清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19801221361,zhiqianwei@tsinghua.edu.cn）分类标签：微纳加工 集成电路 半导体工艺 溅射镀膜技术指标：目前可溅射的材料如下：A腔室：SiO2、ITO、ZnO、TiO。B腔室： Al、Cu、Ti、Mo、TiW。知名用户：王喆垚(微电子所)、陈兢(北京大学)、何立平(中科院物理所)、严清峰(化学系)、许军(微电子所)、尤政(精仪系) 朱荣(精仪系)、张志勇(北京大学)、金传洪(浙江大学)技术团队：工艺工程师：韩冰 设备工程师：仲涛 工艺主管：伍晓明 ......阅读全文
清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
磁控溅射镀膜机共享
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
清华大学仪器共享平台牛津真空－热蒸发镀膜机
仪器名称：热蒸发镀膜机仪器编号：20008121产地：英国生产厂家：牛津真空科学（载德半导体技术有限公司）型号：VS4C出厂日期：购置日期：2020-08-03所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@ts
清华大学仪器共享平台金盛微纳－全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
AJA－真空互联磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称：真空互联-磁控溅射镀膜机仪器编号：20004165产地：美国生产厂家：AJA型号：ATC-2200-UHV SPUTTER SYSTEM出厂日期：购置日期：2020-06-05项目名称计价单位费用类别价格备注材料溅射元/小时自主上机机时费460.0Au等贵金属加收100元/10nm所属单位
清华大学仪器共享平台科特·莱斯科－多靶位磁控溅射系统
仪器名称：多靶位磁控溅射系统仪器编号：21012328产地：美国生产厂家：科特·莱斯科公司型号：PVD75出厂日期：购置日期：2021-07-12所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：62781090固定手机：13661079620固定email：
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪仪器编号：A14000002产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：清华大学化工系工物馆305固定电话：固定手机：固定email：联系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪（两站）仪器编号：15012504产地：美国生产厂家：美国康塔仪器型号：Autosorb-iQ2-C出厂日期：201109购置日期：201507所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：化学工程实验楼固定电话：固定手机：固定email：联系人：马鸣宇（010-11
清华大学仪器共享平台管式炉
仪器名称：管式炉仪器编号：21002920产地：中国生产厂家：易安科仪（北京）国际贸易有限公司型号：TF55035C0MC出厂日期：购置日期：2021-03-02所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台nikon－系统测试
仪器名称：系统测试nikon仪器编号：A15000007产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点：医学科学楼C153固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
清华大学仪器共享平台低温纳米倾角台
仪器名称：低温纳米倾角台仪器编号：21000293产地：德国生产厂家：attocube systems AG型号：ANC350出厂日期：购置日期：2021-01-13样品要求：样品要求:与平台测试人员联系具体细节预约说明：测试所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台Leica－高压冷冻仪
仪器名称：高压冷冻仪仪器编号：16003862产地：德国生产厂家：Leica型号：HPM100出厂日期：201412购置日期：201603所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台样品制备>设施细胞冷冻电镜平台放置地点：清华大学郑裕彤医学楼E220(校医院北侧，清华大学西北门南200m)固
清华大学仪器共享平台THERMO－管式马弗炉
仪器名称：管式马弗炉仪器编号：16042569产地：中国生产厂家：THERMO型号：TF55035C-1出厂日期：购置日期：2016-12-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun
清华大学仪器共享平台反应离子蚀刻机
仪器名称：反应离子蚀刻机仪器编号：85427700产地：瑞典生产厂家：瑞典型号：PTL 520/520出厂日期：198509购置日期：198509所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希有（010-6278404
清华大学仪器共享平台PVA－超声检测设备
仪器名称：超声检测设备仪器编号：12006229产地：德国生产厂家：PVA型号：KSI SAM300出厂日期：201110购置日期：201204所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：马海艳（010-66668888
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：05015289产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM7401出厂日期：200505购置日期：200511样品要求：不能有磁性，如铁、钴、镍；样品需干燥，不能含水及有机溶剂等；样品与样品台粘结牢固；样品尺寸合适，最大不能超过一寸；导电性不好的需要喷金处理预约说明：组
清华大学仪器共享平台FineTech－贴片机
仪器名称：贴片机仪器编号：11029777产地：德国生产厂家：FineTech型号：Fineplacer_145_Pico出厂日期：201109购置日期：201112样品要求：与设备工程师确认。预约说明：封装工艺所有的设备均需要提前预约，预约前请联系设备管理员，讨论样品信息和预约时间，再在网上进行预
清华大学仪器共享平台SUSS－光刻机
仪器名称：光刻机仪器编号：20004477产地：中国生产厂家：SUSS Micro Tec Lithography Gmb型号：MJB4出厂日期：购置日期：2020-06-09所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：h
清华大学仪器共享平台WESTBOND－键合机
仪器名称：键合机仪器编号：19019277产地：生产厂家：WESTBOND, INC型号：7476D出厂日期：购置日期：2019-10-29所属单位：物理系>离子束刻蚀实验室放置地点：理科楼 C-207固定电话：010-62772764固定手机：13552113513固定email：jianglin
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台双光子显微镜
仪器名称：双光子显微镜仪器编号：15017684产地：日本生产厂家：Olympus型号：FV1200MPE出厂日期：201403购置日期：201510所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-119固定电话：固定手机：固定email：联系
清华大学仪器共享平台低温恒温器
仪器名称：低温恒温器仪器编号：22045286产地：美国生产厂家：多为莱博（香港）有限公司型号：DE204SF出厂日期：购置日期：2023-03-03所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：hao
清华大学仪器共享平台紫外臭氧清洗机
仪器名称：紫外臭氧清洗机仪器编号：19011740产地：中国生产厂家：北京中科微控科技有限公司型号：SC-UV-I出厂日期：购置日期：2019-08-13所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：h
清华大学仪器共享平台THERMO－通用管式炉
仪器名称：通用管式炉仪器编号：17005496产地：美国生产厂家：THERMO型号：STF55433PC-1出厂日期：购置日期：2017-03-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haos
清华大学仪器共享平台Ultratech－原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@ts
清华大学仪器共享平台JEOL－电子探针（EPMA）
仪器名称：电子探针（EPMA）仪器编号：13010514产地：日本生产厂家：JEOL型号：JXA8230出厂日期：2010.1购置日期：201306所属单位：材料学院>材料中心 >逸夫楼部分>电子探针、X射线荧光分室放置地点：逸夫技科楼A306室固定电话：固定手机：固定email：联系人：朱彦洁（0
清华大学仪器共享平台奥林巴斯－金相显微镜
仪器名称：金相显微镜仪器编号：11001102产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：MX51出厂日期：201009购置日期：201101所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所新所一层测试间固定电话：固定手机：固定email：联系人：包艳琳（010-62784044,13020
清华大学仪器共享平台Nikon－NISElements－AR
仪器名称：Nikon NIS-Elements AR仪器编号：A18000033产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>细胞影像 平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-110固定电话：010-62772736固定手机：固定email：imagi