微电子所在新型硅基环栅纳米线MOS器件研究中取得进展

近日,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在面向5纳米以下技术代的新型硅基环栅纳米线(Gate-all-around silicon nanowire,GAA SiNW)MOS器件的结构和制造方法研究中取得新进展。 5纳米以下集成电路技术中现有的FinFET器件结构面临诸多挑战。环栅纳米线器件由于具有更好的沟道静电完整性、漏电流控制和载流子一维弹道输运等优势,被认为是未来可能取代FinFET的关键架构之一。近年来,将理想环栅纳米线结构和主流FinFET工艺结合发展下一代集成技术已成为集成电路深入发展的研发关键热点之一。如图1所示,目前国际报道的基于主流高k金属栅FinFET制造工艺形成堆叠纳米线器件的研发有两种不同方案:堆叠纳米线(SNW,IMEC)和堆叠纳米片(Nanosheet,IBM)技术。上述方案都需要在普通硅衬底上外延生长高质量的多层GeSi/Si结构,并在高k金属栅取代栅工艺中选择腐蚀GeSi或Si,......阅读全文

微电子所在新型硅基环栅纳米线MOS器件研究中取得进展

  近日,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在面向5纳米以下技术代的新型硅基环栅纳米线(Gate-all-around silicon nanowire,GAA SiNW)MOS器件的结构和制造方法研究中取得新进展。  5纳米以下集成电路技术中现有的FinFET器件结构面临诸多挑战。环栅

微电子所在铁电垂直环栅纳米器件研究方面取得进展

铁电晶体管(FeFET)具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点,被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下,由于器件栅长(小于18纳米)和铁电薄膜厚度(大约10纳米)相近,基于FinFET和水平环栅晶体管(GAAFE

微电子所在铁电垂直环栅纳米器件研究方面取得进展

  铁电晶体管(FeFET)具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点,被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下,由于器件栅长(小于18纳米)和铁电薄膜厚度(大约10纳米)相近,基于FinFET和水平环栅晶体管(GAA

朱慧珑团队在铁电垂直环栅纳米器件研究获进展

  铁电晶体管(FeFET)具有非易失性数据存储、纳秒级的编程/擦除速度、低功耗操作、超长的数据保存时间以及与CMOS工艺兼容等优点,被认为是未来非易失存储器应用的候选器件。在5nm技术节点以下,由于器件栅长(小于18纳米)和铁电薄膜厚度(大约10纳米)相近,基于FinFET和水平环栅晶体管(GAA

我国科学家在新型垂直纳米环栅器件研究中取得进展

  垂直纳米环栅晶体管是集成电路2纳米及以下技术代的主要候选器件,但其在提高器件性能和可制造性等方面面临着众多挑战。在2018年底举办的国际集成电路会议IEDM上,来自IMEC的Ryckaert博士将垂直纳米器件的栅极长度及沟道与栅极相对位置的控制列为关键挑战之一。  中国科学院微电子研究所先导中心

微电子所垂直纳米环栅器件研究获进展

  与目前主流的FinFET器件相比,纳米环栅器件(GAA)在可微缩性、高性能和低功耗方面更具优势,被认为是下一代集成电路关键核心技术。其中,垂直纳米环栅器件(VGAA)由于在垂直方向上具有更多的集成自由度,可增加栅极和源漏的设计空间,减少器件所占面积,更易实现多层器件间的垂直堆叠并通过全新的布线方

MOS器件的发展与面临的挑战(一)

随着集成电路工艺制程技术的不断发展,为了提高集成电路的集成度,同时提升器件的工作速度和降低它的功耗,MOS器件的特征尺寸不断缩小,MOS器件面临一系列的挑战。例如短沟道效应(Short Channel Effect - SCE),热载流子注入效应(Hot Carrier Inject -

上海微系统所开发出面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员狄增峰团队在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得进展。8月7日,相关研究成果以《面向顶栅结构二维晶体管的单晶金属氧化物栅介质材料》(Single-crystalline metal-oxide dielectrics for top-

场效应晶体管的分类

  场效应晶体管是依靠一块薄层半导体受横向电场影响而改变其电阻(简称场效应),使具有放大信号的功能。这薄层半导体的两端接两个电极称为源和漏。控制横向电场的电极称为栅。   根据栅的结构,场效应晶体管可以分为三种:   ①结型场效应管(用PN结构成栅极);   ②MOS场效应管(用金属-氧化物-

解析:半导体nm制程指的是哪里?

    半导体制程指的是MOS管实际制造结束时的栅级引线宽度,也就是栅级多晶硅的宽度。  当然,实际中源极和漏极会有少量延伸到栅级下面,所以源极和漏极的实际分隔距离小于栅级宽度。这个有效分开距离被称为有效沟道长度,对晶体管而言是最重要的参数。不过这个参数很难测量,所以一般直接用栅级引线宽度来

科学家开发面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆

8月7日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所(以下简称上海微系统所)研究员狄增峰团队,在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得突破性进展,相关研究发表于《自然》。硅基集成电路是现代技术进步的基石,但在尺寸缩小方面面临着严峻的挑战。二维半导体材料具有高载流子迁移率和抑制短沟道效

MOS器件的发展与面临的挑战(二)

1.8HKMG技术当MOS器件的特征尺寸不断缩小45nm及以下时,为了改善短沟道效应,沟道的掺杂浓度不断提高,为了调节阈值电压Vt,栅氧化层的厚度也不断减小到1nm。1nm厚度的SiON栅介质层已不再是理想的绝缘体,栅极与衬底之间将会出现明显的量子隧穿效应,衬底的电子以量子的形式穿过栅介质层进入栅,

科学家开发面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆

8月7日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所(以下简称上海微系统所)研究员狄增峰团队,在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得突破性进展,相关研究发表于《自然》。硅基集成电路是现代技术进步的基石,但在尺寸缩小方面面临着严峻的挑战。二维半导体材料具有高载流子迁移率和抑制短沟道效

上海微系统所开发出面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员狄增峰团队在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得进展。8月7日,相关研究成果以《面向顶栅结构二维晶体管的单晶金属氧化物栅介质材料》(Single-crystalline metal-oxide dielectrics for top-

高质量InAs(Sb)/GaSb核壳异质结纳米线阵列外延生长获进展

  一维半导体纳米线凭借其优越、独特的电学、光学、力学等特性,在材料、信息与通讯、能源、生物与医学等重要领域展现出广阔的应用前景。尤其是,基于半导体纳米线的晶体管具有尺寸小、理论截止频率高等优点,为未来在微处理器芯片上实现超大规模集成电路开拓了新的方向。在III-V族半导体材料中,InAs具有小的电

电源管理IC芯片该如何选择?(二)

本文将重点介绍4种主要的电源管理IC。1、LDO——最基本的电源IC,是一种低压差线性稳压器,使用在其饱和区域内运行的晶体管或场效应管(FET),从应用的输入电压中减去超额的电压,产生经过调节的输出电压。所谓压降电压,是指稳压器将输出电压维持在其额定值上下 100mV 之内所需的输入电压

MOS-450波长的校正

MOS 450波长的校正仪器使用一段时间后需要对仪器进行波长校正,以保证测量的准确性,波长校正的操作步骤如下:1、 确认样品仓中没有任何样品和样品池。2、 根据光源选择的操作说明,将光源换为Xe(Hg)灯。3、 打开ALX-250、MM-450和PMS-450电源。4、 点击电脑中的BioKine软

清华团队首次实现具有亚1纳米栅极长度的晶体管

  晶体管是芯片的核心元器件。更小的栅极尺寸可以使得芯片上集成更多的晶体管,并带来性能上的提升。近日,清华大学集成电路学院教授任天令团队在小尺寸晶体管研究方面取得重要进展,首次实现了具有亚1纳米栅极长度的晶体管,该晶体管具有良好的电学性能。相关成果以“具有亚1纳米栅极长度的垂直硫化钼晶体管”为题,在

我国学者首次实现具有亚1纳米栅极长度的晶体管

晶体管是芯片的核心元器件。更小的栅极尺寸可以使得芯片上集成更多的晶体管,并带来性能上的提升。近日,清华大学集成电路学院教授任天令团队在小尺寸晶体管研究方面取得重要进展,首次实现了具有亚1纳米栅极长度的晶体管,该晶体管具有良好的电学性能。相关成果以“具有亚1纳米栅极长度的垂直硫化钼晶体管”为题,在线发

叠栅条纹的定义

中文名称叠栅条纹英文名称moire fringe定  义由两个规则变化的花纹重叠产生明暗相间的条纹。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),光学仪器一般名词(三级学科)

叠栅条纹的特点

中文名称叠栅条纹英文名称moire fringe定  义由两个规则变化的花纹重叠产生明暗相间的条纹。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),光学仪器一般名词(三级学科)

概述场效应管的分类

  场效应管分为结型场效应管(JFET)和绝缘栅场效应管(MOS管)两大类。  按沟道材料型和绝缘栅型各分N沟道和P沟道两种;按导电方式:耗尽型与增强型,结型场效应管均为耗尽型,绝缘栅型场效应管既有耗尽型的,也有增强型的。  场效应晶体管可分为结场效应晶体管和MOS场效应晶体管,而MOS场效应晶体管

半导体器件的开关特性

  MOS的基本元件是MOS管。MOS管是一种电压控制器件,它的3个电极分别称为栅极(G)、漏极(D)和源极(S),由栅极电压控制漏源电流。MOS管根据结构的不同可分为P型沟道MOS管和N型沟道MOS管两种,每种又可按其工作特性进一步分为增强型和耗尽型两类。   1、静态特性   MOS管作为开

绝缘栅场效应管概述

  1、绝缘栅场效应管(MOS管)的分类:绝缘栅场效应管也有两种结构形式,它们是N沟道型和P沟道型。无论是什么沟道,它们又分为增强型和耗尽型两种。  2、它是由金属、氧化物和半导体所组成,所以又称为金属—氧化物—半导体场效应管,简称MOS场效应管。  3、绝缘栅型场效应管的工作原理(以N沟道增强型M

MOS场效应管概述

  即金属-氧化物-半导体型场效应管,英文缩写为MOSFET (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor),属于绝缘栅型。其主要特点是在金属栅极与沟道之间有一层二氧化硅绝缘层,因此具有很高的输入电阻(最高可达1015Ω)。它也分N沟道管和P沟

MOS450光源的选择

 1、电源:图1中的Lamp power supply处有Xe(红色)、Xe(Hg)(红色)、零线(黑色)三个插孔。零线插头为黑色,直接插到黑色的零线插孔中。火线插头为红色,在做圆二色、紫外、荧光的光谱扫描时插在Xe(红色)插孔中,在做快速动力学测量的时候插在Xe(Hg)插孔中。 2、光源选择:图2

宁波材料所在无结薄膜晶体管领域取得重要进展

  最近,国外科研人员报道了一种新型的无结纳米线晶体管(Nature Nanotechnology. 5, 225 (2010))。这种晶体管源极和漏极与沟道区之间没有结的存在。相比传统的结型晶体管,无结晶体管的源极、漏极与沟道共用一根重掺杂的硅纳米线,从而大大简化了传统器件的制备工

叠栅条纹光栅的定义

中文名称叠栅条纹光栅英文名称moire fringe grating定  义可形成叠栅条纹的光栅。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),光学仪器一般名词(三级学科)

安全栅的特点描述

   安全栅是一款本安型隔离式安全栅,采用DIN导轨安装,灵活方便。K系列本安型安全栅可以插接到与DIN轨道组装在一起的电源导轨上,简便易行。    此安装方式,相对于DIN导轨安装而言,可极大节省了模块供电端的电源线及接线。   1.jpg    特性描述:    1通道隔离屏障  

IFM安全栅技术特点

FM安全栅监控危险区域的入口。根据保护区域不同的高度,可提供带2、3或4条光束。 IFM安全栅又称安全限能器,是本安系统中的重要组成部分。IFM安全栅主要有齐纳式安全栅和隔离式安全栅两大类。齐纳式安全栅的核心元件为齐纳二极管,限流电阻及快速熔断丝。隔离式安全栅不但有限能的功能,还有隔离功能,它主要由