国开发新型纳米机器人电驱动技术
德国慕尼黑工业大学和慕尼黑大学的科研人员合作开发出一种新型纳米机器人电驱动技术，据称其较目前通过加酶和DNA链等生化驱动方法快10万倍。相关研究结果于1月19日以封面故事形式发表在国际权威杂志《科学》上。 新的控制技术不仅适合来回移动染料或纳米颗粒，微型机器人的手臂也可对分子施力。研究人员强
电科院：业绩逐步回暖－2016年或迎反转
公司公布2015年度业绩快报。2015年,公司营业收入4.17亿元,同比减少1.03%；归属于上市公司股东的净利润2625万元,同比减少66.17%。 折旧、财务费用拖累净利润业绩大幅下滑。公司2015年营收小幅下滑,但业绩下滑远高于营业收入下降幅度,主要源于折旧和财务费用大幅增长。2013
天祥与苏州电科院达成输配电领域合作
近日，Intertek天祥集团与苏州电器科学研究院股份有限公司结为战略合作伙伴，Intertek认可苏州电科院为战略合作实验室，双方将在输配电领域开展合作。 Intertek输配电业务亚太区负责人伊桂生为苏州电科院实验室主任李杰授牌 苏州电科院实验设备先进完善，拥有雄厚的检测实力
电科院通过国防实验室认可现场评审
2016年1月23日至1月24日，苏州电器科学研究院股份有限公司（以下简称：“公司”或“电科院”）顺利通过了由国防科技工业实验室认可委员会（以下简称：“DILAC”）依据《检测实验室和校准实验室能力认可准则》（DILAC/AC01:2005）组织的国防实验室认可现场评审。此次评审共涉及七大类、3
电科院计量中心开展电压检测仪检定
2月18日，电科院计量中心技术人员完成张掖供电公司送检的电压监测仪检验装置的检定测试工作。 电科院计量中心实验室工作人员对此次检定测试高度重视，为保证检定工作的顺利开展，检定人员对电压监测仪检验装置编制了试验检定方案。在整个试验检定过程中，检定人员严格按照电力行业标准《交直流仪表检验装置检定
电科院点评：军品检测业务助力业绩反转
事件：1月26日,公司公告,通过国防科技工业实验室认可委员会实验室现场评审。我们点评如下: 主要检测设备过审,检测实力获肯定。此次评审共涉及七大类、34小类、涉及国军标(GJB)及其它标准252个,涵盖环境、材料试验、电磁兼容、无损检测、低压电器、防爆产品、汽车电器件及辅助装置、避雷器等领域的
《海洋观测装备水下结构防腐防污技术要求》等28项行业标准报批稿公示
按照自然资源行业标准制定程序要求和计划安排，自然资源部组织有关单位制定了《海洋观测装备水下结构防腐防污技术要求》等28项行业标准。现已通过全国海洋标准化技术委员会审查，拟公示后报部审定发布实施，现予公示，公示时间为5个工作日。 联系电话：010-66558423 传 真：010-665575
哈密建新疆最大风电装备产业基地－“吹动”能源经济
今年，新疆哈密地区获得核准风电项目规模总计330万千瓦。各大风电装备企业积极谋划明年订单，全疆最大的风电装备产业基地在哈密建成，从而大力推动当地能源经济发展。 据当地政府部门4日介绍，新疆哈密作为国家七大风区之一，已先后吸引了华能、华电、中电投等国内有实力30多家企业进行风电
中国检科院两大纳米材料发布
日前，从中国检验检疫科学研究院获悉，由该院主导制定的两项国际标准新项目ISO/TS11931《纳米碳酸钙第一部分表征与测量》和ISO/TS 11937《纳米二氧化钛第一部分表征与测量》，经ISO/TC229国际纳米技术委员会批准，已于2012年12月正式发布。这标志着我国在纳米材料
刚刚！2023中科院期刊预警名单来了，这28本被收入
刚刚，2023年中科院《国际期刊预警名单》公布！共有28本被纳入预警期刊。 期刊分区表团队结合专家咨询结果和计量指标表现，发布2023年度《国际期刊预警名单（试行） 》。期刊预警不是论文评价，更不是否定预警期刊发表的每项成果。预警期刊旨在提醒科研人员审慎选择成果发表平台、提示出版机构强化期刊质
我国首条12英寸28nm先进封装测试全制程生产线成功量产
2015年5月5日，极大规模集成电路制造装备及成套工艺国家科技重大专项（简称集成电路装备专项）实施管理办公室在南通组织召开会议，听取南通富士通微电子股份有限公司（简称通富微电）关于12英寸28nm先进封装测试全制程生产线成功量产成果汇报。科技部重大专项办公室、国家集成电路产业发展投资基金，江苏
2017中科院亮点：深部资源探测核心装备通过验收
完成单位：中国科学院地质与地球物理研究所 2017年6月，由中国科学院地质与地球物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“深部资源探测核心装备研发”顺利通过验收，成功研制出卫星磁测载荷、航空超导全张量磁梯度测量装置、航空瞬变电磁勘探仪、探矿重力仪、多通道大功率电法勘探仪、金属矿地震探测系统、深