PICOSUN原子层沉积系统共享应用
仪器名称：PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号：16041497产地：中国生产厂家：PICOSUN型号：R200 Advanced出厂日期：201709购置日期：201612所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一楼109固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn）窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分类标签：集成电路 半导体 微纳加工， CVD 高K技术指标：4”硅片生长重复性及厚度不均匀性≤±2%；氧化铝的介电常数>8.0，击穿电场>9MV/cm；氧化铪的介电常数>18.0，击穿电场>3MV/cm。最高温度 500℃。知名用户：吴华强 微电子所；王谦 微电子所；技术团队：曹秉军功能特......阅读全文
超临界流体沉积技术的研究与应用
本文对超临界流体技术的研究现状及进展作了简要综述和分析。就研究方向而言，超临界流体技术在超细材料、新型药品、生化技术等重大领域的应用前景已引起广泛的关注，并成为研究的热点。在与之相关的基础理论方面，对其机理和过程的模型化描述是目前的一个难题，其研究不仅是超临界流体技术走向应用的关键，而且具有十分重要
CVD（化学气相沉积）的原理及应用
其含义c是气3相中3化1学反5应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下k列部件组成；反7应物供应系统，气3相反7应器，气4流传送系统。反6应物多为0金属氯化8物，先被加热到一g定温度，达到足够高的蒸汽压，用载气5（一s般为6Ar或H3）送入v反4应器。如果某种金属不a能形成高压氯化4物蒸汽，就代之d以
石墨烯原子级层间剪切作用研究获进展
近日，中国科学院国家纳米科学中心纳米系统与多级次制造重点实验室研究员张忠、刘璐琪和清华大学教授徐志平合作，设计和发展了微纳鼓泡力学实验技术，精确表征了双层石墨烯层间的范德华剪切作用，相关研究成果Measuring Interlayer Shear Stress in Bilayer Graphe
研究发现基于单原子层的新型单光子源
中国科学技术大学教授潘建伟、陆朝阳等与来自华盛顿大学的许晓栋、香港大学的姚望合作，首次在类石墨烯单原子层半导体材料中发现非经典单光子发射器，从而将量子光学和二维材料这两个重要领域连接起来，打开了一条通往新型光量子器件的道路。相关成果日前在线发表于《自然—纳米技术》杂志。同期“新闻视角”栏目撰文评
美首次研制出稳定的单原子层锗
据物理学家组织网4月10日报道，60年前，锗被用来做成了第一块晶体管，但随后被硅取代，现在，美国科学家首次成功制造出了单原子厚度的锗——单锗(germanane)，其电子迁移率是硅的10倍，因而有望取代硅用于制造更好的晶体管。研究发表在最新一期的美国化学会《纳米》杂志上。 单锗的结构同由单
Easysensor微电极测试系统（Microelectrode）环境土壤/沉积物/水体检测系统
Easysensor微电极测试系统微电极简介：Easysensor微电极测试系统是指工作面积很小的电极，至少一维度的尺寸为微米或纳米级(
清华大学仪器共享平台nikon－系统测试
仪器名称：系统测试nikon仪器编号：A15000007产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点：医学科学楼C153固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
徕卡显微系统：共享全球科技，成就全民健康
分析测试百科网讯 2020年11月05-10日，备受瞩目的第三届中国国际进口博览会（进博会）在上海国家会展中心隆重举行。在丹纳赫展区，分析测试百科网讯采访了徕卡显微系统中国市场总监张玲玲女士。她为我们分享了徕卡在进博会上展示的产品及解决方案，同时介绍了徕卡今年取得的成果以及未来的发展战略。徕卡显
EpiQuest真空互联分子束外延系统(金属）共享
仪器名称：真空互联-分子束外延系统(金属）仪器编号：21028618产地：日本生产厂家：EpiQuest Inc型号：RC2100Me出厂日期：购置日期：2021-11-18所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点：微电子学研究所南平房实验室108号固定电话：010-62784044固
微电子所采用ALD技术显著提升发光器件效率
日前，中国科学院微电子研究所将先进的原子层沉积技术应用于高光效半导体发光器件的研究取得显著进展。 上世纪80年代，原子层沉积(Atomic Layer Deposition，ALD)最初由芬兰科学家提出并应用于平板显示器件中Al2O3绝缘膜的沉积。2007年英特尔公司将原子层沉积技术引
示波器Tektronix－MSO64B共享应用
仪器名称：示波器-Tektronix MSO64B仪器编号：23030805产地：美国生产厂家：Tektronix, INC.型号：MSO64B出厂日期：购置日期：2023-12-22所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>高精尖放置地点：荷清大厦（润泽大厦） A座一层实验室C101固定电话：010-
AB－串联质谱联用仪共享应用
仪器名称：串联质谱联用仪仪器编号：10020328产地：中国生产厂家：AB公司型号：API3200出厂日期：201007购置日期：201012所属单位：环境学院>环境化学研究所>新兴污染物研究组放置地点：中意环境楼地下B102固定电话：固定手机：固定email：联系人：李玉清（010-6277163
东之星快速退火炉共享应用
仪器名称：快速退火炉仪器编号：04011389产地：中国生产厂家：北京东之星应用物理所型号：RTP400出厂日期：200410购置日期：200411所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-627840
DRYTEK去胶设备(等离子光刻)共享应用
仪器名称：去胶设备(等离子光刻)仪器编号：90175600产地：美国生产厂家：DRYTEK型号：MS-5出厂日期：199002购置日期：199003所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-627810
科视达显微镜共享应用
仪器名称：显微镜仪器编号：00005958产地：美国生产厂家：美国科视达(中国)公司型号：QHS-2005C出厂日期：200001购置日期：200006所属单位：水利系>水沙科学与水利水电工程国家重点实验室放置地点：新水106固定电话：固定手机：固定email：联系人：方坤（13366542188,
中联科利清洗机共享应用
仪器名称：清洗机仪器编号：11023084产地：中国生产厂家：中联科利型号：CUC-XS004A-05-10-M-A出厂日期：200612购置日期：201111所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>清洗/湿法工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：宗莉（01
NANOMETRICS－膜厚测试仪共享应用
仪器名称：膜厚测试仪仪器编号：06004277产地：美国生产厂家：NANOMETRICS, INC.型号：N7007-0001 REV.2出厂日期：200212购置日期：200605所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所新所一层光刻间固定电话：固定手机：固定email：联
FV1200－Confocal/FLIM/FCS共享应用
仪器名称：FV1200 Confocal/FLIM/FCS仪器编号：17003902产地：日本生产厂家：Olymplus型号：FV1200出厂日期：201504购置日期：201703所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：生物医学馆U6-113固定电话：010
Zeiss－FIB聚焦离子束共享应用
仪器名称：聚焦离子束 Zeiss FIB仪器编号：16005806产地：德国生产厂家：蔡司型号：Auriga出厂日期：201506购置日期：201603所属单位：材料学院>材料中心 >电镜中心放置地点：主楼东配楼11-112固定电话：固定手机：固定email：联系人：王永力（010-62773015
AML晶圆键合机共享应用
仪器名称：晶圆键合机仪器编号：13003988产地：英国生产厂家：AML型号：AWB-04出厂日期：201208购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：郑瑶（010-62798268,13811
冠层分析系统可用于哪些研究和教学？
在农业生产的过程中，可以说各项农艺措施都是围绕农作物展开的，因此随着农业科技的发展，植物生理生态研究是绕不开的一个课题。而植物冠层分析是植物生理生态研究中的一项重要内容，开展该项研究，对于了解作物的生长发育、产量品质与光能利用间的关系，以及改进生产工艺等，都有十分重要的意义。因此为了更好的开展植物冠
植物冠层分析系统的功能特点有哪些？
鱼眼镜头可自动保持水平状态：专门为植物冠层结构测量设计的小型鱼眼摄像镜头安装在手持式万向平衡接头上，可自动保持镜头处于水平状态，无需三角架； 鱼眼镜头可以伸入至冠层中：镜头安装在摇臂一端，由于小巧和带有测量杆，可以方便地水平向前或垂直向上伸入到冠层不同高度处，快速地进行分层测量，测出群体内光透
QT2011－群落冠层红外温度监测系统
咨询电话010-62111054简单介绍：QT-2011 群落冠层红外温度监测系统是我司应用户需求自主研发的集成系统，采用进口红外测温传感器及数据采集器。QT-2011 群落冠层红外温度监测系统实现叶面温度同步测量，取得作物叶面同一时间针对不同太阳入射角度的表面温度差异性数据，对研究作物生长相关因子
植物冠层分析系统的测试原理与方法
植物冠层图象分析仪采用了冠层孔隙率与冠层结构相关的原理。它是根据光线穿过介质减弱的比尔定律，在对植物冠层定义了一系列假设前提的条件下，采用半理论半经验的公式，通过冠层孔隙率的测定，计算出冠层结构参数。这是目前世界上各种冠层仪一致采用的原理。在上述原理下，植物冠层图象分析仪采用的是对冠层下天穹半球
冠层分析系统使用时的注意事项
1 遮盖帽的用途 从传感器的视野中去除太阳；从视野中去除操作者的影响；天空亮度不均匀；冠层内有明显的空隙；减小对测量样地尺寸的需要；减小了森林内必需的空地尺寸。 2 斜坡的影响 应该使传感器保持与斜坡相匹配，而不是实际的水平。 3 样地尺寸的影响 如果样地
原子层组装技术实现多重纳米结构的精准调控加工
利用各种纳米加工技术制备的纳米结构和器件在微纳光子学、微纳电子学、生物学及纳米能源等领域发挥了重要作用，但同时也对纳米加工的尺寸、形状、空间排列和组装等工艺控制提出了越来越高的要求。现有的传统纳米加工技术（如电子束曝光、聚焦离子束直写、阳极氧化和自组装技术）通常在实现无序、杂化、不规则及变径等特
激光共聚焦显微镜系统共享
仪器名称：激光共聚焦显微镜系统仪器编号：15001684产地：日本生产厂家：olympus型号：IX83出厂日期：201309购置日期：201501所属单位：生命学院>欧光朔实验室放置地点：医学楼D217固定电话：固定手机：固定email：联系人：柴咏平（010-62794766,159014876
高性能逻辑分析系统Tektronix－TLA7012共享
仪器名称：高性能逻辑分析系统-Tektronix TLA7012仪器编号：18502296产地：840生产厂家：Tektronix, INC.型号：Tektronix TLA7012出厂日期：购置日期：05-12月-18所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>高精尖放置地点：荷清大厦高精尖一层实验室固
低温磁电耦合系统Lake－Shore－CRXVF共享
仪器名称：低温磁电耦合系统-Lake Shore CRX-VF仪器编号：19030269产地：美国生产厂家：Lake Shore Cryotronics, Inc.型号：出厂日期：购置日期：2019-12-13所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>高精尖放置地点：荷清大厦高精尖一层实验室固定电话：固
金盛微全自动磁控溅射系统共享
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh