华中科大发表光学晶圆缺陷检测领域系统综述
受SCIE期刊《极端制造》极端制造编辑部邀请，华中科技大学教授刘世元团队近日在该刊上发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述文章，对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾。 随着智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展，先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度，图形化晶圆上制造缺陷的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术，但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继，因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。 据了解，晶圆缺陷光学检测方法的最新进展包含了缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法等三个方面。 其中，缺陷可检测性评估，包含了材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓......阅读全文
HORIBA携EtaMax首度亮相SEMICON－China－2026，助力中国化合物半导体加速跑
从材料研发到量产良率，化合物半导体的产业化之路，每一步都依赖于精准的“丈量”，自2025年完成对韩国领先化合物半导体昆圆检测企业EtaMax的收购以来，HORIBA 持续推进双方技术整合，将自身先进光谱技术融入星产量测端，构建起覆盖“从Lab到Fab”的全链检测能力。值此SEMICON China
中国科大孪晶金属纳米晶催化作用机制研究取得进展
近日，中国科学技术大学教授曾杰课题组与李震宇合作，在孪晶金属纳米晶催化作用机制研究方面取得新进展。研究人员成功制备了Au75Pd25二十面体和八面体，尽管两种合金暴露同一种晶面，但是具备孪晶结构的Au75Pd25二十面体在环己烷氧化反应中催化活性和选择性明显高于单晶结构的八面体。通过深入的理论计
300mm晶圆匀胶显影设备研发成功
4月14日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成，突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术，成功研制出具有自主知识产权的300mm晶圆匀胶显影设备考核测试机和上线示范应用机，并在项目实施期间销售5台匀胶显影设备。
复合半导体纳米线成功整合在硅晶圆上
据美国物理学家组织网11月9日报道，美国科学家开发出一种新技术，首次成功地将复合半导体纳米线整合在硅晶圆上，攻克了用这种半导体制造太阳能电池会遇到的晶格错位这一关键挑战。他们表示，这些细小的纳米线有望带来优质高效且廉价的太阳能电池和其他电子设备。相关研究发表在《纳米快报》杂志上。 III—
晶圆接触角测量仪的应用场合
晶圆接触角测量仪采用专用的CCD数字摄像机，配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统，搭配三维样品台，可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台，能适应在不同用户材料厚度加大的场合。晶圆接触角测量仪的应用场合：1、液体在固体表面的接触角
单晶炉：半导体晶圆制造的头道工序设备
半导体设备在整个半导体行业中扮演着重要的支撑角色。由于半导体制造工艺的复杂性，不同的工序需要不同的设备。从流程工序的分类来看，半导体设备主要可以分为晶圆制造设备（前道工序）和封装测试设备（后道工序）等。本文是半导体设备专题栏目的第一篇文章，主要介绍晶圆制造的头道工序设备——单晶炉。直拉式单晶硅生长炉
晶圆接触角测量仪的应用场合
晶圆接触角测量仪采用专用的CCD数字摄像机，配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统，搭配三维样品台，可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台，能适应在不同用户材料厚度加大的场合。晶圆接触角测量仪的应用场合： 1、液体在固
单晶炉：半导体－晶圆制造的头道工序设备
半导体设备对整个半导体行业起着重要的支撑作用。因半导体制造工艺复杂，各个环节需要的设备也不同，从流程工序分类来看，半导体设备主要可分为晶圆制造设备（前道工序）、封装测试设备（后道工序）等。本文是半导体设备专题栏目的第 1 篇文章，介绍晶圆制造的头道工序设备——单晶炉。直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制
单晶炉：半导体－晶圆制造的头道工序设备
半导体设备对整个半导体行业起着重要的支撑作用。因半导体制造工艺复杂，各个环节需要的设备也不同，从流程工序分类来看，半导体设备主要可分为晶圆制造设备（前道工序）、封装测试设备（后道工序）等。本文是半导体设备专题栏目的第 1 篇文章，介绍晶圆制造的头道工序设备——单晶炉。直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制
超平整石墨烯晶圆转移与集成光电器件
石墨烯等二维材料的载流子迁移率高、光-物质相互作用强、物性调控能力优，在高带宽光电子器件领域具有重要的科学价值和广阔的应用前景。当前，发展与主流半导体硅工艺兼容的二维材料集成技术受到业内广泛关注，其中首要的挑战是将二维材料从其生长基底高效转移到目标晶圆衬底上。然而，传统的高分子辅助转移技术通常会
华中科大研发出新冠肺炎AI辅助医学影像量化分析系统
日前，华中科技大学电信学院联合华为云等团队，研发并推出了新型冠状病毒肺炎AI辅助医学影像量化分析系统。 据2月4日发布的《新型冠状病毒感染的肺炎诊疗方案（试行第五版）》，当前“疑似病例具有肺炎影像学特征”已被纳入湖北省临床诊断标准，由此可见CT影像是诊断与评估的重要依据之一。然而，由于患者数量
研究人员开发新型光学“硅”与芯片技术
钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片示意图。中国科学院上海微系统与信息技术研究所供图中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣团队联合瑞士洛桑联邦理工学院的托比亚斯·基彭贝格团队，在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展。相关成果5月8日发表于《自然》。近年来，铌酸锂受到广泛关注
研究阐述手性光子纤维素材料领域的关键进展
近日，中国科学院大连化学物理研究所研究员卿光焱等发表了关于手性光子纤维素材料的综述文章，系统评述了纤维素纳米晶体（CNC）的手性自组装机制、基质工程策略及其在稳健耐水手性光子器件中的应用，并对该领域未来发展方向进行了展望。相关成果发表在《材料研究述评》。纤维素纳米晶体材料应用示意图。大连化物所供图纤
上海微系统所开发新型光学“硅”与芯片技术
5月8日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）的研究员欧欣团队联手瑞士洛桑联邦理工学院托比亚斯·基彭贝格团队，在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片领域取得突破性进展，相关成果发表于《自然》。铌酸锂有“光学硅”之称，近年间受到了广泛关注，哈佛大学等国外研究机构甚至提出了仿照“硅
上海微系统所等开发出可批量制造的新型光学“硅”与芯片技术
5月8日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣团队在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展。相关研究成果以《可批量制造的钽酸锂集成光子芯片》（Lithium tantalate photonic integrated circuits for volume manufac
杨力受邀发表MolecularCell综述解析可变剪接
中国科学院上海生命科学研究院计算生物学研究所杨力研究组受邀在《分子细胞》（Molecular Cell）发表了题为RNA structure switches RBP binding 的专评文章，对该刊同期发表的一项题为RNA sequence context effects measured in
《柳叶刀》发表最新艾滋病综述
近十年来HIV的治疗和预防已经取得了巨大的进步，但人们仍未找到治愈这种疾病的有效途径，也没有开发出相应的疫苗。 Monash大学的Sharon Lewin教授在本期《柳叶刀》上发表文章，回顾了近年来HIV的流行情况，总结了HIV致病机理、HIV治疗与预防的相关成果。 文章指出，艾滋病治疗方式
北大魏文胜最新发表CRISPR综述
探索基因及其表达的蛋白在特定生理、病理、发育等过程中所起的作用一直是生命科学领域研究的重要内容。尽管利用RNA干扰鉴 定高等生物基因功能的技术已经普及，但是这种方法经常伴随脱靶现象；而且由于只能部分抑制基因表达，往往不足以造成表型变化从而影响对其基因型的判断。近 几年基因编辑技术的出现，使得对单
动物所发表造血干细胞研究综述
造血发生是一个动态有序的过程，其维持依赖于一群数量极其稀少的多能干细胞——造血干细胞。造血干细胞一方面通过自我更新维持造血干细胞库的稳定，另一方面通过分化产生各种类型的成熟血细胞。为了描绘造血干细胞完整的分化过程，科学家在2000年首次提出了经典的造血层级结构（hematopoietic hie
动物所发表造血干细胞研究综述
造血发生是一个动态有序的过程，其维持依赖于一群数量极其稀少的多能干细胞——造血干细胞。造血干细胞一方面通过自我更新维持造血干细胞库的稳定，另一方面通过分化产生各种类型的成熟血细胞。为了描绘造血干细胞完整的分化过程，科学家在2000年首次提出了经典的造血层级结构（hematopoietic hie
汽车芯片要做到零缺陷有多难？（二）
高级驾驶辅助系统（ADAS）和自主驾驶汽车对可靠性的要求更加严苛。ADAS涉及汽车中的各种安全功能，如自动紧急制动、车道检测和后方物体警告。例如，全球最大的汽车芯片制造商恩智浦最近宣布推出了一款用于汽车应用的高分辨率雷达芯片。该芯片被称为MR3003雷达收发器，是一款77GHz雷达器件。该器
华科大成果入选“光学领域十大社会影响力事件”
刘世元教授团队相关成果原理示意图。受访者供图 1月10日，“2022中国光学领域十大社会影响力事件（Light10）”年度榜单出炉。《中国科学报》记者获悉，该校机械学院刘世元教授团队成功研发了我国首款全自主计算光刻EDA软件，入围榜单。这一款完全自主可控的OPC软件已在宇微光学软件有限公司实现
合肥研究院发表有关表面增强拉曼散射检测方法的综述
中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所刘锦淮课题组研究员杨良保等人应邀在化学领域综述刊物《化学会评论》（Chemical Society Reviews）上发表学术论文：A dynamic surface enhanced Raman spectroscopy method for ultr
大连化物所发表检测细胞内氧化还原变化研究的综述文章
中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室研究员韩克利团队在模拟谷胱甘肽过氧化物酶活性中心构建用于检测细胞内氧化还原状态变化的小分子荧光探针方面的系列研究工作受到了国际同行的广泛关注。近日，该团队受邀在Accounts of Chemical Research 杂志上发表综述文章R
中国科大在网络谣言源检测研究领域取得进展
日前，中国科学技术大学信息科学与技术学院张文逸教授课题组采用多样本检测算法在网络谣言源检测研究中取得新进展。研究成果以正式论文的形式在ACM SIGMETRICS会议上报告。 如何快速而准确地在在线社交网络上识别恶意信息的传播源头（如网络谣言源、计算机病毒源），是网络科学中一个重要的基础问题。
植物所发表光系统II结构及光合作用水氧化机理研究综述
在地球上生命进化的一大突破是具有放氧光合作用生物的产生，它能利用太阳能裂解水，放出氧气，将太阳能转变为生物可利用的化学能。光驱动的水裂解反应是放氧光合生物利用太阳能进行光合作用链式反应的第一步，发生于高等植物、藻类和放氧蓝藻等光合生物类囊体膜上的光系统II中。迄今为止，自然界只有光系统II可以在
华中科大用基因编辑治疗白血病
急性白血病（AL）是最常见的血液系统恶性肿瘤，在遗传构成和临床结局表现出显著的异质性。由于对细胞遗传学/基因突变的了解加深，以及相应靶向疗法的引入，在某些白血病亚型的治疗方面已经获得了惊人的成功，但是，许多遗传高风险的亚型，目前用标准方案仍然是难以治疗的，并表现出预后不良。世界卫生组织和美国国家
华中科大与武钢共建联合实验室
8月18日，华中科技大学和武汉钢铁(集团)公司(WISCO)在武汉签署协议，决定依托校方的人才和学科优势，结合武钢的战略发展需求，在华中科技大学校内组建“华中科技大学—WISCO联合实验室”，努力将实验室建成为国内领先的钢铁创新技术研究平台和国内一流的钢铁科技人才培养基地。 实验室将按照共建共管、
华中科大用基因编辑治疗白血病
急性白血病（AL）是最常见的血液系统恶性肿瘤，在遗传构成和临床结局表现出显著的异质性。由于对细胞遗传学/基因突变的了解加深，以及相应靶向疗法的引入，在某些白血病亚型的治疗方面已经获得了惊人的成功，但是，许多遗传高风险的亚型，目前用标准方案仍然是难以治疗的，并表现出预后不良。世界卫生组织和美国国家
华中科大学研发肝炎免疫抑制新药
近期，来自华中科技大学的研究人员，调查研究了植物衍生的金线莲苷（kinsenoside，KD），在实验性自身免疫性肝炎（AIH）中的治疗效果。在伴刀豆球蛋白A诱导的T细胞介导性肝炎，以及装载肝癌细胞（DC/Hepa1-6）的树突状细胞（DCs）诱导的小鼠AIH中，经过KD治疗，可大幅减少淋巴细胞浸润