MEMS传感器：无人机的核心（一）
无人机的市场规模和范围持续蓬勃发展，新应用程序不断涌现。无人机的应用也越来越普遍，无论是运送邮件还是包裹、为儿童和老年人提供娱乐、安全监控、农业或工业管理，或开辟航空摄影的新视野。最初，大多数无人机都是相对简单的玩具。然而最近，其飞行能力显著提高，使其更安全、更稳定、更易于控制，从而能够用于更广泛的现实生活应用。这种改进的关键因素之一便是使用了高性能微机电系统（MEMS）传感器。并且无人机传感器市场正在快速增长：根据IHS Markit（消费者和移动设备运动传感器——2017年）的数据，无人机和玩具直升机中MEMS运动传感器（即加速度计、陀螺仪、IMU和压力传感器）的市场至2021年预计将达到约7000万台，而其2018至2021复合年增长率可达到17％。MEMS传感器对无人机飞行性能的影响得益于采用惯性MEMS传感器，无人机可确保其方向稳定，并可由用户精确控制，甚至可自主飞行。然而，一些挑战使无人机系统设计变得十分复杂，例如电......阅读全文
显微镜下确定MEMS传感器的边墙形貌问题
边墙形貌（sidewall profile）不佳微结构的边墙对器件性能有很大程度上的影响。通过光学显微镜看结构，所看到的边墙不是很好。特别是，刻蚀不足和沟槽通常是看不见的。然而，这些几何形变会明显改变弹簧和柔性板的机械性能。常见的检查方法/设备:切割晶圆，通过扫描电子显微镜观察（破坏性的测试）基于探
显微镜下确定MEMS传感器的不精确的材料特性
不精确的材料特性新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。常见的检查方法/设备:探针台（针对电性能）X射
显微镜下确定MEMS传感器的失败的释放工艺
失败的释放工艺所谓释放工艺，通常是为了形成MEMS器件中可动的机械部分，通过对连接机械部分到基底的材料进行不完全刻蚀来实现。当释放失败时，重要的是找到大部分释放结构释放成功而锚点没有释放好的区域。常见的检查方法/设备：单芯片器件层或结构测试（破坏性测试）（Break-off device layer
2018年全球MEMS传感器竞争格局及发展趋势
区域竞争：产业向亚太转移，美、日、德依旧为领先国家 纵观全球MEMS传感器市场，美、日、德一直占据着主导地位。然而近年来，亚太地区（含日本）受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响，增长速度较快，2017年MEMS市场占比达到46.8%
量子领域“MEMS智能微传感器芯片”项目落户浙江桐乡
2016年9月，广泛应用于量子领域的“MEMS智能微传感器芯片”项目签约落户浙江桐乡，成为桐乡市引进的第三个量子应用技术大项目。该项目由中科院地质与地球物理研究所于连忠等4位国家千人计划专家领衔开发，产品应用于加速度仪、陀螺仪、量子网关等，是现代物联网的核心器件，是智能制造业的发动机，广泛应用于
2021世界传感器大会|MEMS与智能传感器技术专场在郑召开！
11月1日，MEMS与智能传感器技术专场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了众多权威学者，他们针对智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，还有我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。会议现场照片 本次会议由中国科学技术协会、河南省人民政府作为主办单位，中国仪器仪表
超声波传感器在无人机中的作用
作为前沿科技，无人机领域一直是大家关注的焦点。目前国内首部以“无人机题材”的《南方有乔木》都市剧不同于时下大多围绕着情感纠葛展开的电视剧，该剧独树一帜，以无人机研发为主线，讲述了一个独立创业女性的故事。由此可见无人机市场的火爆程度。无人驾驶飞机简称“无人机”，英文缩写为“UAV”，是利用无线
射频MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件，它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能力和灵敏度，以及系统的重量、体积和成本，因此研究宽带、低插损的移相器在军事上和民用卫星通信领域具有重要的意义。近年来，随着RF MEMS开关的研究不断取得进展，使MEMS开关替代
无人机的飞行感知技术解析（一）
无人机的飞行感知技术主要用作两个用途，其一是提供给飞行控制系统，由于飞行控制系统的主要功能是控制飞机达到期望姿态和空间位置，所以这部分的感知技术主要测量飞机运动状态相关的物理量，涉及的模块包括陀螺仪、加速度计、磁罗盘、气压计、GNSS模块以及光流模块等。另一个用途是提供给无人机的自主导航系统
上海微技术工业研究院携手IMT－推进MEMS传感器发展
上海微技术工业研究院（SITRI）日前与美国最大的MEMS技术和制造服务提供商IMT（Innovative Micro Technology）签订战略合作协议，双方携手面向物联网应用MEMS传感器技术创新，共同推进MEMS技术发展。 作为物联网实现的基础，MEMS传感器广泛应用于智能
5G推进MEMS传感器行业增长－国产替代正当时
随着5G不断商用，物联网设备与设备之间的连接将变得更加顺畅，传感器也将被安装在越来越多的设备中。相对于传统的机械传感器，MEMS传感器尺寸更小、性能更高、生产成本更低，因此更受业界关注，5G推进MEMS传感器行业增长，国产替代正当时。 传感器无处不在，微机电系统(MEMS)市场
无人机飞行感知技术相关模块剖析（一）
无人机的飞行感知技术主要用作两个用途，其一是提供给飞行控制系统，由于飞行控制系统的主要功能是控制飞机达到期望姿态和空间位置，所以这部分的感知技术主要测量飞机运动状态相关的物理量，涉及的模块包括陀螺仪、加速度计、磁罗盘、气压计、GNSS模块以及光流模块等。另一个用途是提供给无人机的自主导航系统
智能传感器技术特点及发展趋势
随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展，智能传感器的市场份额将以约36％的年均复合增长率（CAGR）增长，预计在2020年达到104.6亿美元。智能传感器由传感元件、信号调理电路、控制器（或处理器）组成，具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可提升传感器的精度，降 低 功耗和体积，实现
显微镜下确定MEMS传感器的内应力和应力梯度问题
内应力和应力梯度内部应力是使用薄膜常见的问题。在生产过程中产生的应力会导致器件良率和性能降低，以及淀积膜的分层和开裂。常见的检查方法/设备:光学晶圆曲面测量结合显微镜或白光干涉测厚仪测试晶圆结构基于探针的微机械测试晶圆结构
VOC检测仪的核心是PID气体传感器
VOC检测仪是一款可以在极端恶劣环境中工作的固定式光离子检测仪，传感器设计以及温度控制单元可以确保不受冷凝水影响，提高在恶劣环境中检测可靠性；高稳定性以及长寿命光源可以大大减少客户维护量以及使用成本；红外以及手机App两种操作模式，轻松提高现场维护效率；固定式VOC在线检测仪MP815OLED显
科恩天平的核心技术超级单体传感器
超级单体传感器（MONOLITHIC）是除磁缸和线圈以外的完整的传感器。高度一体化的超级单体传感器使天平具有更高的精度（zui高分辨率可达亿分之二）、更快速的响应、更加稳定的示值读数、更加坚固且耐用，并且受环境温度影响极小。超级单体传感器的加工涉及特种材料、超精细加工、超高速（10000rp
2021年全球MEMS传感器市场规模将达396.9亿美元
MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。 MEMS 传感器历经四次商业化浪潮 MEMS 传感器的发展离不开MEMS 技术商业化的推动。1987 年，美国
MEMS振荡器的特点
特点与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。* 高性能模拟温补技术使全硅MEMS振荡器具有优秀的全温频率稳定性，彻底解除温飘问题；* 可编程的平台为系统设计和缩短新产品开发周期提供必要的灵活性；* 完善的半导体生产
MEMS振荡器的介绍
MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器。中文名 MEMS振荡器 外文名 MEMS oscillator介绍MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响
MEMS振荡器的目标
目标MEMS振荡器可以利用现有硅半导体行业所使用的制造技术和设备，让半导体行业能在代工环境中集成MEMS。Sitime公司将以MEMSFirst技术进入时钟管理器件市场，下一代集成度更高的解决方案将包括MEMS振荡器和在同一硅晶圆上制造的超大规模集成电路控制功能。Sitime公司已与Jazz半导体公
200+MEMS全产业链企业，2万+精准观众，10月齐聚苏州！附展商名录
在万物互联的时代浪潮中，传感器作为物联网、工业互联网、大数据与人工智能等前沿技术的核心元器件，正成为推动产业智能化升级的关键基石。而微机电系统（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下简称“MEMS”）得益于小体积、高稳定、高精度、低成本等优势，随着国家重大装备性能
高性能图像传感器－参考设计的核心集成与协作
色散谱应用中的图像传感需要超低噪声和高比特率的线性阵列图像传感器，以实现高灵敏度和高速测量。为了降低探测器的暗噪声并进一步提高测量灵敏度，需要一个热电冷却器(TEC)。为达到这些要求，还需要高性能电子器件来与传感器接口。从传感器采样数据需要具有低噪声、且快速建立时间的放大器和低噪声模数转换器(ADC
气体检测仪的核心部件传感器
检测技术是人们理解和改造世界的重要技术手段。传感器是科学实验、工业生产和其他活动中开发、获取、传输和处理信息资源的重要工具。下面就来聊聊气体检测仪的核心部件传感器。气体传感器是一种能够感知环境中某种气体的类型和浓度，并将相关信息转化为电信号，以便于对被测气体进行监测、分析和报警的装置。随着人们对环境
多旋翼无人机的结构和原理（一）
翼型的升力： 升力的来龙去脉这是空气动力学中的知识，研究的内容十分广泛，本文只关注通识理论，阐述对翼型升力和旋翼升力的原理。 根据流体力学的基本原理，流动慢的大气压强较大，而流动快的大气压强较小。由于机翼一般是不对称的，上表面比较凸，而下表面比较平（翼型），流过机翼上表面的气流就类似
破局赢势!2024上海2024国际智能MEMS与传感器博览会
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
MEMS－CHINA－2012－展会预告
MEMS CHINA 2012 展会预告 铂悦仪器将于2012年6月11-13日参加在上海光大会展中心(上海徐汇区漕宝路66号)举办的MEMS CHINA 2012，展位号：207，届时将展出布鲁克台阶仪，光学轮廓仪、牛津激光钻孔机、 金相研磨切割机等。欢迎您莅临参观! 展会具体
MEMS激光扫描投影技术
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术，一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能，而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年，微机电系统(MEM
破局赢势!2024上海2024大型传感器展会—世界智能MEMS与传感器博览会
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
我国突破电化学气体传感器核心技术
日前，从中科院长春应化所了解到，由该所研发的“电化学气体传感器”创新成果，被评选为“2006年中国科学仪器及分析测试行业十大新闻”。该项成果已在我国环保、化工、矿山等行业广泛应用，标志着我国已突破了电化学气体传感器的核心技术。 据有关方面专家介绍，电化学气体传感器以其体积小、检测速
邹旭东：于微细处见神奇－MEMS技术引领新变革
微机电系统（MEMS）是融合了微电子、机械、材料领域技术发展的产物，它使用与集成电路加工技术相类似的制造工艺，制备出各种性能各异、价格低廉、微型化的传感器、执行器和微系统。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，它们具有很多传统器件无法比拟的优点，在国防安全、航空航天、信息工程、医疗卫