PICOSUN原子层沉积系统共享应用
仪器名称:PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号:16041497产地:中国生产厂家:PICOSUN型号:R200 Advanced出厂日期:201709购置日期:201612所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一楼109固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹秉军(010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn)窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)分类标签:集成电路 半导体 微纳加工, CVD 高K技术指标:4”硅片生长重复性及厚度不均匀性≤±2%;氧化铝的介电常数>8.0,击穿电场>9MV/cm;氧化铪的介电常数>18.0,击穿电场>3MV/cm。最高温度 500℃。知名用户:吴华强 微电子所;王谦 微电子所;技术团队:曹秉军功能特......阅读全文
Finefocus-X射线检测系统共享
仪器名称:X射线检测系统仪器编号:11027004产地:德国生产厂家:Finefocus型号:Finefocus_Cougar出厂日期:201107购置日期:201112所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:郑瑶(
我国成功研制一维铬原子沉积纳米光栅样板
由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组,经过3年科技攻关,在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前,该课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。 近年来,我国纳米技术产业发展迅速。与此同时,纳米产业对计量基标准的需求也日益突显。我国每年进口的近万
Easysensor微电极分析系统-沉积物/土壤微电极研究系统
微电极简介:微电极是指工作面积很小的电极,至少一维度的尺寸为微米或纳米级,可以无 损测量待测物的传感器。环境领域常用的微电极类型包括钢针电极和玻璃电极两类。微电极以超尖的电极尖端为基础,以μm级尖端穿刺测量水/土壤/沉积物/生物膜等剖面,电极尖端产生电压或电流信号,通过软件采集此信号,从而原位观测微
电子束曝光共享应用
仪器名称:电子束曝光仪器编号:22012325产地:中国生产厂家:卡尔蔡司公司型号:Sigma 300出厂日期:购置日期:2022-07-14所属单位:物理系>电子曝光间放置地点:蒙民伟科技大楼S407固定电话:010-62797291固定手机:17356219197固定email:wangj22@
ICP设备(刻蚀机)共享应用
仪器名称:ICP设备(刻蚀机)仪器编号:02001849产地:英国生产厂家:STS SURFACE TECN.型号:MESC Multiplex出厂日期:200001购置日期:200203所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微电子所新所一层工艺平台固定电话:固定手机:固定emai
桌上型点胶机共享应用
仪器名称:桌上型点胶机仪器编号:11029360产地:日本生产厂家:Janome型号:JR2303N出厂日期:201109购置日期:201112所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:郑瑶(010-62798268,
ICP刻蚀机Cl共享应用
仪器名称:ICP刻蚀机-Cl仪器编号:13015109产地:日本生产厂家:爱发科型号:NE-550H(Cl)出厂日期:201211购置日期:201309所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)固定电话:固定手机:固定email:联系人:李希
佳能光刻机共享应用
仪器名称:佳能光刻机仪器编号:80424600产地:日本生产厂家:日本型号:PLA-500出厂日期:198004购置日期:198004所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,1
ICP刻蚀机F共享应用
仪器名称:ICP刻蚀机-F仪器编号:13015108产地:日本生产厂家:爱发科型号:NE-550H(F)出厂日期:201211购置日期:201309所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(
自动打线机共享应用
仪器名称:自动打线机仪器编号:13008618产地:美国生产厂家:K&S型号:K&S ICONN_SEPT09出厂日期:201305购置日期:201305所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:郑瑶(010-6279
反应离子蚀刻机共享应用
仪器名称:反应离子蚀刻机仪器编号:85427700产地:瑞典生产厂家:瑞典型号:PTL 520/520出厂日期:198509购置日期:198509所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-6278109
TOHO-薄膜应力计共享应用
仪器名称:薄膜应力计仪器编号:12030409产地:日本生产厂家:TOHO型号:FLX-2320S出厂日期:201212购置日期:201212样品要求:样品大小可为4、5、6、8英寸。预约说明:实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则取消预约需提前2个小时通过网上取消预约所属单位:集成电
原子化器系统
原子化器是将样品中的待测组份转化为基态原子的装置。1.火焰原子化器火焰原子化法是利用气体燃烧形成的火焰来进行原子化的,实际上就是一个喷雾燃烧器,由三部分组成,即喷雾器(nebulizer)、雾化室(spray chamber)和燃烧器(bumer)。(1)喷雾器:将试样溶液转为雾状。(2)雾化室:内
冠层分析系统测量的假设条件
1 叶片不透光,且无反射:假设冠层下的读值不包括任何叶片反射或透射的光线。LAI-2050探头波长范围320-490nm,过滤了波长大于490nm的光线。因为在低于490nm区域的光线受叶片反射及透射射作用zui小。这使得叶簇在天空背景下是黑色的,从而满足了前题假设。 2 叶片排列是随机
卡尔蔡司发布激光层照显微系统
卡尔蔡司激光层照显微系统(Lightsheet Z.1) ――低光毒性的大型生物活体样本的三维荧光成像 2012年10月15日 德国,耶拿 / 美国,新奥尔良 在路易斯安那州新奥尔良的神经科学年度会议上,卡尔蔡司的显微镜事业部提出了一项新的显微技术,即激光层照显微镜(Light
激光显微切割系统-LMD7000共享
仪器名称:激光显微切割系统 LMD7000仪器编号:14017291产地:德国生产厂家:Leica型号:LMD7000出厂日期:201308购置日期:201409所属单位:生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点:清华大学生物医学馆U6-116固定电话:固定手机:固定em
冠层分析仪的应用
我们知道作物产品的产量的多少,质量的好坏与很多因素有关,如作物种子质量、土壤环境、大气环境、农民种植技术等,而现在越来越多的植物学家研究作物冠层与作物长势、产品产量质量的关系,分析光能对植物生长的促进作用,就需要使用作物冠层分析仪。 作物冠层分析仪是设计开发的一种专业用于植物生理表型观察的仪器
九层塔的应用价值介绍
罗勒嫩茎叶柔和芳香,主要用做凉拌菜,也可炒菜、做汤,沾面糊后油炸至酥后食用,或作调味料。如用叶片洗净切丝,放于凉拌西红柿上调味,又红又绿,令人胃口大增。也可将罗勒嫩茎叶切碎后拌上姜末、油盐作馅罗勒精油可治偏头痛,助消化及呼吸系统,抗痉挛,杀菌,促进血液循环,调节月经过少。抗老化,治疗粉刺,有紧实
Lattice-Lightsheet-7活细胞晶格激光片层扫描显微镜共享
仪器名称:Lattice Lightsheet 7活细胞晶格激光片层扫描显微镜仪器编号:A23000133产地:德国生产厂家:Zeiss型号:Lattice Lightsheet 7出厂日期:20231116购置日期:20231116所属单位:医研院>生物医学测试中心>细胞生物学平台>细胞平台光镜机
ZEISS三维层切扫描电子显微镜共享
仪器名称:三维层切扫描电子显微镜仪器编号:22020037产地:英国生产厂家:ZEISS型号:GeminiSEM 300&3View 2.XP出厂日期:购置日期:2022-10-07所属单位:生命学院>清华-IDG/麦戈文脑科学共享仪器开放实验室放置地点:清华大学生物医学馆U6-013固定电话:固定
Axio-Scan.-Z1-Zeiss全自动数字玻片扫描系统共享应用
仪器名称:Axio Scan. Z1 Zeiss全自动数字玻片扫描系统仪器编号:17026728产地:德国生产厂家:Zeiss型号:Axio Scan. Z1出厂日期:201606购置日期:201710所属单位:医研院>生物医学测试中心>细胞生物学平台>细胞平台光镜机组放置地点:医学科学楼C133固
超临界流体沉积技术的研究与应用
本文对超临界流体技术的研究现状及进展作了简要综述和分析。就研究方向而言,超临界流体技术在超细材料、新型药品、生化技术等重大领域的应用前景已引起广泛的关注,并成为研究的热点。在与之相关的基础理论方面,对其机理和过程的模型化描述是目前的一个难题,其研究不仅是超临界流体技术走向应用的关键,而且具有十分重要
CVD(化学气相沉积)的原理及应用
其含义c是气3相中3化1学反5应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下k列部件组成;反7应物供应系统,气3相反7应器,气4流传送系统。反6应物多为0金属氯化8物,先被加热到一g定温度,达到足够高的蒸汽压,用载气5(一s般为6Ar或H3)送入v反4应器。如果某种金属不a能形成高压氯化4物蒸汽,就代之d以
去胶设备(等离子光刻)共享应用
仪器名称:去胶设备(等离子光刻)仪器编号:90175600产地:美国生产厂家:DRYTEK型号:MS-5出厂日期:199002购置日期:199003所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-627810
FineTech倒装键合机共享应用
仪器名称:倒装键合机仪器编号:12001824产地:德国生产厂家:FineTech型号:Fineplacer_145_Pico出厂日期:201101购置日期:201202所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点:微电子所新所一楼微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:郑瑶(
双光子显微镜共享应用
仪器名称:双光子显微镜仪器编号:15017684产地:日本生产厂家:Olympus型号:FV1200MPE出厂日期:201403购置日期:201510所属单位:生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点:清华大学生物医学馆U6-119固定电话:固定手机:固定email:联系
磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19
KEYENCE-数字显微镜共享应用
仪器名称:数字显微镜仪器编号:03005189产地:日本生产厂家:KEYENCE公司型号:KEYENCE出厂日期:200304购置日期:200306所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点:微电子所一层微纳平台测试间固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-6278
LAM-干法刻蚀机共享应用
仪器名称:干法刻蚀机仪器编号:16002654产地:美国生产厂家:LAM型号:LAM4520XL出厂日期:199801购置日期:201602所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点:微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,133662739
SET-倒装键合机共享应用
仪器名称:倒装键合机仪器编号:21018517产地:法国生产厂家:SET型号:FC150出厂日期:购置日期:2021-09-08所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点:集成电路学院一层微纳平台固定电话:010-62798268固定手机:13811838182固定email:zheng