小型离子溅射仪可以用来溅射铜吗

小型的离子溅射仪分为低真空离子溅射和高真空离子溅射,根据原理又分为高电压直流、低电压磁控和离子束三种原理,目前市面上的离子溅射大部分是可以满足您的需求,你可以查看上海禾早生产的离子溅射仪。......阅读全文

磁控溅射技术的工艺历史发展

  1852年,格洛夫发现了阴极溅射,由于该方法要求工作气压高、基体温升高和沉积速率低等,阴极溅射在生产中并没有得到广泛的应用。20世纪三十年代,J.Chapin发明了平衡磁控溅射,使高速、低温溅射成为现实,磁控溅射真正意义上发展起来。  上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射

铜上溅射沉积铀薄膜AES研究

在俄歇电子能谱仪超高真空室内,采用离子束溅射沉积方法在多晶Cu上沉积了铀薄膜,采用俄歇电子能谱技术(AES)研究铀薄膜的生长方式,铀、铜的相互作用及退火引起U膜成分结构变化。沉积初期观察到铀与铜发生相互作用,随着铀薄膜厚度的增加,UOPV/CuLMM俄歇跃迁峰强度值变化说明铀薄膜为层状+岛状生长。退

全自动磁控溅射系统共享应用

仪器名称:全自动磁控溅射系统仪器编号:12024341产地:中国生产厂家:金盛微纳科技有限公司型号:MSP-150B出厂日期:201112购置日期:201211所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:刘建设(,,zh

姚力军:让新材料溅射全球

  6个合伙人,40个集装箱。这是2005年来宁波时,曾经的跨国公司总经理姚力军带来的全部“家当”。  “当时,芯片行业核心技术都掌握在日本人和美国人手上。”姚力军至今记得自己选择回国创业时,朋友和同事对他的不解与不舍,可他没有动摇,“半导体产业有需求有前景,现在是报效祖国的时候,回来就是

多靶位磁控溅射系统共享应用

仪器名称:多靶位磁控溅射系统仪器编号:21012328产地:美国生产厂家:科特·莱斯科公司型号:PVD75出厂日期:购置日期:2021-07-12所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:62781090固定手机:13661079620固定email:

SEM样品表面的导电处理

  扫描电镜的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging),最终影响电子信号的传递,造成图像扭曲,变形、晃动等等一些现象。本文罗列了一些常见的样品表面的导电处理方法。

俄歇电子能谱成分深度分析

AES的深度分析功能是AES最有用的分析功能,主要分析元素及含量随样品表面深度的变化。镀铜钢深度分析曲线采用能量为500eV~5keV的惰性气体氩离子溅射逐层剥离样品,并用俄歇电子能谱仪对样品原位进行分析,测量俄歇电子信号强度I (元素含量)随溅射时间t(溅射深度)的关系曲线,这样就可以获得元素在样

离子探针分析仪的基本原理简介

  离子探针的原理是利用能量为1~20KeV的离子束照射在固体表面上,激发出正、负离子(溅射),利用质离子探针分析仪基本原理谱仪对这些离子进行分析,测量离子的质荷比和强度,从而确定固体表面所含元素的种类和数量。  被加速的一次离子束照射到固体表面上,打出二次离子和中性粒子等,这个现象称作溅射。溅射过

AJA-真空互联磁控溅射镀膜机共享应用

仪器名称:真空互联-磁控溅射镀膜机仪器编号:20004165产地:美国生产厂家:AJA型号:ATC-2200-UHV SPUTTER SYSTEM出厂日期:购置日期:2020-06-05项目名称计价单位费用类别价格备注材料溅射元/小时自主上机机时费460.0Au等贵金属加收100元/10nm所属单位

金盛微全自动磁控溅射系统共享

仪器名称:全自动磁控溅射系统仪器编号:12024341产地:中国生产厂家:金盛微纳科技有限公司型号:MSP-150B出厂日期:201112购置日期:201211所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:刘建设(,,zh

离子导入仪

离子导入仪是根据生物电药导理论,仿生论,热敷医学,磁场学,中国古典中医医学及现代微电脑技术,结合多年临床实践和大量用户反馈意见的基础上研制开发的新一代医疗仪器。仪器具有中频、低频、药物导入治疗功能,适用于各级康复医疗机构及家庭治疗使用。

扫描电子显微镜生物样品制备技术详细介绍(三)

为了取得上述效果,所镀的金属膜应符合以下要求:金属膜尽可能保持均匀的厚度,膜本身没有结构,或者是微细到难以看出的程度。膜要薄,不会掩盖样品表面原来的细微结构。二次电子发射率好。膜本身不因电子轰击而发生变化,在大气中保存样品不易变性(即化学稳定性好)。根据上述要求,多采用金、钯、铂和金一钯、铂一钯及铂

电子扫描显微镜蒸金试样制备

 蒸金   利用扫描电镜观察高分子材料(塑料、纤维和橡胶)、陶瓷、玻璃及木材、羊毛等不导电或导电性很差的非金属材料时,一般都要事先用真空镀膜机或离子溅射仪在试样表面上蒸涂(沉积)一层重金属导电膜(我们一般是在试样表面蒸涂一层金膜),这样既可以消除试样荷电现象,又可以增加试样表面导电导热性,减少电子束

清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机

仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19

离子迁移谱仪

  离子迁移谱仪是一种用于农学领域的分析仪器,于2012年06月04日启用。  技术指标  技术指标离子源:脉冲辉光放电离子源。分析时间:分钟级&。探测灵敏度:ppb,克伦特罗达到1ppb,久效磷达到0.5ppb&。工作电压:220V/50Hz。预热时间:30分钟。设备接口:USB/以太网口/VGA

离子导入仪简介

  离子导入仪是根据生物电药导理论,仿生论,热敷医学,磁场学,中国古典中医医学及现代微电脑技术,结合多年临床实践和大量用户反馈意见的基础上研制开发的新一代医疗仪器。仪器具有中频、低频、药物导入治疗功能,适用于各级康复医疗机构及家庭治疗使用。

等离子体光谱诊断解决方案

薄膜材料因其在多个方面的性能,使得应用十分广泛,薄膜的制备有多种方法,磁控溅射法是当今制备薄膜比较常用的一种方法。而用磁控溅射法制备出高质量薄膜的关键是薄膜生长过程中的工艺参数选择与稳定性控制。为此在薄膜生长中的工艺参数对薄膜的各种性能影响方面做了 探讨与研究,如采用真空溅射镀膜技术在镍锌铁氧基片上

等离子体光谱诊断

薄膜材料因其在多个方面的优异性能,使得应用十分广泛,薄膜的制备有多种方法,磁控溅射法是当今制备薄膜比较常用的一种方法。而用磁控溅射法制备出高质量薄膜的关键是薄膜生长过程中的工艺参数选择与稳定性控制。为此在薄膜生长中的工艺参数对薄膜的各种性能影响方面做了大量探讨与研究,如采用真空溅射镀膜技术在镍锌铁氧

原子吸收光谱光源发出的是哪种光

用的是 空心阴极灯(hollow cathode lamp,HCL)也叫元素灯元素灯分类  一,元素灯按照不同的元素分为氘灯、钨灯、镉灯等。   二,元素灯还分为编码灯和非编码灯。每个元素有其固定的激发波长 ,元素灯就是能激发固定波长的灯 ,能提供某一种或多种元素的波长,用于检测样品对某种波长的吸收

扫描电镜常见搭档——喷金仪相关问题详解

喷金仪是什么?在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察

关于离子探针质量显微分析仪的展望介绍

  离子探针质量显微分析仪的展望:离子探针作为一个具有分析微量元素的高灵敏度的微区分析方法正在迅速发展。但是,由于二次离子溅射机理较为复杂,定量分析仍存在许多问题。今后发展和改进的主要方向是:提高质谱分辨率,以减少和排除二次离子质谱干扰;实现多种质谱粒子探测,以获得样品和多种粒子的信息和资料;定量分

离子色谱仪能测哪些阳离子,阴离子

近年来,离子色谱(简称IC)是分析化学领域成长比较快的分析方法之一,可以测定各种阴离子和阳离子。离子色谱对阴离子的分析是分析化学领域中一项新的突破。离子色谱是液相色谱(HPLC)的一种,主要用于分离和检测离子型、极性和部分弱极性的化合物。离子色谱检测技术现已慢慢向多功能、多用途方面发展,从分析检测常

清华大学仪器共享平台中科院-国产溅射台

仪器名称:国产溅射台仪器编号:02011815产地:中国生产厂家:中科院微电子中心自制型号:JS-3出厂日期:200107购置日期:200210所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090

二次离子质谱的原理

    二次离子质谱是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。它利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表

日立原子吸收光谱仪的检测过程

 日立原子吸收光谱仪从光源辐射出具有待测元素特征谱线的光,日立原子吸收光谱仪通过试样蒸气时被蒸气中待测元素基态原子所吸收,由辐射特征谱线光被减弱的程度来测定试样中待测元素的含量。    原子吸收是指呈气态的原子对由同类原子辐射出的特征谱线所具有的吸收现象。    当辐射投射到原子蒸气上时,如果辐射波

离子色谱仪可以检测哪些离子

经过多年的发展,国产离子色谱仪技术在普通应用行业已经成熟。在离子色谱仪的检测数据中,常见的离子有:阴离子:氟、氯、溴、二氧化氮、磷酸根、硝酸根、硫酸根-、甲酸、乙酸、草酸等。阳离子:锂、钠、铵、钾、钙、镁、铜、锌、铁、Fe3+等。现在大多数国家和地区都有非常严格的要求限制其在食品中的含量。因此,离子

中国离子色谱仪离子色谱泵

当今国际水质监测标准的要求以及自身技术优势,推出了中国离子色谱仪,该系列产品不仅适用于生活饮用水、食品添加剂等行业中痕量离子组分检测要求,也适用于科研、教学等领域非常规项目的分析。 CIC-200离子色谱仪采用独有的七阶滤波信号放大模块,极大的提高了检测灵敏度,可实现对ppm-ppb级样品的准确分析

离子色谱仪可以检测哪些离子

经过多年的发展,国产离子色谱仪技术在普通应用行业已经成熟。在离子色谱仪的检测数据中,常见的离子有:阴离子:氟、氯、溴、二氧化氮、磷酸根、硝酸根、硫酸根-、甲酸、乙酸、草酸等。阳离子:锂、钠、铵、钾、钙、镁、铜、锌、铁、Fe3+等。现在大多数国家和地区都有非常严格的要求限制其在食品中的含量。因此,离子

离子色谱仪可以检测哪些离子

经过多年的发展,国产离子色谱仪技术在普通应用行业已经成熟。在离子色谱仪的检测数据中,常见的离子有:阴离子:氟、氯、溴、二氧化氮、磷酸根、硝酸根、硫酸根-、甲酸、乙酸、草酸等。阳离子:锂、钠、铵、钾、钙、镁、铜、锌、铁、Fe3+等。现在大多数国家和地区都有非常严格的要求限制其在食品中的含量。因此,离子

如何选择负离子检测仪及负离子检测仪?

首要要了解自己选负离子检测用途,目前有进口的负离子检测仪,国产的负离子检测仪,仿冒的负离子检测仪等等。分为便携的负离子检测仪,在线的负离子检测仪,按原理分又分为平行电极负离子检测仪和圆通电容器负离子检测仪两种。那么我们如何选择自己称心如意的负离子检测仪。一般情况便携的负离子检测仪用于现场检测携带方便