弘塑刻蚀系统共享应用
仪器名称：刻蚀系统仪器编号：04009242产地：台湾生产厂家：弘塑科技有限公司型号：NitrideEtch出厂日期：200312购置日期：200410所属单位：物理系>纳米中心>纳米中心加工平台放置地点：纳米楼超净间固定电话：固定手机：固定email：联系人：马伟涛（010-62796022,13910326054,413113259@qq.com）分类标签：微纳加工 05080713技术指标：工艺设定温度：20-25度混合化学药剂溶液：NH4F+HF溶液槽容量：10L知名用户：校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济......阅读全文
聚焦离子束（FIB）原理及其在失效分析中的应用
随着集成电路技术的不断发展，其芯片的特征尺寸变得越来越小，器件的结构越来越复杂，与之相应的芯片工艺诊断、失效分析、器件微细加工也变得越来越困难，传统的分析手段已经难以满足集成电路器件向深亚微米级、纳米级技术发展的需要。FIB技术的出现实现了超大规模集成电路在失效分析对失效部位的精密定位，是大规模集成
原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（二）
原子层刻蚀有助于减少这些随机缺陷的影响。因为它在自限性步骤中逐层进行，而且因为工艺步骤将化学活性物质与高能离子相分离，因此原子层刻蚀不会产生传统的刻蚀工艺中出现的粗糙的镶边层。更重要的是，原子层刻蚀与原子层沉积的重复循环，能够降低EUV中随机缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有较高的表面体积比，这就
聚焦离子束系统知多少？
纳米科技是当今国际上的一个热点。纳米测量学在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用，纳米加工是纳米尺度制造业的核心，发展纳米测量学和纳米加工的一个重要方法就是电子束，离子束技术。近年来发展起来的聚焦离子束纳米加工系统用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，结合扫描电子显微镜实时观察，开辟了从
何为真空等离子清洗机，有哪些不为人知的过程？
真空离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分够成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行
微流控芯片加工技术解析
微流控芯片的发展 微全分析系统的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz与Widmer提出的，当时主要强调了分析系统的“微”与“全”，及微管道网络的MEMS加工方法，而并未明确其外型特征。次年Manz等即在平板微芯片上实现了毛细管电泳与流动。微型全分析系统当前的发展前沿。
粒细胞系统系统特点
1、原粒细胞：又称髓母细胞。在正常情况下，只有骨髓中方能见到，但最多不超过2%，粒细胞白血病时可增多。圆形或微带椭圆形，直径18微米左右。浆量少，天蓝色，均匀一致，纯净无颗粒。核圆较大，占细胞2/3以上，染色质呈细沙粒状或粉末状，分布均匀，宛如一片薄纱。核膜甚薄，不易观察。核仁明显，通常2-6个，
粒细胞系统系统特点
1、原粒细胞：又称髓母细胞。在正常情况下，只有骨髓中方能见到，但最多不超过2%，粒细胞白血病时可增多。圆形或微带椭圆形，直径18微米左右。浆量少，天蓝色，均匀一致，纯净无颗粒。核圆较大，占细胞2/3以上，染色质呈细沙粒状或粉末状，分布均匀，宛如一片薄纱。核膜甚薄，不易观察。核仁明显，通常2-6个，较
仪器设备预算超3500万元！复旦大学公开8月政府采购意向
近日，复旦大学公开了2022年8月政府采购意向，本次预算总金额超3500万元，采购内容包括原子层薄膜气相沉积系统、超高空间分辨电子束诱导电流谱、高分辨晶体衍射仪、傅立叶红外光谱仪、红外探测器高精度测试表征系统、II-VI族化合物半导体分子束外延系统等仪器设备。采购项目名称采购品目采购需求概况预算
去胶设备(等离子光刻)共享应用
仪器名称：去胶设备(等离子光刻)仪器编号：90175600产地：美国生产厂家：DRYTEK型号：MS-5出厂日期：199002购置日期：199003所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-627810
兰化所实现大规模合成大脑皮层状介孔二氧化硅基复合材料
介孔二氧化硅材料是一种具有高比表面积、大孔容、形貌和尺寸可控的新型无机材料，它兼具了介孔材料和二氧化硅材料的双重特性，在催化、分离、生物医学、传感器等领域应用前景广泛。十六烷基三甲基溴化铵作为一种常见的阳离子表面活性剂在介孔二氧化硅材料的制备中被广泛使用，但是所制备的介孔二氧化硅材料介孔孔径难以
903万！中国科学院半导体研究所采购科研仪器设备
分析测试百科网讯 近日，中国科学院半导体研究所采购厚氮化硅感应耦合等离子体化学气相沉积台、硅基铌酸锂薄膜电感耦合等离子刻蚀机，预算金额903万元，文件详情如下：设备用途：1.厚氮化硅感应耦合等离子体化学气相沉积台用于光波导器件表面的氧化硅及氮化硅薄膜淀积，适用于波导器件中包层薄膜的沉积。2.硅基铌酸
上海纳米级等离子工艺研讨会预告
上海纳米级等离子工艺研讨会预告 2012年3月19日 本次研讨会将于Semicon2012开幕的前一天召开，我们在此诚意邀请工业界、学术界对微纳米及发光二极管等离子技术的发展趋势及设备制造与应用感兴趣的同行先进参加。 牛津仪器的外方应用专家及国内知名机构的用户将出席并发言。 本
微电子所等研制出国际先进的氮化镓增强型MISHEMT器件
近日，中国科学院微电子研究所氮化镓（GaN）功率电子器件研究团队与香港科技大学教授陈敬团队，西安电子科技大学教授、中科院院士郝跃团队合作，在GaN增强型MIS-HEMT器件研制方面取得新进展，成功研制出具有国际先进水平的高频增强型GaN MIS-HEMT器件。 第三代半导体材料氮化镓具有高禁带
tg热重分析法的曲线图解怎么看
热重分析是在程序控制温度下，测量物质的质量与温度或时间的关系的方法。进行热重分析的仪器，称为热重仪，主要由三部分组成：温度控制系统，检测系统和记录系统。 以下介绍了一些热重分析（TG）曲线实例分析 一、TG与DTA的联用技术用于对反应过程分析 如下图所示，研究者结合TG和DTA对α-MnO
我国科学家在新型垂直纳米环栅器件研究中取得进展
垂直纳米环栅晶体管是集成电路2纳米及以下技术代的主要候选器件，但其在提高器件性能和可制造性等方面面临着众多挑战。在2018年底举办的国际集成电路会议IEDM上，来自IMEC的Ryckaert博士将垂直纳米器件的栅极长度及沟道与栅极相对位置的控制列为关键挑战之一。 中国科学院微电子研究所先导中心
半导体设备龙头2023年业绩预告出炉－－新增订单超80亿元
1月14日晚间，中微公司(688012)发布2023年年度业绩预告，公司预计去年营业收入约62.6亿元，同比增长约32.1%，其中，2023年刻蚀设备销售约47.0亿元，同比增长约49.4%；MOCVD设备销售约4.6亿元，同比下降约34.0%。 同时，公司预计去年归属于母公司所有者的净利润为
土壤墒情监测系统的系统介绍
经过实践证明，土壤墒情监测系统在大面积作物栽培区域已受到了重视。这当然与土壤墒情监测系统的优异功能相关联。土壤墒情监测系统主要用于监测旱情与墒情，然后提供农田灌溉的方案。土壤墒情监测系统用于土壤墒情远程遥测调查监测、节水灌溉、温室控制、精细农业，对各种土质的土壤进行室内或者野外监测，能 够快速检测出
电力无线测温系统的系统特点
安全性：独立式等电位绝缘安装，有效避免爬电影响， 不降低电气设备的安全性能。 低功耗：低功耗设计，在保证正常测温的情况下，延长传感器的使用寿命 能快速准确的监测测温点的温度变化。 准确性：进口高精度数字式温度传感器，采用接触式测温，十分接近发热点 灵活性：体积小，安装简便、组网灵活，有
步态分析系统的系统组成简介
简介 步态分析是评价运动功能一个重要手段，但传统步态观察分析其准确性不能保证，而且受测试者的主观因素影响很大。由于这些缺陷，半自动化的三维步态分析系统就应运而生了。三维步态分析系统是一组通过网络将运动分析系统，动态体表肌电图和压力板连接来，提供实时的力学等数据，并对步态进行运动学和动力学分析的
半导体芯片制造废水处理方法
芯片制造生产工艺复杂，包括硅片清洗、化学气相沉积、刻蚀等工序反复交叉，生产中使用了大量的化学试剂如HF、H2SO4、NH3・H2O等。 所以一般芯片制造废水处理系统有含氨废水处理系统+含氟废水处理系统+CMP研磨废水处理系统。
tg热重分析法的曲线图解怎么看
热重分析是在程序控制温度下，测量物质的质量与温度或时间的关系的方法。进行热重分析的仪器，称为热重仪，主要由三部分组成：温度控制系统，检测系统和记录系统。 以下介绍了一些热重分析（TG）曲线实例分析 一、TG与DTA的联用技术用于对反应过程分析 如下图所示
防紫外线UV安全灯管的作用
一，PCB工厂、微电子、工厂印刷厂等多采用光刻加化学刻蚀的刻蚀方法，将细小电路印制在特定基版上，刻蚀使用的胶对420nm以下的紫外或可见光敏感，如果采用含紫外线的白光灯管照明，结果是线路版刻蚀的细小电路边缘模糊，从而严重降低PCB的质量或印刷制版的质量。因此必须使用黄光安全灯。 黄光安全灯
等离子清洗机,材料表面清洗、活化、蚀刻、涂层
金铂利莱作为专业生产等离子清洗机的生产厂商，在网上经常有咨询到等离子清洗机的用途有哪些，我的行业能使用等离子清洗机吗?他在我们行业是怎么样工作的，小编总结我们等离子清洗机的一般用途来告诉大家，但是大家有需要等离子清洗机请联系我们！现在我们一起来看看。 一、金属表面去油及清洁 金属表面
低维材料的限域催化研究获重要进展
华南师范大学物理与电信工程学院研究员徐小志与上海科技大学教授Zhu-Jun Wang、北京大学教授刘开辉、韩国蔚山科学技术学院教授丁峰合作，在低维材料的限域催化研究方面取得重要进展，原位发现了石墨烯在限域空间里的反常刻蚀、再生长行为。相关研究近日发表于Nano Letters。
集成光学元器件的工艺技术介绍
集成光学元器件的工艺技术主要涉及成膜与光路微加工。通常采用外延、质子轰击、离子注入、固态扩散、离子交换、高频溅射、真空蒸发、等离子聚合等作为成膜工艺；采用光刻、电子束曝光、全息曝光、同步辐射、光锁定、化学刻蚀、溅射刻蚀(离子铣)、反应离子刻蚀作为光路微加工技术。另外，高速脉冲技术，则是测试及在应用中
水质在线监测系统的取水系统及预处理系统
取水系统 取水系统的设计主要针对满足水样的代表性、可靠性和连续性来设计的，该系统的主要组成部分有：取水头、取水泵、水样输送管道和流速流量调节几个部分组成。按照取水方式的划分主要分为直取式和浮筒式两种，直取式主要针对水位变化小的环境使用，如污水厂、污染源、自来水涵管取水等，而浮筒式主要针对水位变
疏水性表面流动减阻特性的试验
摘要：利用飞秒激光在Si表面刻蚀具有不同宽度和深度的微槽形貌,经过硅烷化处理后,通过测量接触角和流变特性试验研究其疏水性与流动减阻特性关系。试验结果表明:接触角越大即疏水性愈强,减阻效果愈显著。因此,利用激光刻蚀表面方法可以在一定程度上调控固体表面的疏水性进而控制减阻特性。关键词：激光刻蚀 流变特性
疏水性表面流动减阻特性
摘要：利用飞秒激光在Si表面刻蚀具有不同宽度和深度的微槽形貌,经过硅烷化处理后,通过测量接触角和流变特性试验研究其疏水性与流动减阻特性关系。试验结果表明:接触角越大即疏水性愈强,减阻效果愈显著。因此,利用激光刻蚀表面方法可以在一定程度上调控固体表面的疏水性进而控制减阻特性。关键词：激光刻蚀 流变特性
智能集菌仪适用范围
智能集菌仪适用范围适用范围:1. 制药行业：纯化水、注射用水、无菌制剂（大输液、小针剂、粉剂、生物制品、血液制品、眼用制剂、保养液等）的无菌检查和微生物限度检查；2. 医疗器械行业：纯化水、注射用水、注射器、输液器、输血器、静脉导管等的无菌检查和微生物限度检查；3. 食品、饮料行业；4. 环保行业等
微流控分析芯片加工技术
微流控分析是以微管道为网络连接微泵、微阀、微储液器、微电极、微检测元件等具有光、电和流体输送功能的元器件，最大限度地把采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等分析功能集成在芯片上的微全分析系统。目前，微流控分析芯片的大小约几个平方厘米，微管道宽度和深度(高度)为微米和亚微米级。微流控分析芯片的加工技术