华中科大发表光学晶圆缺陷检测领域系统综述

受SCIE期刊《极端制造》极端制造编辑部邀请,华中科技大学教授刘世元团队近日在该刊上发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述文章,对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾。 随着智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展,先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度,图形化晶圆上制造缺陷的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术,但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继,因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。 据了解,晶圆缺陷光学检测方法的最新进展包含了缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法等三个方面。 其中,缺陷可检测性评估,包含了材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓......阅读全文

中科院CSR发表综述文章:微光学在微流控分析中的应用

  近日,中国科学院深圳先进技术研究院生物医学与健康工程研究所微纳系统与仿生医学研究中心副研究员杨慧,与瑞士洛桑联邦理工大学教授Martin Gijs合作撰写的综述论文,以Micro-optics for microfluidic analytical applications为题,在线发表在Che

光学接触角测量仪仪用于测试晶圆-电镀金钢的接触角值

采用遮光片技术后测试小于6度的接触角测值,可以看出此时的图像边缘非常清晰,拟合图片时的计算精度非常高。由于本视频中采用了自动进液的方式,可以看出测试过程只要按一个进液钮,软件自动完成了液滴滴出以及转移到固体表面的动作,非常方便。当然,小接触角的测试对于通常没有装有遮光片的接触角仪而言,成像效果就远不

光学薄膜缺陷的特点

光学薄膜缺陷的特点  薄膜缺陷的研究大约从1970开始,刚开始薄膜缺陷被表征为薄膜表面特征,认为是一种典型的粗糙度,在一些文献中薄膜缺陷被描述为节瘤。 Guenther首先对光学薄膜缺陷进行研究,他指出节瘤是在镀膜过程中对外部干扰颗粒形状相似复制而形成的;现在薄膜缺陷越来越引起人们的重视,很多文献建

华中农大PLOS发表玉米研究新成果

  玉米穗行数(KRN)是玉米驯化和改良过程中一个重要的产量构成因素,是由数量性状座位(QTL)控制的。最近,来自华中农业大学、河北农业大学等处的研究人员在国际著名遗传学期刊《PLOS Genetics》发表题为“KRN4 Controls Quantitative Variation in Mai

投资1500万美元-韩国晶圆检测设备项目进驻青岛高新区

  日前,青岛高新区与韩国江友科技株式会社就晶圆检测分选一体化设备项目举行签约仪式,市委常委、副市长、高新区工委书记张惠,管委副主任赵士玉,韩国江友科技株式会社社长金大准及高新区投资促进局相关负责同志出席了签约仪式。  投资方韩国江友科技株式会社是生产晶圆分选一体化设备的专业公司,拥有多项

聚束科技携明星产品Navigator高通量扫描电镜亮相CISILE2020

  分析测试百科网讯 在2020 CISILE展会上,国产高通量电镜品牌聚束科技携其明星产品Navigator-100及Clippers快船系列全自动显微扫描仪重磅亮相,吸引众人驻足询问、观看。聚束科技展台Navigator高通量扫描电镜系统  聚束科技Navigator系列是高通量电镜技术在材料表

融合·扎根·共进:HORIBA-收购-EtaMax,以全链检测能力赋能中国化合物半导体产业破局2026

MOCVD外延, Photoluminescence (光致发光), PL Mapping (显微光致发光), PL Mapper, 关键材料,化合物半导体, GaN (氮化镓), GaAs (砷化镓), InP (磷化铟), SiC (碳化硅), 工艺与参数, 铝组分, BOW (翘曲度), 外延

研究阐述钙钛矿量子点最新进展

近日,中国科学院大连化学物理研究所研究员吴凯丰与副研究员朱井义团队受邀在《自然-材料》上,发表了关于胶体钙钛矿量子点中的量子相干现象与动力学光学调控的综述文章。该综述系统总结了钙钛矿量子点在量子光源和自旋量子比特载体等领域取得的研究进展,详细论述了近期开展的光学测量与调控的原理与方案,并展望了基于该

主办EXPO-2024上海晶圆级封装展官网」

展会名称:2024中国(上海)国际电子封装测试展览会英文名称:China (Shanghai) International Electronic Packaging and Testing Exhibition 2024大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)展会时间:2024年11月

晶圆推力测试机半导体推拉力测试机

芯片推拉力测试机具有测试动作迅速、准确、适用面广的特点,被广泛应用于半导体封装、光通讯器材件封装、LED封装、COB/COG工艺测试、研究所材料力学研究、材料可靠性测试等应用领域。能满足包含有:金属、铜线、合金线、铝线、铝带等拉力测试、金球、铜球、锡球、晶圆、芯片、贴片元件等推力测试、锡球、Bump

为什么晶圆表面需要做金属元素分析?

  硅片加工过程中会带来各种金属杂质沾污,进而导致后道器件的失效,轻金属(Na、Mg、Al、K、Ca等)会导致器件击穿电压降低,重金属(Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn等)会导致器件寿命降低。因此,硅片作为器件的原材料,其表面金属含量会直接影响器件的合格率。特定的污染问题可导致半导体器件不同的缺陷

【解决方案】不可思议的晶圆厚度测量

  Measuring the Nearly   Immeasurable   在柏林费迪南德布劳恩研究所生产的半导体激光和高频放大器晶圆必须达到一个极度精密的层厚度。洁净室工人使用WERTH多传感器坐标测量机监督这个过程。该机配有色差传感器,的无接触捕捉所需的测量元素。   在柏林的费迪南德

EVG-510晶圆键合机有哪些特征?

EVG 510-晶圆键合机(晶圆键合机)是一种高度灵活的晶圆键合系统,可以处理从碎片到200 mm的基板尺寸。该工具支持所有常见的晶圆键合工艺,例如阳极,玻璃粉,焊料,共晶,瞬态液相和直接法。易于使用的键合腔室和工具设计允许对不同的晶圆尺寸和工艺进行快速便捷的重新工具化,转换时间不到5分钟。

华中科大研制出固体氧化物燃料电池独立发电系统

  记者日前从华中科技大学获悉,该校燃料电池研究中心在国内率先自主研制出5千瓦级固体氧化物燃料电池(简称SOFC)独立发电系统,并实现了4.82千瓦的功率输出,标志着我国SOFC系统独立发电技术取得新突破。  据介绍,SOFC是将煤、石油、天然气等化石燃料和沼气等生物质燃料以及其他碳氢化合

先进院发表新型电池材料综述

  近日,中国科学院深圳先进技术研究院集成所功能薄膜材料研究中心研究员唐永炳及其团队成员兰元其、姚文娇、何小龙等人在化学期刊《德国应用化学》上发表混合聚阴离子正极材料综述,全面评述了高效低成本混合聚阴离子正极材料的最新进展和发展策略(Mixed polyanionic compounds as po

北大教授应邀在Pharmacology-and-Therapeutics发表综述

  近日,中西医结合学系韩晶岩教授团队应邀在Pharmacology and Therapeutics发表了“The effects and mechanisms of compound Chinese medicine formula and major ingredients on microc

张锋发表Science杂志CRISPR新综述

  新一期(8月5日)的《科学》(Science)杂志发表了一篇题为“Diverse evolutionary roots and mechanistic variations of the CRISPR-Cas systems”的综述文章。瓦赫宁根大学微生物学家John van der Oos是这

蒲慕明院士发表Nature综述解析关键因子

  著名的神经生物学家蒲慕明教授2009年当选美国国家科学院院士,2011年当选中国科学院院士。现任中国科学院上海生命科学研究院神经科学研究所所长,近期他发表了题为“Neurotrophin regulation of neural circuit development and funct

张明杰院士发表Nature综述文章

  来自香港科技大学的研究人员在3月18日的《自然综述神经科学》(Nature Reviews Neuroscience)杂志上,发表了一篇题为“Mechanistic basis of MAGUK-organized complexes in synaptic development and si

植物种子大小研究综述发表

  植物种子大小是重要的产量性状,种子大小的调控也是重要的发育生物学问题。因此,解析种子大小调控的分子机制,可以为作物的高产育种提供理论基础和基因资源。近年来植物种子大小的调控机制研究进展迅速,目前已成为植物领域研究的热点和前沿。  中国科学院遗传与发育生物学研究所李云海研究组长期致力于植物种子大小

CRISPR专家发表CRISPR/Cas9综述

  CRISPR技术的确在科学界掀起了基因组编辑的狂潮。在Pubmed中快速检索“CRISPR”,目前已有1400多项结果。也相继有专家为该技术撰写了综述论文,例如:Science综述:CRISPR-Cas9系统的历史和未来;北大魏文胜最新发表CRISPR综述。  最近,来自美国加州大学伯克利分校和

川大院士发表CRISPR/Cas综述文章

  七月十五日,四川大学生物治疗国家重点实验室的研究人员在国际学术期刊《Human Gene Therapy》发表综述文章,提出了CRISPR/Cas传递载体所面临的挑战,并指出了非病毒载体所发挥的潜在作用。  中国科学院院士魏于全是本文共同作者之一。魏于全目前是四川大学副校长、教育部“长江学者奖励

诺奖得主发表Nature综述:网格细胞

  2014年诺贝尔生理/医学奖颁给了John O’Keefe,May-Britt Moser和Edvard Moser三位科学家,他们的获奖理由是他们的研究都和大脑定位系统的细胞有关,揭示了大脑中的“GPS”定位和导航系统是如何工作的。  近期May-Britt Moser和Edvard Mose

华中农大PLOS-Genet发表水稻研究成果

  分蘖角度(tiller angle)是植物结构的关键组成部分,对粮食产量有很大的影响。然而,基于自然选择分离出来可用于改善水稻结构的分蘖角度相关基因很少。11月4日在国际学术期刊《PLOS Genetics》发表的一项研究中,来自华中农业大学的研究人员,通过全基因组关联研究,确定了7个常见的分蘖

科技“公转”成华中科大新名片

  40多个与企业共建的技术中心、联合实验室,10余个入驻地方的研究院,以1000万元成交的首例高校科技成果挂牌转让……5月8日,在国际应用科技开发协作网第八届理事会第二次会议中,华中科技大学科技成果转化及产业化工作的系列成绩受到高度关注。  “三板斧”闯出横向转化新天地  据介绍,“企业合作”、“

上海微系统所制备出晶圆级金刚石基氧化镓阵列化单晶薄膜

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣团队,联合南京电子器件研究所研究员李忠辉团队,在金刚石基氧化镓异质集成材料与器件领域取得突破性进展。12月9日,研究成果在第70届国际电子器件大会(IEDM 2024)上以口头报告的形式发表。在宽/超宽禁带半导体材料中,氧化镓的热导率最低,不到硅材料的1

自动光学检测系统光源及照明方式

  在AOI检测系统中光源是十分重要的组成部分,直接影响着输入数据质量的30%以及处理的速度,其中几个主要的作用分别是:增强目标物体与背景的对比度;提高待测物体边缘的清晰度;去除噪声消除阴影等。这些效果在图像处理的算法上体现的最为明显,好的光源可以简化软件处理步骤,优化系统,提高准确度在机器视觉的检

优质薄膜在线缺陷检测系统推荐精谱测控质量检测

  优质薄膜在线缺陷检测系统推荐精谱测控-专注各种表面质量检测【无锡精谱测控技术有限公司——专业薄膜瑕疵在线检测系统提供商】   薄膜表面瑕疵在线检测系统能够完全代替人工肉眼对薄膜生产进行高速、精确的7*24小时实时在线检测,自动报警并显示当前瑕疵的具体信息(图片展示、直径、坐标分布、瑕疵类型等)

科学家发表苔藓多样性、系统发育和适应性综述

近日,中国科学院植物研究所科研人员与合作者在《实验植物学杂志》上发表了基于基因组和转录组数据针对苔藓植物的多样性、系统发育和适应性研究的综述,该综述对目前已经发布的14个苔藓植物的基因组和151个苔藓植物的转录组进行了总结和梳理。 苔藓植物包括苔、藓和角苔三大分支,是现存最早的陆生植物,为

中国科大孪晶金属纳米晶催化作用机制研究取得进展

  近日,中国科学技术大学教授曾杰课题组与李震宇合作,在孪晶金属纳米晶催化作用机制研究方面取得新进展。研究人员成功制备了Au75Pd25二十面体和八面体,尽管两种合金暴露同一种晶面,但是具备孪晶结构的Au75Pd25二十面体在环己烷氧化反应中催化活性和选择性明显高于单晶结构的八面体。通过深入的理论计