MA6双面光刻机共享应用
仪器名称:MA6双面光刻机仪器编号:00011041产地:德国生产厂家:Karl Suss型号:MA6出厂日期:199907购置日期:200010所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)王喆垚(010-62772748,13552821122,z.wang@tsinghua.edu.cn)分类标签:集成电路 半导体 微纳加工 光刻技术指标:对准精度2微米知名用户:北京大学、中科院电子所技术团队:教授1人、副教授1人、工程师1人功能特色:本设备可进行双面对准和曝光,双面对准精度2微米,可对30um以下厚胶曝光。硅片尺寸为5英寸、4英寸、3英寸。另外可以进行SU-8等厚胶光刻。样品要求:单片式;硅片尺寸:5英寸、4英寸、3英寸预约说......阅读全文
MA6双面光刻机共享
仪器名称:MA6双面光刻机仪器编号:00011041产地:德国生产厂家:Karl Suss型号:MA6出厂日期:199907购置日期:200010所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-6278
MA6双面光刻机共享应用
仪器名称:MA6双面光刻机仪器编号:00011041产地:德国生产厂家:Karl Suss型号:MA6出厂日期:199907购置日期:200010所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-6278
单面/双面掩模对准光刻机的相关知识
单面/双面掩模对准光刻机支持各种标准光刻工艺,如真空,硬,软接触和接近式曝光模式,可选择背部对准方式。此外,该系统还提供其他功能,包括键合对准和纳米压印光刻(NIL)。EVG610提供快速处理和重新加工,以满足不断变化的用户需求,转换时间不到几分钟。其先进的多用户概念适合初学者到专家级各个阶层用户,
Karl-SussMA6双面光刻机共享应用
仪器名称:MA6双面光刻机仪器编号:00011041产地:德国生产厂家:Karl Suss型号:MA6出厂日期:199907购置日期:200010所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-6278
800万!清华大学双面对准光刻机采购项目公开招标公告
近日,清华大学发布双面对准光刻机采购项目,详情如下:项目编号:清设招第2022114号(0873-2201HW3L0236)项目名称:清华大学企业信息双面对准光刻机采购项目预算金额:800.0000000 万元(人民币)采购需求:1.本次招标共1包:包号名称数量预算金额(人民币万元)是否接受进口产品
“双面”墨鱼骗情敌
海洋里有一种头足类动物,在遇到强敌时会以“喷墨”作为逃生的手段,伺机离开。你知道是什么动物吗?没错,这就是大名鼎鼎的墨鱼。这是我们以前对于墨鱼的认识。不久前,澳大利亚麦考瑞大学行为生态学家发现了一种神奇的墨鱼。 这种生活在澳大利亚东海岸的墨鱼中的雄性,它可以将自己身体的两面分别变成截然不同的样
光刻机原理
光刻机原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到晶圆上,最后形成芯片。就好像原本一个空空如也的大脑,通过光刻技术把指令放进去,那这个大脑才可以运作,而电路图和其他电子元件就是芯片设计人员设计的指令。光刻机就是把芯片制作所
光刻机原理
光刻机原理: 是利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件。光刻是集成电路最重要的
“双面偶像”幽门螺杆菌
2005年,瑞典皇家科学院诺贝尔奖委员会宣布将诺贝尔生理学或医学奖授予澳大利亚科学家巴里·马歇尔和罗宾·沃伦,以表彰“他们发现了幽门螺杆菌以及该细菌对消化性溃疡病的致病机理”。 马歇尔认为,幽门螺杆菌是导致胃炎的“元凶”,这一提法刷新了当时业内认为胃内是彻底无菌环境的主流观点。基于此,业内通过
光刻机工作原理
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。6
光刻机是什么
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电
光刻机的概述
光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大
光刻机工作原理
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。6
光刻机怎么制作
第一步:制作光刻掩膜版(Mask Reticle)芯片设计师将CPU的功能、结构设计图绘制完毕之后,就可将这张包含了CPU功能模块、电路系统等物理结构的“地图”绘制在“印刷母板”上,供批量生产了。这一步骤就是制作光刻掩膜版。光刻掩膜版:(又称光罩,简称掩膜版),是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图
光刻机是什么
1、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。3、Photolithogra
佳能光刻机共享
仪器名称:佳能光刻机仪器编号:80424600产地:日本生产厂家:日本型号:PLA-500出厂日期:198004购置日期:198004所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,1
光刻机是什么
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。 光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补
光刻机的种类
a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。 1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面; 2.硬接
光刻机的分类
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动 A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了; B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐; C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循
什么是光刻机
光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全
学术机构缘何给出“双面结论”
近日媒体爆料一起“高科技骗局”,触目惊心。事件围绕“硼稳定同位素分离富集”技术,由高校科研团队提供技术,企业提供资金,政府参与,共同促进成果产业化。结果数年之后投资者逐渐发现所谓技术并不成熟,数亿投资等于打了水漂。虽然目前该事件仅有当事人一方素材,下定论尚早,但诸多线索已经表明这是一起涉嫌学术不
光刻机原理是什么
光刻机原理是什么,为何在我国如此重要?一台EUV光刻机售价一亿美金以上,比很多战斗机的售价都要贵。先进的光刻机必须要用到世界上最先进的零件和技术,并且高度依赖供应链全球化,荷兰的ASML用了美国提供的世界上最好的极紫外光源,德国蔡司世界上最好的镜片和光学系统技术,还有瑞典提供的精密轴承。另外,为了给
佳能光刻机共享应用
仪器名称:佳能光刻机仪器编号:80424600产地:日本生产厂家:日本型号:PLA-500出厂日期:198004购置日期:198004所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,1
投影式光刻机简介
投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光方法。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上,曝光系统通过一个狭缝式曝光带(slit)照射在掩模上,载有掩模的工件台在狭缝下沿着一个方向移动,等价于曝光系统对掩模做了扫描,与掩模的扫描同步,晶圆沿相反的方向以1/4的速度移动。现代光刻机中,掩模扫描的速度
手持光刻机如何使用
手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;光刻(photolithography)工艺是将掩膜版(光刻版)上的几何图形转移到晶圆表面的光刻胶上。首先光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面,再经过分步重复曝光和显影处理之后,在晶圆上形
光刻机的曝光度
a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;2.硬接触 是将基片
光刻机有哪些品牌?
光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类: 高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常在十几纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制
“双面”膜用盐水产生电力
想象一下被塞进一辆拥挤的火车,然后发现月台上还有一辆没有那么拥挤的火车。你可能想尽快过去。遵循这种平衡做法(被称为渗透性)的粒子自发地从高浓度区域向低浓度区域移动。如今,科学家利用这种倾向性创建了产生动力的膜——其能从盐水中获取电流。 当由带正负电荷的粒子束构成的离子盐在水中溶解时,粒子束会分
Cell子刊揭示癌症双面蛋白
在《Molecular Cell》杂志上的一项新研究中,来自Salk研究所的研究人员报告称,一种被视作是在早期癌症形成过程中充当肿瘤抑制因子的蛋白——转化生长因子-β(TGF-β),在细胞一旦进入到癌前状态后实际上可对癌症起促进作用。 这一研究发现让调查者们感到惊喜,它增大了一种诱人的
双面热封机RFY3
双面热封机RFY-3 价格:优惠促销,欢迎来电咨询! 双面热封机RFY-3 产品功能 本品采用热压封口法测定塑料薄膜基材、软包装复合膜、涂布纸及其它热封复合膜的热封温度、热封时间、热封压力等参数,为用户提供准确的热封试验指标。控制系统全数字化,关键部件采用国际知名品牌产品,自动化程